De eisen van de halfgeleiderindustrie aan grafietmateriaal zijn bijzonder hoog, de fijne deeltjesgrootte van grafiet heeft een hoge precisie, hoge temperatuurbestendigheid, hoge sterkte, klein verlies en andere voordelen, zoals: gesinterde grafietproducten.Omdat de grafietapparatuur die in de halfgeleiderindustrie wordt gebruikt (inclusief verwarmingstoestellen en hun gesinterde matrijzen) bestand moet zijn tegen herhaalde verwarmings- en koelprocessen, is het, om de levensduur van grafietapparatuur te verlengen, meestal vereist dat de gebruikte grafietmaterialen stabiele prestaties hebben. en hittebestendige impactfunctie.
01 Grafietaccessoires voor de groei van halfgeleiderkristallen
Alle processen die worden gebruikt om halfgeleiderkristallen te laten groeien, werken onder een hoge temperatuur en corrosieve omgeving. De hete zone van de kristalgroeioven is meestal uitgerust met hittebestendige en corrosiebestendige grafietcomponenten met hoge zuiverheid, zoals verwarming, smeltkroes, isolatiecilinder, geleidecilinder, elektrode, smeltkroeshouder, elektrodemoer, enz.
Wij kunnen alle grafietonderdelen van kristalproductie-apparaten vervaardigen, die afzonderlijk of in sets kunnen worden geleverd, of op maat gemaakte grafietonderdelen van verschillende afmetingen volgens de eisen van de klant. De grootte van producten kan ter plaatse worden gemeten en het asgehalte van eindproducten kan lager zijndan 5 ppm.
02 Grafietaccessoires voor halfgeleider-epitaxie
Epitaxiaal proces verwijst naar de groei van een laag monokristallijn materiaal met dezelfde roosteropstelling als het substraat op het monokristallijne substraat. Bij het epitaxiale proces wordt de wafel op de grafietschijf geladen. De prestaties en kwaliteit van de grafietschijf spelen een cruciale rol in de kwaliteit van de epitaxiale laag van de wafer. Op het gebied van epitaxiale productie is veel ultrazuiver grafiet en hoogzuivere grafietbasis met SIC-coating nodig.
De grafietbasis van ons bedrijf voor halfgeleiderepitaxie heeft een breed scala aan toepassingen, kan overeenkomen met de meeste veelgebruikte apparatuur in de industrie en heeft een hoge zuiverheid, uniforme coating, uitstekende levensduur en hoge chemische weerstand en thermische stabiliteit.
03 Grafietaccessoires voor ionenimplantatie
Ionenimplantatie verwijst naar het proces waarbij de plasmabundel van boor, fosfor en arseen wordt versneld tot een bepaalde energie, en deze vervolgens in de oppervlaktelaag van het wafelmateriaal wordt geïnjecteerd om de materiaaleigenschappen van de oppervlaktelaag te veranderen. De componenten van het ionenimplantatieapparaat moeten zijn gemaakt van zeer zuivere materialen met uitstekende hittebestendigheid, thermische geleidbaarheid, minder corrosie veroorzaakt door ionenbundels en een laag onzuiverheidsgehalte. Hoogzuiver grafiet voldoet aan de toepassingsvereisten en kan worden gebruikt voor de vluchtbuis, verschillende spleten, elektroden, elektrodeafdekkingen, leidingen, straalterminators, enz. van ionenimplantatieapparatuur.
We kunnen niet alleen grafietafschermingsafdekkingen leveren voor verschillende ionenimplantatiemachines, maar ook zeer zuivere grafietelektroden en ionenbronnen leveren met een hoge corrosieweerstand van verschillende specificaties. Toepasselijke modellen: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM en andere apparatuur. Daarnaast kunnen wij ook bijpassende keramiek, wolfraam, molybdeen, aluminium producten en gecoate onderdelen leveren.
04 Grafietisolatiematerialen en andere
Thermische isolatiematerialen die worden gebruikt in halfgeleiderproductieapparatuur zijn onder meer hard grafietvilt, zacht vilt, grafietfolie, grafietpapier en grafiettouw.
Al onze grondstoffen zijn geïmporteerde grafiet, die kan worden gesneden volgens de specifieke grootte van de eisen van de klant of als geheel kan worden verkocht.
De koolstof-koolstofbak wordt gebruikt als drager voor filmcoating in het productieproces van monokristallijne silicium- en polykristallijne siliciumcellen op zonne-energie. Het werkingsprincipe is: plaats de siliciumchip in de CFC-bak en stuur deze naar de ovenbuis om de filmcoating te verwerken.
