सिलिकन कार्बाइडसिलिकन र कार्बन युक्त कडा कम्पाउन्ड हो, र प्रकृतिमा अत्यन्त दुर्लभ खनिज मोइसानाइटको रूपमा पाइन्छ। सिलिकन कार्बाइड कणहरू धेरै कडा सिरेमिकहरू बनाउनको लागि सिंटरिङद्वारा एकसाथ बाँड्न सकिन्छ, जुन उच्च स्थायित्व चाहिने अनुप्रयोगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी अर्धचालक जुलुसमा।
SiC को भौतिक संरचना
SiC कोटिंग के हो?
SiC कोटिंग उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध र उत्कृष्ट थर्मल चालकता संग घने, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड कोटिंग हो। यो उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग मुख्यतया सेमीकन्डक्टर र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगहरूमा वेफर क्यारियरहरू, आधारहरू र तताउने तत्वहरूलाई संक्षारक र प्रतिक्रियाशील वातावरणबाट जोगाउन प्रयोग गरिन्छ। SiC कोटिंग उच्च भ्याकुम, प्रतिक्रियाशील र अक्सिजन वातावरणमा भ्याकुम भट्टी र नमूना तताउनको लागि पनि उपयुक्त छ।
उच्च शुद्धता SiC कोटिंग सतह
SiC कोटिंग प्रक्रिया के हो?
सिलिकन कार्बाइडको पातलो तह प्रयोग गरेर सब्सट्रेटको सतहमा जम्मा गरिन्छCVD (रासायनिक भाप निक्षेप)। डिपोजिसन सामान्यतया 1200-1300 डिग्री सेल्सियसको तापक्रममा गरिन्छ र सब्सट्रेट सामग्रीको थर्मल विस्तार व्यवहार थर्मल तनाव कम गर्न SiC कोटिंगसँग मिल्दो हुनुपर्छ।
CVD SIC कोटिंग फिल्म क्रिस्टल संरचना
SiC कोटिंगको भौतिक गुणहरू मुख्य रूपमा यसको उच्च तापमान प्रतिरोध, कठोरता, जंग प्रतिरोध र थर्मल चालकतामा प्रतिबिम्बित हुन्छन्।
सामान्य भौतिक मापदण्डहरू निम्नानुसार छन्:
कठोरता: SiC कोटिंगमा सामान्यतया 2000-2500 HV को दायरामा विकर्स कठोरता हुन्छ, जसले तिनीहरूलाई औद्योगिक अनुप्रयोगहरूमा अत्यधिक उच्च पहिरन र प्रभाव प्रतिरोध प्रदान गर्दछ।
घनत्व: SiC कोटिंग्समा सामान्यतया 3.1-3.2 g/cm³ को घनत्व हुन्छ। उच्च घनत्वले कोटिंगको मेकानिकल बल र स्थायित्वमा योगदान गर्दछ।
थर्मल चालकता: SiC कोटिंग्समा उच्च थर्मल चालकता हुन्छ, सामान्यतया १२०-२०० W/mK (२० डिग्री सेल्सियसमा)। यसले यसलाई उच्च तापक्रम वातावरणमा राम्रो थर्मल चालकता दिन्छ र यसलाई अर्धचालक उद्योगमा ताप उपचार उपकरणहरूको लागि विशेष रूपमा उपयुक्त बनाउँछ।
पिघलने बिन्दु: सिलिकन कार्बाइडको लगभग 2730 डिग्री सेल्सियसको पग्लने बिन्दु छ र चरम तापक्रममा उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता छ।
थर्मल विस्तार को गुणांक: SiC कोटिंग्समा थर्मल विस्तार (CTE) को कम रैखिक गुणांक हुन्छ, सामान्यतया 4.0-4.5 µm/mK को दायरामा (25-1000℃ मा)। यसको अर्थ यसको आयामी स्थिरता ठूलो तापमान भिन्नताहरूमा उत्कृष्ट छ।
जंग प्रतिरोध: SiC कोटिंगहरू बलियो एसिड, क्षार र अक्सिडाइजिंग वातावरणमा क्षरणको लागि अत्यन्त प्रतिरोधी हुन्छन्, विशेष गरी जब बलियो एसिडहरू (जस्तै HF वा HCl) प्रयोग गर्दा, तिनीहरूको क्षरण प्रतिरोध परम्परागत धातु सामग्रीको भन्दा धेरै हुन्छ।
SiC कोटिंग्स निम्न सामग्रीहरूमा लागू गर्न सकिन्छ:
उच्च शुद्धता आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट (कम CTE)
टंगस्टन
मोलिब्डेनम
सिलिकन कार्बाइड
सिलिकन नाइट्राइड
कार्बन-कार्बन कम्पोजिट (CFC)
SiC लेपित उत्पादनहरू सामान्यतया निम्न क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ:
एलईडी चिप उत्पादन
Polysilicon उत्पादन
अर्धचालकक्रिस्टल वृद्धि
सिलिकन रSiC एपिटेक्सी
वेफर गर्मी उपचार र नक्काशी
VET ऊर्जा किन छनौट गर्ने?
VET Energy चीनमा SiC कोटिंग उत्पादनहरूको अग्रणी निर्माता, आविष्कारक र नेता हो, मुख्य SiC कोटिंग उत्पादनहरू समावेश छन्SiC कोटिंग संग वेफर वाहक, SiC लेपितepitaxial susceptor, SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग, SiC कोटिंगको साथ आधा-चन्द्र भागहरू, SiC लेपित कार्बन-कार्बन कम्पोजिट, SiC लेपित वेफर डुङ्गा, SiC लेपित हीटर, आदि। VET Energy अर्धचालक उद्योगलाई परम प्रविधि र उत्पादन समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ, र अनुकूलन सेवाहरूलाई समर्थन गर्दछ। हामी ईमानदारीपूर्वक चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार हुन तत्पर छौं।
यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।
Whatsapp र Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
पोस्ट समय: अक्टोबर-18-2024