TaC कोटिंग संग ग्रेफाइट

I. प्रक्रिया प्यारामिटर अन्वेषण

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar प्रणाली

2. जम्मा तापमान:

थर्मोडायनामिक सूत्र अनुसार, यो गणना गरिन्छ कि जब तापमान 1273K भन्दा बढी हुन्छ, प्रतिक्रियाको गिब्स मुक्त ऊर्जा धेरै कम हुन्छ र प्रतिक्रिया अपेक्षाकृत पूर्ण हुन्छ। प्रतिक्रिया स्थिर KP 1273K मा धेरै ठूलो छ र तापमान संग छिटो बढ्छ, र वृद्धि दर बिस्तारै 1773K मा सुस्त हुन्छ।

कोटिंगको सतह आकार विज्ञानमा प्रभाव: जब तापक्रम उपयुक्त छैन (धेरै उच्च वा धेरै कम), सतहले मुक्त कार्बन मोर्फोलोजी वा ढीलो छिद्रहरू प्रस्तुत गर्दछ।

(१) उच्च तापक्रममा, सक्रिय रिएक्टेन्ट परमाणुहरू वा समूहहरूको आन्दोलन गति धेरै छिटो हुन्छ, जसले सामग्रीको संचयको क्रममा असमान वितरणको नेतृत्व गर्दछ, र धनी र गरीब क्षेत्रहरू सजिलै ट्रान्जिसन गर्न सक्दैनन्, परिणामस्वरूप छिद्रहरू।

(२) अल्केन्सको पाइरोलिसिस प्रतिक्रिया दर र ट्यान्टालम पेन्टाक्लोराइडको घटाउने प्रतिक्रिया दर बीचको भिन्नता छ। पाइरोलिसिस कार्बन अत्यधिक हुन्छ र समयमै ट्यान्टलमसँग जोड्न सकिँदैन, फलस्वरूप सतह कार्बनद्वारा बेरिएको हुन्छ।

जब तापक्रम उपयुक्त हुन्छ, यसको सतहTaC कोटिंगघना छ।

TaCकणहरू पग्लिन्छन् र एकअर्कासँग जम्मा हुन्छन्, क्रिस्टल फारम पूर्ण हुन्छ, र अनाज सीमा संक्रमण सहज रूपमा हुन्छ।

3. हाइड्रोजन अनुपात:

थप रूपमा, कोटिंग गुणस्तरलाई असर गर्ने धेरै कारकहरू छन्:

- सब्सट्रेट सतह गुणस्तर

- डिपोजिसन ग्यास क्षेत्र

-रिएक्टेन्ट ग्याँस मिश्रण को एकरूपता को डिग्री

II। को विशिष्ट दोषहरूट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग

1. कोटिंग क्र्याकिंग र पिलिंग

रैखिक थर्मल विस्तार गुणांक रैखिक CTE:

2. दोष विश्लेषण:

(१) कारण:

(२) चरित्रीकरण विधि

① अवशिष्ट तनाव मापन गर्न एक्स-रे विवर्तन प्रविधि प्रयोग गर्नुहोस्।

② अवशिष्ट तनाव अनुमान गर्न Hu Ke को नियम प्रयोग गर्नुहोस्।

(3) सम्बन्धित सूत्रहरू

3. कोटिंग र सब्सट्रेटको मेकानिकल अनुकूलता बढाउनुहोस्

(1) सतह भित्र-स्थल वृद्धि कोटिंग

थर्मल प्रतिक्रिया बयान र प्रसार प्रविधि TRD

पग्लिएको नुन प्रक्रिया

उत्पादन प्रक्रिया सरल बनाउनुहोस्

प्रतिक्रिया तापमान कम गर्नुहोस्

अपेक्षाकृत कम लागत

अधिक वातावरण मैत्री

ठूलो मात्रामा औद्योगिक उत्पादनको लागि उपयुक्त

(2) समग्र संक्रमण कोटिंग

सह-जमा प्रक्रिया

CVDप्रक्रिया

बहु-घटक कोटिंग

प्रत्येक घटकको फाइदाहरू संयोजन गर्दै

लचिलो रूपमा कोटिंग संरचना र अनुपात समायोजन गर्नुहोस्

4. थर्मल प्रतिक्रिया बयान र प्रसार प्रविधि TRD

(1) प्रतिक्रिया संयन्त्र

TRD प्रविधिलाई एम्बेडिङ प्रक्रिया पनि भनिन्छ, जसले बोरिक एसिड-ट्यान्टालम पेन्टोक्साइड-सोडियम फ्लोराइड-बोरोन अक्साइड-बोरोन कार्बाइड प्रणाली प्रयोग गर्छ।ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग.

① पग्लिएको बोरिक एसिडले ट्यान्टालम पेन्टोक्साइडलाई भंग गर्छ;

② ट्यान्टालम पेन्टोक्साइड सक्रिय ट्यान्टालम परमाणुहरूमा घटाइन्छ र ग्रेफाइट सतहमा फैलिन्छ;

③ सक्रिय ट्यान्टलम परमाणुहरू ग्रेफाइट सतहमा सोखिन्छन् र कार्बन परमाणुहरूसँग प्रतिक्रिया गरेर बन्छन्।ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग.

(2) प्रतिक्रिया कुञ्जी

कार्बाइड कोटिंग को प्रकार को आवश्यकता को पूरा गर्नै पर्छ कि कार्बाइड को गठन तत्व को अक्सीकरण गठन मुक्त ऊर्जा बोरोन अक्साइड को भन्दा उच्च छ।

कार्बाइडको गिब्स मुक्त ऊर्जा पर्याप्त कम छ (अन्यथा, बोरोन वा बोराइड गठन हुन सक्छ)।

ट्यान्टलम पेन्टोक्साइड एक तटस्थ अक्साइड हो। उच्च-तापमान पग्लिएको बोराक्समा, यसले बलियो क्षारीय अक्साइड सोडियम अक्साइडसँग प्रतिक्रिया गरेर सोडियम टेन्टालेट बनाउन सक्छ, जसले गर्दा प्रारम्भिक प्रतिक्रियाको तापक्रम घटाउँछ।