सेमीकन्डक्टरको लागि ग्रेफाइट सब्सट्रेटको SiC कोटिंग/लेपित,ग्रेफाइट ट्रे, Sic ग्रेफाइटepitaxy susceptors,
कार्बन आपूर्ति susceptors, EPITAXY र MOCVD, epitaxy susceptors, ग्रेफाइट ट्रे, वेफर ससेप्टर्स,
CVD-SiC कोटिंगमा समान संरचना, कम्प्याक्ट सामग्री, उच्च तापक्रम प्रतिरोध, अक्सीकरण प्रतिरोध, उच्च शुद्धता, एसिड र क्षार प्रतिरोध र जैविक अभिकर्मक, स्थिर भौतिक र रासायनिक गुणहरूको विशेषताहरू छन्।
उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सामग्रीको तुलनामा, ग्रेफाइटले 400C मा अक्सिडाइज गर्न थाल्छ, जसले अक्सीकरणको कारण पाउडरको क्षति निम्त्याउँछ, परिधीय उपकरणहरू र भ्याकुम चेम्बरहरूमा वातावरणीय प्रदूषणको कारण, र उच्च-शुद्धता वातावरणको अशुद्धता बढाउँछ।
यद्यपि, SiC कोटिंगले 1600 डिग्रीमा भौतिक र रासायनिक स्थिरता कायम राख्न सक्छ, यो आधुनिक उद्योगमा विशेष गरी सेमीकन्डक्टर उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
हाम्रो कम्पनीले ग्रेफाइट, सिरेमिक र अन्य सामग्रीको सतहमा CVD विधिद्वारा SiC कोटिंग प्रक्रिया सेवाहरू प्रदान गर्दछ, ताकि कार्बन र सिलिकन युक्त विशेष ग्यासहरूले उच्च तापक्रममा प्रतिक्रिया गर्दा उच्च शुद्धता SiC अणुहरू, लेपित सामग्रीको सतहमा जम्मा गरिएका अणुहरू, SIC सुरक्षात्मक तह गठन। बनाइएको एसआईसी ग्रेफाइट आधारसँग दृढतापूर्वक बाँधिएको छ, ग्रेफाइट आधारलाई विशेष गुणहरू प्रदान गर्दै, यसरी ग्रेफाइटको सतह कम्प्याक्ट, पोरोसिटी-मुक्त, उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र अक्सीकरण प्रतिरोध बनाउँछ।
मुख्य विशेषताहरु:
1. उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध:
तापमान 1700 C को रूपमा उच्च हुँदा ओक्सीकरण प्रतिरोध अझै धेरै राम्रो छ।
2. उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरिनेशन अवस्था अन्तर्गत रासायनिक वाष्प निक्षेप द्वारा बनाईएको।
3. कटाव प्रतिरोध: उच्च कठोरता, कम्प्याक्ट सतह, ठीक कणहरू।
4. जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नुन र जैविक अभिकर्मक।
CVD-SIC कोटिंग्सको मुख्य विनिर्देशहरू:
SiC-CVD | ||
घनत्व | (g/cc)
| ३.२१ |
लचक बल | (Mpa)
| ४७० |
थर्मल विस्तार | (१०-६/के) | 4
|
थर्मल चालकता | (W/mK) | ३०० |
आपूर्ति क्षमता:
10000 टुक्रा/टुक्रा प्रति महिना
प्याकेजिङ र डेलिभरी:
प्याकिंग: मानक र बलियो प्याकिंग
पाली ब्याग + बक्स + कार्टन + प्यालेट
पोर्ट:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
नेतृत्व समय:
मात्रा (टुक्रा) | 1 - 1000 | >1000 |
अनुमानित समय (दिन) | 15 | वार्ता गरिनुपर्छ |