Geavanceerde SiC-cantileverpaddle voor wafelverwerking

De GevorderdenSiC cantileverpeddelfor Wafer Processing, gecreëerd door vet-china, biedt een uitstekende oplossing voor de productie van halfgeleiders. Deze cantileverpeddel is gemaakt van SiC-materiaal (siliciumcarbide) en dankzij de hoge hardheid en hittebestendigheid kan hij uitstekende prestaties behouden in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Dankzij het ontwerp van de Cantilever Paddle kan de wafer tijdens de verwerking betrouwbaar worden ondersteund, waardoor het risico op fragmentatie en schade wordt verminderd.

SiC cantileverpeddelis een gespecialiseerd onderdeel dat wordt gebruikt in apparatuur voor de productie van halfgeleiders, zoals een oxidatieoven, diffusieoven en een gloeioven. Het belangrijkste gebruik is het laden en lossen van wafers, het ondersteunen en transporteren van wafers tijdens processen bij hoge temperaturen.

Gemeenschappelijke structurenvanSiCcantileverpverslaafd: een vrijdragende structuur, vast aan het ene uiteinde en vrij aan het andere uiteinde, heeft doorgaans een plat en peddelachtig ontwerp.

VET Energy gebruikt zeer zuivere herkristalliseerde siliciumcarbidematerialen om de kwaliteit te garanderen.