VET Energy सिलिकन कार्बाइड (SiC) एपिटेक्सियल वेफर उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च आवृत्ति र उच्च शक्ति विशेषताहरु संग एक उच्च प्रदर्शन चौडा ब्यान्डग्याप अर्धचालक सामग्री हो। यो पावर इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको नयाँ पुस्ताको लागि एक आदर्श सब्सट्रेट हो। VET Energy ले SIC सब्सट्रेटहरूमा उच्च-गुणस्तरको SiC epitaxial लेयरहरू बढाउन उन्नत MOCVD epitaxial प्रविधि प्रयोग गर्दछ, उत्कृष्ट प्रदर्शन र वेफरको स्थिरता सुनिश्चित गर्दै।
हाम्रो सिलिकन कार्बाइड (SiC) एपिटेक्सियल वेफरले Si Wafer, SiC सब्सट्रेट, SOI वेफर, र SiN सब्सट्रेट सहित विभिन्न अर्धचालक सामग्रीहरूसँग उत्कृष्ट अनुकूलता प्रदान गर्दछ। यसको बलियो एपिटेक्सियल तहको साथ, यसले उन्नत प्रक्रियाहरू जस्तै Epi Wafer वृद्धि र Gallium Oxide Ga2O3 र AlN Wafer जस्ता सामग्रीहरूसँग एकीकरणलाई समर्थन गर्दछ, विभिन्न प्रविधिहरूमा बहुमुखी प्रयोग सुनिश्चित गर्दै। उद्योग-मानक क्यासेट ह्यान्डलिंग प्रणालीहरूसँग उपयुक्त हुनको लागि डिजाइन गरिएको, यसले सेमीकन्डक्टर निर्माण वातावरणमा कुशल र सुव्यवस्थित सञ्चालनहरू सुनिश्चित गर्दछ।
VET Energy को उत्पादन लाइन SiC epitaxial wafers मा सीमित छैन। हामी Si Wafer, SiC सब्सट्रेट, SOI Wafer, SiN सब्सट्रेट, Epi Wafer, आदि सहित अर्धचालक सब्सट्रेट सामग्रीहरूको एक विस्तृत श्रृंखला पनि प्रदान गर्दछौं। साथै, हामी सक्रिय रूपमा नयाँ चौडा ब्यान्डग्याप सेमीकन्डक्टर सामग्रीहरू विकास गर्दैछौं, जस्तै ग्यालियम अक्साइड Ga2O3 र AlN। वेफर, उच्च प्रदर्शन उपकरणहरूको लागि भविष्यको पावर इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको माग पूरा गर्न।
Wafering निर्दिष्टीकरणहरू
*n-Pm=n-प्रकार Pm-ग्रेड,n-Ps=n-प्रकार Ps-ग्रेड, Sl=सेमी-इन्सुलेटिंग
वस्तु | ८ इन्च | ६ इन्च | ४ इन्च | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
बो(GF3YFCD)-निरपेक्ष मान | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
ताना (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
वेफर किनारा | बेभलिंग |
सतह समाप्त
*n-Pm=n-प्रकार Pm-ग्रेड,n-Ps=n-प्रकार Ps-ग्रेड, Sl=सेमी-इन्सुलेटिंग
वस्तु | ८ इन्च | ६ इन्च | ४ इन्च | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
सतह समाप्त | डबल साइड अप्टिकल पोलिश, Si- फेस CMP | ||||
सतह रफपन | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
किनारा चिप्स | कुनै पनि अनुमति छैन (लम्बाइ र चौडाइ≥०.५ मिमी) | ||||
इन्डेन्टहरू | कुनै पनि अनुमति छैन | ||||
खरोंच (सि-फेस) | मात्रा.≤5, संचयी | मात्रा.≤5, संचयी | मात्रा.≤5, संचयी | ||
दरार | कुनै पनि अनुमति छैन | ||||
किनारा बहिष्कार | ३ मिमी |