SiC कोटिंग/लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट/सेमिकन्डक्टरका लागि ट्रे

छोटो विवरण:

एपिटेक्सियल ग्रोथको लागि VET Energy SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च-प्रदर्शन उत्पादन हो जुन विस्तारित अवधिमा लगातार र भरपर्दो प्रदर्शन प्रदान गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसमा सुपर राम्रो गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, क्षरण प्रतिरोध छ, यो वेफर प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि उत्तम समाधान बनाउँछ।


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

सेमीकन्डक्टरको लागि ग्रेफाइट ससेप्टरको SiC कोटिंग/लेपित
 
SiC लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेटअर्धचालक प्रशोधन उद्योगको कठोर मागहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको एक उच्च टिकाऊ र कुशल समाधान हो। उच्च शुद्धता को एक तह विशेषतासिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग, यो सब्सट्रेटले असाधारण थर्मल स्थिरता, अक्सिडेशन प्रतिरोध, र लामो सेवा जीवन प्रदान गर्दछ, यसले MOCVD प्रक्रियाहरू, ग्रेफाइट वेफर क्यारियरहरू, र अन्य उच्च-तापमान वातावरणहरूमा अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँछ।

 विशेषताहरु: 
उत्कृष्ट थर्मल शक प्रतिरोध
· उत्कृष्ट शारीरिक आघात प्रतिरोध
· उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· सुपर उच्च शुद्धता
· जटिल आकारमा उपलब्धता
· अक्सिडाइजिंग वायुमण्डल अन्तर्गत प्रयोगयोग्य

आवेदन:

३

उत्पादन सुविधाहरू र फाइदाहरू:

1. सुपीरियर थर्मल प्रतिरोध:उच्च शुद्धता संगSiC कोटिंग, सब्सट्रेटले चरम तापक्रमको सामना गर्छ, एपिटेक्सी र सेमीकन्डक्टर निर्माण जस्ता माग गर्ने वातावरणमा लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।

2. परिष्कृत स्थायित्व:SiC लेपित ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू मानक ग्रेफाइट सब्सट्रेटहरूको तुलनामा सब्सट्रेटको आयु बढाउँदै रासायनिक जंग र अक्सीकरणको प्रतिरोध गर्न डिजाइन गरिएको हो।

3. Vitreous लेपित ग्रेफाइट:को अद्वितीय कांच संरचनाSiC कोटिंगउत्कृष्ट सतहको कठोरता प्रदान गर्दछ, उच्च-तापमान प्रशोधनको क्रममा लुगा र आँसुलाई कम गर्दै।

4. उच्च शुद्धता SiC कोटिंग:हाम्रो सब्सट्रेटले संवेदनशील सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरूमा न्यूनतम प्रदूषण सुनिश्चित गर्दछ, कडा सामग्री शुद्धता चाहिने उद्योगहरूको लागि विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ।

5. व्यापक बजार आवेदन:SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरसेमीकन्डक्टर निर्माणमा उन्नत SiC लेपित उत्पादनहरूको माग बढ्दै जाँदा बजार बढ्दै गइरहेको छ, यस सब्सट्रेटलाई ग्रेफाइट वेफर क्यारियर बजार र सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ट्रे बजार दुबैमा प्रमुख खेलाडीको रूपमा स्थान दिँदै।

आधार ग्रेफाइट सामग्रीको विशिष्ट गुणहरू:

स्पष्ट घनत्व: 1.85 g/cm3
विद्युत प्रतिरोधात्मकता: 11 μΩm
फ्लेक्सरल स्ट्रेन्थ: 49 MPa (500kgf/cm2)
किनारा कठोरता: 58
खरानी: <5ppm
थर्मल चालकता: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC को आधारभूत भौतिक गुणहरूकोटिंग

性质 / सम्पत्ति

典型数值 / विशिष्ट मान

晶体结构 / क्रिस्टल संरचना

FCC β चरण 多晶,主要为(111)取向

密度 / घनत्व

३.२१ ग्राम/सेमी³

硬度 / कठोरता

2500 维氏硬度(500g लोड)

晶粒大小 / ग्रेन साइज

2~10μm

纯度 / रासायनिक शुद्धता

९९.९९९९५%

热容 / गर्मी क्षमता

640 J·kg-1· के-1

升华温度 / Sublimation तापमान

2700 ℃

抗弯强度 / लचक शक्ति

415 MPa RT 4-बिन्दु

杨氏模量 / युवाको मोडुलस

430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

导热系数 / थर्मल चालकता

300W·m-1· के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE)

४.५ × १०-6K-1

१

२

 

 

VET Energy अनुकूलित ग्रेफाइट र सिलिकन कार्बाइड उत्पादनहरूको वास्तविक निर्माता हो जसमा विभिन्न कोटिंगहरू जस्तै SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पाइरोलाइटिक कार्बन कोटिंग, आदि, सेमीकन्डक्टर र फोटोभोल्टिक उद्योगका लागि विभिन्न अनुकूलित भागहरू आपूर्ति गर्न सकिन्छ।

हाम्रो प्राविधिक टोली शीर्ष घरेलू अनुसन्धान संस्थाहरूबाट आउँछ, तपाईंको लागि थप व्यावसायिक सामग्री समाधान प्रदान गर्न सक्छ।

हामीले थप उन्नत सामग्रीहरू उपलब्ध गराउनको लागि निरन्तर उन्नत प्रक्रियाहरू विकास गर्छौं, र एक विशेष प्याटेन्टेड टेक्नोलोजीमा काम गरेका छौं, जसले कोटिंग र सब्सट्रेट बीचको बन्धनलाई कडा बनाउन सक्छ र छुट्टिने सम्भावना कम हुन्छ।

हाम्रो कारखाना भ्रमण गर्न तपाईलाई हार्दिक स्वागत छ, थप छलफल गरौं!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • अघिल्लो:
  • अर्को:

  • व्हाट्सएप अनलाइन च्याट!