फटफट गर्ने लक्ष्यहरूमुख्यतया इलेक्ट्रोनिक्स र सूचना उद्योगहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै एकीकृत सर्किटहरू, सूचना भण्डारण, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेजर मेमोरीहरू, इलेक्ट्रोनिक नियन्त्रण उपकरणहरू, इत्यादि। तिनीहरू ग्लास कोटिंगको क्षेत्रमा पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ, साथै पहिरन-प्रतिरोधीमा। सामग्री, उच्च-तापमान जंग प्रतिरोध, उच्च-अन्त सजावटी उत्पादनहरू र अन्य उद्योगहरू।
स्पटरिङ पातलो फिल्म सामग्रीहरू तयार गर्ने मुख्य प्रविधिहरू मध्ये एक हो।यसले आयन स्रोतहरूद्वारा उत्पन्न आयनहरूलाई द्रुत गतिको ऊर्जा आयन बीमहरू बनाउन, ठोस सतहमा बमबारी गर्न, र आयनहरू र ठोस सतह परमाणुहरू बीच गतिज ऊर्जा आदानप्रदान गर्न भ्याकुममा द्रुत र जम्मा गर्न प्रयोग गर्दछ। ठोस सतहमा रहेका परमाणुहरूले ठोसलाई छोड्छन् र सब्सट्रेटको सतहमा जम्मा हुन्छन्। बमबारेड ठोस भनेको थुकेर पातलो फिल्महरू जम्मा गर्ने कच्चा पदार्थ हो, जसलाई स्पटरिङ लक्ष्य भनिन्छ। सेमीकन्डक्टर इन्टिग्रेटेड सर्किट, रेकर्डिङ मिडिया, फ्ल्याट-प्यानल डिस्प्ले र वर्कपीस सतह कोटिंग्समा विभिन्न प्रकारका स्पटर गरिएको पातलो फिल्म सामग्रीहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ।
सबै एप्लिकेसन उद्योगहरू मध्ये, अर्धचालक उद्योगमा लक्षित स्पटरिङ फिल्महरूको लागि सबैभन्दा कडा गुणस्तर आवश्यकताहरू छन्। उच्च शुद्धता धातु स्पटरिङ लक्ष्यहरू मुख्य रूपमा वेफर निर्माण र उन्नत प्याकेजिङ प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ। चिप उत्पादनलाई उदाहरणको रूपमा लिँदा, हामी देख्न सक्छौं कि सिलिकन वेफरबाट चिपमा, यसले 7 प्रमुख उत्पादन प्रक्रियाहरू पार गर्न आवश्यक छ, अर्थात् डिफ्यूजन (थर्मल प्रक्रिया), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), इच (ईच), आयन इम्प्लान्टेशन (आयन इम्प्लान्ट), पातलो फिल्म ग्रोथ (डाइलेक्ट्रिक डिपोजिसन), केमिकल मेकानिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), धातुकरण (धातुकरण) प्रक्रियाहरू एक-एक गरी अनुरूप हुन्छन्। स्पटरिङ लक्ष्य "मेटलाइजेशन" को प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ। पातलो फिल्म डिपोजिसन उपकरणहरूद्वारा लक्ष्यमा उच्च-ऊर्जा कणहरूद्वारा बमबारी गरिन्छ र त्यसपछि सिलिकन वेफरमा विशेष प्रकार्यहरू सहितको धातुको तह बनाइन्छ, जस्तै प्रवाहकीय तह, अवरोध तह। पर्खनुहोस्। सम्पूर्ण सेमीकन्डक्टरहरूको प्रक्रियाहरू भिन्न भएकाले प्रणाली सही रूपमा अवस्थित छ भनी प्रमाणित गर्नको लागि कहिलेकाहीं परिस्थितिहरू आवश्यक हुन्छन् त्यसैले हामी प्रभावहरू पुष्टि गर्न उत्पादनको निश्चित चरणहरूमा केही प्रकारका डमी सामग्रीहरू माग गर्छौं।
पोस्ट समय: जनवरी-17-2022