एकल क्रिस्टल फर्नेस एउटा यन्त्र हो जसले एग्रेफाइट हीटरअक्रिय ग्यास (आर्गन) वातावरणमा पोलीक्रिस्टलाइन सिलिकन सामग्रीहरू पगाल्न र गैर-विस्थापित एकल क्रिस्टलहरू बढ्न Czochralski विधि प्रयोग गर्दछ। यो मुख्यतया निम्न प्रणालीहरु मिलेर बनेको छ:
मेकानिकल प्रसारण प्रणाली
मेकानिकल ट्रान्समिशन प्रणाली एकल क्रिस्टल फर्नेसको आधारभूत अपरेटिङ सिस्टम हो, जुन मुख्य रूपमा क्रिस्टलहरूको आन्दोलन नियन्त्रण गर्न जिम्मेवार हुन्छ।क्रुसिबलहरू, बीज क्रिस्टल को उठान र रोटेशन र को उठाउने र रोटेशन सहितक्रुसिबलहरू। यसले क्रिस्टल विकास प्रक्रियाको सहज प्रगति सुनिश्चित गर्न क्रिस्टल र क्रुसिबलको स्थिति, गति र रोटेशन कोण जस्ता प्यारामिटरहरूलाई सही रूपमा समायोजन गर्न सक्छ। उदाहरण को लागी, बिउ, घाँटी, काँध, समान व्यास वृद्धि र पुच्छर जस्ता विभिन्न क्रिस्टल वृद्धि चरणहरुमा, क्रिस्टल वृद्धि को प्रक्रिया आवश्यकताहरु लाई पूरा गर्न को लागी बीउ क्रिस्टल र क्रुसिबल को चाल को यो प्रणाली द्वारा सही नियन्त्रण गर्न आवश्यक छ।
ताप तापमान नियन्त्रण प्रणाली
यो एकल क्रिस्टल फर्नेसको मुख्य प्रणालीहरू मध्ये एक हो, जुन गर्मी उत्पन्न गर्न र भट्टीमा तापक्रम सही रूपमा नियन्त्रण गर्न प्रयोग गरिन्छ। यो मुख्यतया हीटर, तापक्रम सेन्सर र तापक्रम नियन्त्रक जस्ता कम्पोनेन्टहरू मिलेर बनेको हुन्छ। हीटर सामान्यतया उच्च शुद्धता ग्रेफाइट जस्ता सामग्रीबाट बनेको हुन्छ। एकान्तरण करन्टलाई रूपान्तरित गरिसकेपछि र प्रवाह बढाउनको लागि घटाइएपछि, हीटरले क्रुसिबलमा पोलिसिलिकन जस्ता पॉलीक्रिस्टलाइन सामग्रीहरू पग्लन तातो उत्पन्न गर्छ। तापक्रम सेन्सरले वास्तविक समयमा भट्टीमा भएको तापक्रम परिवर्तनलाई निगरानी गर्छ र तापक्रम नियन्त्रकमा तापक्रम सङ्केत पठाउँछ। तापक्रम नियन्त्रकले सेट तापमान मापदण्डहरू र प्रतिक्रिया तापमान संकेत अनुसार ताप शक्तिलाई सही रूपमा नियन्त्रण गर्दछ, जसले भट्टीमा तापक्रमको स्थिरता कायम राख्छ र क्रिस्टल वृद्धिको लागि उपयुक्त तापक्रम वातावरण प्रदान गर्दछ।
भ्याकुम प्रणाली
भ्याकुम प्रणालीको मुख्य कार्य क्रिस्टल बृद्धि प्रक्रियाको क्रममा भट्टीमा भ्याकुम वातावरण सिर्जना र कायम राख्नु हो। भट्टीमा हावा र अशुद्ध ग्यासहरू भ्याकुम पम्पहरू र अन्य उपकरणहरू मार्फत निकालिन्छन् ताकि भट्टीमा ग्यासको चाप एकदम कम स्तरमा पुग्छ, सामान्यतया 5TOR (टोर) भन्दा कम। यसले सिलिकन सामग्रीलाई उच्च तापमानमा अक्सिडाइज हुनबाट रोक्न सक्छ र क्रिस्टल वृद्धिको शुद्धता र गुणस्तर सुनिश्चित गर्न सक्छ। एकै समयमा, भ्याकुम वातावरण पनि क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाको समयमा उत्पन्न वाष्पशील अशुद्धता हटाउन र क्रिस्टलको गुणस्तर सुधार गर्न अनुकूल छ।
