आयन बमबारी को गैर-एकरूपता
सुक्खानक्काशीसामान्यतया भौतिक र रासायनिक प्रभावहरू संयोजन गर्ने प्रक्रिया हो, जसमा आयन बमबारी एक महत्त्वपूर्ण भौतिक नक्काशी विधि हो। को समयमानक्काशी प्रक्रिया, घटना कोण र आयनहरूको ऊर्जा वितरण असमान हुन सक्छ।
यदि साइडवालमा विभिन्न स्थानहरूमा आयन घटना कोण फरक छ भने, साइडवालमा आयनहरूको नक्काशी प्रभाव पनि फरक हुनेछ। ठूला आयन घटना कोण भएका क्षेत्रहरूमा, साइडवालमा आयनहरूको नक्काशी प्रभाव बलियो हुन्छ, जसले गर्दा यस क्षेत्रको साइडवाललाई थप नक्काशी गर्न सकिन्छ, जसले साइडवाललाई झुकाउँछ। थप रूपमा, आयन ऊर्जाको असमान वितरणले पनि समान प्रभावहरू उत्पादन गर्नेछ। उच्च ऊर्जा भएका आयनहरूले सामग्रीहरूलाई अझ प्रभावकारी रूपमा हटाउन सक्छ, परिणामस्वरूप असंगत हुन्छनक्काशीविभिन्न स्थानहरूमा साइडवालको डिग्री, जसले फलस्वरूप साइडवाललाई झुकाउँछ।
photoresist को प्रभाव
फोटोरेसिस्टले सुक्खा नक्काशीमा मास्कको भूमिका खेल्छ, नक्कान आवश्यक नपर्ने क्षेत्रहरूको सुरक्षा गर्दछ। जे होस्, फोटोरेसिस्ट पनि प्लाज्मा बमबारी र नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा रासायनिक प्रतिक्रियाहरूले प्रभावित हुन्छ, र यसको प्रदर्शन परिवर्तन हुन सक्छ।
यदि फोटोरेसिस्टको मोटाई असमान छ भने, नक्काशी प्रक्रियाको समयमा खपत दर असंगत छ, वा फोटोरेसिस्ट र सब्सट्रेट बीचको आसंजन विभिन्न स्थानहरूमा फरक छ, यसले नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा साइडवालहरूको असमान सुरक्षा निम्त्याउन सक्छ। उदाहरणको लागि, पातलो फोटोरेसिस्ट वा कमजोर टाँसिएको क्षेत्रहरूले अन्तर्निहित सामग्रीलाई अझ सजिलैसँग नक्काशी गर्न सक्छ, जसले गर्दा यी स्थानहरूमा साइडवालहरू झुक्न सक्छन्।
सब्सट्रेट सामग्री गुणहरूमा भिन्नता
नक्काशी गरिएको सब्सट्रेट सामग्रीमा फरक गुणहरू हुन सक्छन्, जस्तै विभिन्न क्षेत्रहरूमा विभिन्न क्रिस्टल अभिमुखीकरण र डोपिङ सांद्रता। यी भिन्नताहरूले नक्काशी दर र नक्काशी चयनतालाई असर गर्नेछ।
उदाहरणका लागि, क्रिस्टलीय सिलिकनमा, विभिन्न क्रिस्टल अभिमुखीकरणहरूमा सिलिकन परमाणुहरूको व्यवस्था फरक छ, र तिनीहरूको प्रतिक्रियाशीलता र नक्काशी ग्यासको साथ नक्काशी दर पनि फरक हुनेछ। नक्कली प्रक्रियाको क्रममा, भौतिक गुणहरूमा भिन्नताहरूको कारणले गर्दा विभिन्न नक्काशी दरहरूले विभिन्न स्थानहरूमा साइडवालहरूको नक्काशीको गहिराईलाई असंगत बनाउँदछ, अन्ततः साइडवाल झुकाउन नेतृत्व गर्दछ।
उपकरण-सम्बन्धित कारकहरू
नक्काशी उपकरणको प्रदर्शन र स्थितिले पनि नक्काशी परिणामहरूमा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ। उदाहरणका लागि, प्रतिक्रिया कक्षमा असमान प्लाज्मा वितरण र असमान इलेक्ट्रोड पहिरन जस्ता समस्याहरूले नक्कली गर्दा वेफर सतहमा आयन घनत्व र ऊर्जा जस्ता प्यारामिटरहरूको असमान वितरण हुन सक्छ।
थप रूपमा, उपकरणको असमान तापक्रम नियन्त्रण र ग्यास प्रवाहमा थोरै उतार-चढ़ावले पनि नक्काशीको एकरूपतालाई असर गर्न सक्छ, जसले साइडवाल झुकाउन नेतृत्व गर्दछ।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-03-2024