एकल क्रिस्टल सिलिकन को थर्मल ऑक्सीकरण

सिलिकनको सतहमा सिलिकन डाइअक्साइडको गठनलाई अक्सिडेशन भनिन्छ, र स्थिर र दृढतापूर्वक पालन गर्ने सिलिकन डाइअक्साइडको सिर्जनाले सिलिकन एकीकृत सर्किट प्लानर टेक्नोलोजीको जन्म निम्त्यायो। यद्यपि त्यहाँ सिलिकन डाइअक्साइड सीधै सिलिकनको सतहमा बढ्ने धेरै तरिकाहरू छन्, यो सामान्यतया थर्मल अक्सिडेशन द्वारा गरिन्छ, जुन सिलिकनलाई उच्च तापमान अक्सिडाइजिङ वातावरण (अक्सिजन, पानी) मा पर्दाफास गर्न हो। थर्मल अक्सीकरण विधिहरूले सिलिकन डाइअक्साइड फिल्महरूको तयारीको क्रममा फिल्म मोटाई र सिलिकन/सिलिकन डाइअक्साइड इन्टरफेस विशेषताहरू नियन्त्रण गर्न सक्छ। सिलिकन डाइअक्साइड बढाउनका लागि अन्य प्रविधिहरू प्लाज्मा एनोडाइजेशन र भिजेको एनोडाइजेशन हुन्, तर यी मध्ये कुनै पनि प्रविधि VLSI प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छैन।

सिलिकनले स्थिर सिलिकन डाइअक्साइड बनाउने प्रवृत्ति देखाउँछ। यदि ताजा क्लीभ गरिएको सिलिकन अक्सिजन वातावरण (जस्तै अक्सिजन, पानी) मा पर्दा, यसले कोठाको तापक्रममा पनि धेरै पातलो अक्साइड तह (<20Å) बनाउँछ। जब सिलिकन उच्च तापमानमा अक्सिडाइजिङ वातावरणमा उजागर हुन्छ, एक बाक्लो अक्साइड तह छिटो दरमा उत्पन्न हुनेछ। सिलिकनबाट सिलिकन डाइअक्साइड गठनको आधारभूत संयन्त्र राम्ररी बुझिएको छ। डील र ग्रोभले 300Å भन्दा मोटो अक्साइड फिल्महरूको वृद्धि गतिशीलतालाई सही रूपमा वर्णन गर्ने गणितीय मोडेलको विकास गर्‍यो। तिनीहरूले प्रस्ताव गरे कि अक्सिडेशन निम्न तरिकाले गरिन्छ, त्यो हो, अक्सिडेन्ट (पानी अणुहरू र अक्सिजन अणुहरू) अवस्थित अक्साइड तहबाट Si/SiO2 इन्टरफेसमा फैलिन्छ, जहाँ अक्सिडेन्टले सिलिकनसँग प्रतिक्रिया गर्दछ सिलिकन डाइअक्साइड बनाउन। सिलिकन डाइअक्साइड बनाउनको लागि मुख्य प्रतिक्रिया निम्नानुसार वर्णन गरिएको छ:

अक्सिडेशन प्रतिक्रिया Si/SiO2 इन्टरफेसमा हुन्छ, त्यसैले जब अक्साइड तह बढ्छ, सिलिकन लगातार खपत हुन्छ र इन्टरफेसले बिस्तारै सिलिकनलाई आक्रमण गर्दछ। सिलिकन र सिलिकन डाइअक्साइडको समान घनत्व र आणविक वजन अनुसार, यो फेला पार्न सकिन्छ कि अन्तिम अक्साइड तहको मोटाईको लागि सिलिकन खपत 44% हो। यसरी, यदि अक्साइड तह 10,000Å बढ्यो भने, 4400Å सिलिकन खपत हुनेछ। यो सम्बन्ध मा गठन गरिएका चरणहरूको उचाइ गणना गर्न महत्त्वपूर्ण छसिलिकन वेफर। चरणहरू सिलिकन वेफर सतहमा विभिन्न स्थानहरूमा विभिन्न अक्सीकरण दरहरूको परिणाम हो।

हामी उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र सिलिकन कार्बाइड उत्पादनहरू पनि आपूर्ति गर्छौं, जुन अक्सिडेशन, डिफ्युजन, र एनिलिङ जस्ता वेफर प्रशोधनमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

थप छलफलको लागि हामीलाई भ्रमण गर्न संसारभरका कुनै पनि ग्राहकहरूलाई स्वागत छ!

https://www.vet-china.com/