आर्गन प्रणाली
आर्गन प्रणालीले एकल क्रिस्टल फर्नेसमा भट्टीमा दबाबको सुरक्षा र नियमन गर्न भूमिका खेल्छ। भ्याकुमिङ पछि, उच्च शुद्धता आर्गन ग्यास (शुद्धता 6 9 भन्दा माथि हुनुपर्छ) भट्टीमा भरिन्छ। एकातिर, यसले बाहिरी हावालाई भट्टीमा प्रवेश गर्नबाट रोक्न सक्छ र सिलिकन सामग्रीलाई अक्सिडाइज हुनबाट रोक्न सक्छ; अर्कोतर्फ, आर्गन ग्यासको भरणले भट्टीमा स्थिर दबाब कायम राख्न सक्छ र क्रिस्टल विकासको लागि उपयुक्त दबाव वातावरण प्रदान गर्दछ। थप रूपमा, आर्गन ग्यासको प्रवाहले क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाको क्रममा उत्पन्न हुने तापलाई पनि हटाउन सक्छ, निश्चित शीतलन भूमिका खेल्दै।
पानी चिसो प्रणाली
पानी शीतलन प्रणाली को कार्य उपकरण को सामान्य सञ्चालन र सेवा जीवन सुनिश्चित गर्न एकल क्रिस्टल फर्नेस को विभिन्न उच्च-तापमान कम्पोनेन्ट चिसो छ। एकल क्रिस्टल फर्नेसको सञ्चालनको क्रममा, हीटर,क्रूसिबल, इलेक्ट्रोड र अन्य घटकहरूले धेरै गर्मी उत्पन्न गर्नेछ। यदि तिनीहरूलाई समयमै चिसो गरिएन भने, उपकरणहरू धेरै तातो हुनेछन्, विकृत हुनेछन् वा क्षतिग्रस्त हुनेछन्। पानीको शीतलन प्रणालीले उपकरणको तापक्रम सुरक्षित दायरा भित्र राख्नको लागि कूलिङ पानी घुमाएर यी कम्पोनेन्टहरूको ताप हटाउँछ। एकै समयमा, पानीको शीतलन प्रणालीले तापक्रम नियन्त्रणको शुद्धता सुधार गर्न भट्टीमा तापक्रम समायोजन गर्न मद्दत गर्न सक्छ।
विद्युत नियन्त्रण प्रणाली
विद्युतीय नियन्त्रण प्रणाली एकल क्रिस्टल फर्नेसको "मस्तिष्क" हो, सम्पूर्ण उपकरणको सञ्चालनको निगरानी र नियन्त्रणको लागि जिम्मेवार। यसले विभिन्न सेन्सरहरूबाट संकेतहरू प्राप्त गर्न सक्छ, जस्तै तापक्रम सेन्सरहरू, दबाव सेन्सरहरू, स्थिति सेन्सरहरू, आदि, र यी संकेतहरूमा आधारित मेकानिकल प्रसारण प्रणाली, तताउने तापक्रम नियन्त्रण प्रणाली, भ्याकुम प्रणाली, आर्गन प्रणाली र पानी कूलिङ प्रणाली समन्वय र नियन्त्रण गर्न सक्छ। उदाहरण को लागी, क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रिया को समयमा, बिजुली नियन्त्रण प्रणाली स्वचालित रूपमा तापमान सेन्सर द्वारा फिड गरिएको तापमान संकेत अनुसार ताप शक्ति समायोजन गर्न सक्छ; क्रिस्टलको वृद्धि अनुसार, यसले बीउ क्रिस्टल र क्रूसिबलको आन्दोलन गति र रोटेशन कोण नियन्त्रण गर्न सक्छ। एकै समयमा, विद्युतीय नियन्त्रण प्रणालीमा दोष निदान र अलार्म प्रकार्यहरू पनि छन्, जसले समयमै उपकरणको असामान्य अवस्थाहरू पत्ता लगाउन सक्छ र उपकरणको सुरक्षित सञ्चालन सुनिश्चित गर्न सक्छ।
पोस्ट समय: सेप्टेम्बर-23-2024