Dual-Damascene एक प्रक्रिया प्रविधि हो जसलाई एकीकृत सर्किटहरूमा धातु इन्टरकनेक्टहरू निर्माण गर्न प्रयोग गरिन्छ। यो दमास्कस प्रक्रियाको थप विकास हो। एउटै प्रक्रिया चरणमा एकै समयमा प्वालहरू र ग्रूभहरू मार्फत गठन गरेर र तिनीहरूलाई धातुले भरेर, धातुको इन्टरकनेक्टहरूको एकीकृत निर्माण महसुस हुन्छ।
यसलाई दमस्कस किन भनिन्छ?
दमास्कस सहर सिरियाको राजधानी हो, र दमस्कस तरवारहरू तिनीहरूको तीखो र उत्कृष्ट बनावटको लागि प्रसिद्ध छन्। एक प्रकारको इन्ले प्रक्रिया आवश्यक छ: पहिले, आवश्यक ढाँचा दमस्कस स्टिलको सतहमा कुँदिएको छ, र पूर्व-तयार सामग्रीहरू कुँदिएको खाँचहरूमा कडा रूपमा जडाइन्छ। इन्ले पूरा भएपछि, सतह अलि असमान हुन सक्छ। कारीगरले समग्र सहजता सुनिश्चित गर्न यसलाई सावधानीपूर्वक पोलिश गर्नेछ। र यो प्रक्रिया चिपको दोहोरो दमास्कस प्रक्रियाको प्रोटोटाइप हो। पहिले, डाइइलेक्ट्रिक तहमा ग्रूभहरू वा प्वालहरू कुँदिएका हुन्छन्, र त्यसपछि तिनीहरूमा धातु भरिन्छ। भर्न पछि, अतिरिक्त धातु cmp द्वारा हटाइनेछ।
दोहोरो डमास्केन प्रक्रियाको मुख्य चरणहरू समावेश छन्:
▪ डाईलेक्ट्रिक तहको निक्षेप:
अर्धचालकमा सिलिकन डाइअक्साइड (SiO2) जस्ता डाइलेक्ट्रिक सामग्रीको तह जम्मा गर्नुहोस्वेफर.
▪ ढाँचा परिभाषित गर्न फोटोलिथोग्राफी:
डाइइलेक्ट्रिक तहमा वियास र खाडलहरूको ढाँचा परिभाषित गर्न फोटोलिथोग्राफी प्रयोग गर्नुहोस्।
▪नक्काशी:
सुक्खा वा भिजेको नक्काशी प्रक्रिया मार्फत डाइइलेक्ट्रिक तहमा वियास र खाइहरूको ढाँचा स्थानान्तरण गर्नुहोस्।
▪ धातु को निक्षेप:
तामा (Cu) वा एल्युमिनियम (Al) जस्ता धातुहरू जम्मा गर्नुहोस्, धातुलाई अन्तरसम्बन्ध बनाउनको लागि वियास र खाडलहरूमा।
▪ केमिकल मेकानिकल पालिसिङ:
अतिरिक्त धातु हटाउन र सतह समतल गर्न धातुको सतहको रासायनिक मेकानिकल पॉलिशिंग।
परम्परागत धातु इन्टरकनेक्ट निर्माण प्रक्रियाको तुलनामा, दोहोरो डमास्केन प्रक्रियाका निम्न फाइदाहरू छन्:
▪सरलीकृत प्रक्रिया चरणहरू:एउटै प्रक्रिया चरणमा एकै साथ भियास र खाडलहरू गठन गरेर, प्रक्रिया चरणहरू र निर्माण समय घटाइन्छ।
▪सुधारिएको उत्पादन दक्षता:प्रक्रिया चरणहरूको कमीको कारण, दोहोरो डमास्केन प्रक्रियाले उत्पादन दक्षता सुधार गर्न र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।
▪मेटल इन्टरकनेक्टहरूको कार्यसम्पादनमा सुधार गर्नुहोस्:दोहोरो डमास्केन प्रक्रियाले साँघुरो धातु अन्तरसम्बन्धहरू प्राप्त गर्न सक्छ, जसले सर्किटहरूको एकीकरण र कार्यसम्पादनमा सुधार गर्दछ।
▪परजीवी क्षमता र प्रतिरोध घटाउनुहोस्:कम-के डाइलेक्ट्रिक सामग्रीहरू प्रयोग गरेर र मेटल इन्टरकनेक्टहरूको संरचनालाई अनुकूलन गरेर, परजीवी क्षमता र प्रतिरोधलाई कम गर्न सकिन्छ, सर्किटहरूको गति र पावर खपत प्रदर्शन सुधार गर्न सकिन्छ।
पोस्ट समय: नोभेम्बर-25-2024