सिलिकन कार्बाइड (SiC) एपिटेक्सियल वेफर

छोटो विवरण:

VET Energy बाट सिलिकन कार्बाइड (SiC) Epitaxial Wafer अर्को पुस्ताको पावर र RF यन्त्रहरूको माग गर्ने आवश्यकताहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको उच्च-प्रदर्शन सब्सट्रेट हो। VET Energy ले सुनिश्चित गर्दछ कि प्रत्येक एपिटेक्सियल वेफरलाई उत्कृष्ट थर्मल चालकता, ब्रेकडाउन भोल्टेज, र वाहक गतिशीलता प्रदान गर्न सावधानीपूर्वक निर्माण गरिएको छ, जसले यसलाई विद्युतीय सवारी, 5G संचार, र उच्च दक्षता पावर इलेक्ट्रोनिक्स जस्ता अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँछ।


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

VET Energy सिलिकन कार्बाइड (SiC) एपिटेक्सियल वेफर उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च आवृत्ति र उच्च शक्ति विशेषताहरु संग एक उच्च प्रदर्शन चौडा ब्यान्डग्याप अर्धचालक सामग्री हो। यो पावर इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको नयाँ पुस्ताको लागि एक आदर्श सब्सट्रेट हो। VET Energy ले SIC सब्सट्रेटहरूमा उच्च-गुणस्तरको SiC epitaxial लेयरहरू बढाउन उन्नत MOCVD epitaxial प्रविधि प्रयोग गर्दछ, उत्कृष्ट प्रदर्शन र वेफरको स्थिरता सुनिश्चित गर्दै।

हाम्रो सिलिकन कार्बाइड (SiC) एपिटेक्सियल वेफरले Si Wafer, SiC सब्सट्रेट, SOI वेफर, र SiN सब्सट्रेट सहित विभिन्न अर्धचालक सामग्रीहरूसँग उत्कृष्ट अनुकूलता प्रदान गर्दछ। यसको बलियो एपिटेक्सियल तहको साथ, यसले उन्नत प्रक्रियाहरू जस्तै Epi Wafer वृद्धि र Gallium Oxide Ga2O3 र AlN Wafer जस्ता सामग्रीहरूसँग एकीकरणलाई समर्थन गर्दछ, विभिन्न प्रविधिहरूमा बहुमुखी प्रयोग सुनिश्चित गर्दै। उद्योग-मानक क्यासेट ह्यान्डलिंग प्रणालीहरूसँग उपयुक्त हुनको लागि डिजाइन गरिएको, यसले सेमीकन्डक्टर निर्माण वातावरणमा कुशल र सुव्यवस्थित सञ्चालनहरू सुनिश्चित गर्दछ।

VET Energy को उत्पादन लाइन SiC epitaxial wafers मा सीमित छैन। हामी Si Wafer, SiC सब्सट्रेट, SOI Wafer, SiN सब्सट्रेट, Epi Wafer, आदि सहित अर्धचालक सब्सट्रेट सामग्रीहरूको एक विस्तृत श्रृंखला पनि प्रदान गर्दछौं। साथै, हामी सक्रिय रूपमा नयाँ चौडा ब्यान्डग्याप सेमीकन्डक्टर सामग्रीहरू विकास गर्दैछौं, जस्तै ग्यालियम अक्साइड Ga2O3 र AlN। वेफर, उच्च प्रदर्शन उपकरणहरूको लागि भविष्यको पावर इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको माग पूरा गर्न।

第6页-36
第6页-35

Wafering निर्दिष्टीकरणहरू

*n-Pm=n-प्रकार Pm-ग्रेड,n-Ps=n-प्रकार Ps-ग्रेड, Sl=सेमी-इन्सुलेटिंग

वस्तु

८ इन्च

६ इन्च

४ इन्च

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

बो(GF3YFCD)-निरपेक्ष मान

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

ताना (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

वेफर किनारा

बेभलिंग

सतह समाप्त

*n-Pm=n-प्रकार Pm-ग्रेड,n-Ps=n-प्रकार Ps-ग्रेड, Sl=सेमी-इन्सुलेटिंग

वस्तु

८ इन्च

६ इन्च

४ इन्च

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

सतह समाप्त

डबल साइड अप्टिकल पोलिश, Si- फेस CMP

सतह रफपन

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ ०.५nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-फेस Ra≤0.5nm

किनारा चिप्स

कुनै पनि अनुमति छैन (लम्बाइ र चौडाइ≥०.५ मिमी)

इन्डेन्टहरू

कुनै पनि अनुमति छैन

खरोंच (सि-फेस)

मात्रा.≤5, संचयी
लम्बाइ≤0.5×वेफर व्यास

मात्रा.≤5, संचयी
लम्बाइ≤0.5×वेफर व्यास

मात्रा.≤5, संचयी
लम्बाइ≤0.5×वेफर व्यास

दरार

कुनै पनि अनुमति छैन

किनारा बहिष्कार

३ मिमी

tech_1_2_size
下载 (2)

  • अघिल्लो:
  • अर्को:

  • व्हाट्सएप अनलाइन च्याट!