SiC कोटिंग ग्रेफाइट MOCVD वेफर वाहकहरू, ग्रेफाइट ससेप्टर्सका लागिSiC Epitaxy,
कार्बन आपूर्ति susceptors, ग्रेफाइट एपिटेक्सी ससेप्टर्स, ग्रेफाइट समर्थन सब्सट्रेट, MOCVD ससेप्टर, SiC Epitaxy, वेफर ससेप्टर्स,
हाम्रो SiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरहरूको विशेष फाइदाहरूमा अत्यन्त उच्च शुद्धता, एकरूप कोटिंग र उत्कृष्ट सेवा जीवन समावेश छ। तिनीहरूसँग उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता गुणहरू पनि छन्।
सेमीकन्डक्टर अनुप्रयोगहरूको लागि ग्रेफाइट सब्सट्रेटको SiC कोटिंगले उत्कृष्ट शुद्धता र अक्सिडाइजिंग वातावरणको प्रतिरोधको साथ एक भाग उत्पादन गर्दछ।
CVD SiC वा CVI SiC सरल वा जटिल डिजाइन भागहरूको ग्रेफाइटमा लागू गरिन्छ। कोटिंग विभिन्न मोटाई र धेरै ठूलो भागहरूमा लागू गर्न सकिन्छ।
विशेषताहरु:
उत्कृष्ट थर्मल शक प्रतिरोध
· उत्कृष्ट शारीरिक आघात प्रतिरोध
· उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध
· सुपर उच्च शुद्धता
· जटिल आकारमा उपलब्धता
· अक्सिडाइजिंग वायुमण्डल अन्तर्गत प्रयोग गर्न सकिने
आवेदन:
आधार ग्रेफाइट सामग्रीको विशिष्ट गुणहरू:
स्पष्ट घनत्व: | 1.85 g/cm3 |
विद्युत प्रतिरोधात्मकता: | 11 μΩm |
फ्लेक्सरल स्ट्रेन्थ: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
किनारा कठोरता: | 58 |
खरानी: | <5ppm |
थर्मल चालकता: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
कार्बन आपूर्ति susceptorsर सबै वर्तमान एपिटेक्सी रिएक्टरहरूको लागि ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू। हाम्रो पोर्टफोलियोमा लागू गरिएको र LPE एकाइहरूका लागि ब्यारेल ससेप्टरहरू, LPE, CSD, र जेमिनी एकाइहरूका लागि प्यानकेक ससेप्टरहरू, र लागू र ASM एकाइहरूका लागि एकल-वेफर ससेप्टरहरू समावेश छन्। अग्रणी OEMs, सामग्री विशेषज्ञता र निर्माण ज्ञान-कसरी, SGL सँग बलियो साझेदारी संयोजन गरेर। तपाइँको आवेदन को लागी इष्टतम डिजाइन प्रदान गर्दछ।