PECVD प्रक्रियाको लागि ग्रेफाइट क्यारियर

PECVD प्रक्रियाको लागि ग्रेफाइट वाहकहरू निम्न विशेषताहरू छन्:

▪ उच्च शुद्धता: अत्यन्त कम अशुद्धता सामग्री, फिल्मको प्रदूषणबाट बच्ने र फिल्मको गुणस्तर सुनिश्चित गर्ने।

▪ उच्च घनत्व: उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापक्रम र उच्च दबाव PECVD वातावरण सामना गर्न सक्षम।

▪ राम्रो आयामी स्थिरता: उच्च तापक्रममा सानो आयामी परिवर्तन, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित गर्दै।

▪ उत्कृष्ट थर्मल चालकता: प्रभावकारी रूपमा वेफर ओभर तातो रोक्नको लागि तातो स्थानान्तरण गर्नुहोस्।

▪ बलियो क्षरण प्रतिरोध: विभिन्न संक्षारक ग्यास र प्लाज्मा द्वारा क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्षम।

▪ अनुकूलित सेवा: विभिन्न आकार र आकारका ग्रेफाइट क्यारियरहरू ग्राहकको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।