अर्धचालक वेफर प्रदूषण र सफाई प्रक्रिया बुझ्दै

जब यो वीर्य हुन्छव्यापार समाचार, अर्धचालक निर्माण को विस्तृतता बुझ्न आवश्यक छ। सेमीकन्डक्टर वेफर यस उद्योगमा महत्त्वपूर्ण कम्पोनेन्ट हुन्, तर तिनीहरू प्राय: विभिन्न अशुद्धताबाट प्रदूषणको सामना गर्छन्। यी प्रदूषकहरू, परमाणु, जैविक पदार्थ, धातु तत्व आयन, र अक्साइड समावेश गर्दछ, निर्माण प्रक्रियालाई असर गर्न सक्छ।

कणहरूवेफरको सतहमा सोख्नको लागि इन्टरमोलिक्युलर बलमा पोलिमर र इचिङ अशुद्धता भरोसा, उपकरण फोटोलिथोग्राफीलाई असर गर्छ।जैविक अशुद्धताजस्तै होमो छालाको तेल र मेसिनको तेलले वेफरमा चलचित्र बनाउँछ, सफाईमा बाधा पुर्‍याउँछ।धातु तत्व आयनहरूफलाम र एल्युमिनियम जस्तै अक्सर धातु तत्व आयन जटिल को गठन को माध्यम बाट हटाइन्छ।अक्साइडनिर्माण प्रक्रियामा बाधा पुर्‍याउँछ र सामान्यतया पातलो हाइड्रोफ्लोरिक एसिडमा भिजाएर हटाइन्छ।

रासायनिक विधिहरूसामान्यतया सेमीकन्डक्टर वेफर सफा गर्न र हिर्काउन प्रयोग गरिन्छ। ओसिलो रासायनिक सफाई प्रविधि जस्तै समाधान डुब्ने र मेकानिकल स्क्रब प्रचलित छन्। सुपरसोनिक र मेगासोनिक सफाई विधिले अशुद्धता हटाउन प्रभावकारी तरिकाहरू प्रदान गर्दछ। ड्राई केमिकल क्लिनिङ, प्लाज्मा र ग्यास फेज टेक्नोलोजी समावेश गर्दछ, अर्धचालक वेफर सफाई प्रक्रियाहरूमा पनि एक प्रकार्य खेल्छ।