ग्रेफाइट सामग्री आवश्यकताहरूको सेमीकन्डक्टर उद्योग आवश्यकताहरू विशेष गरी उच्च छन्, ग्रेफाइटको ठीक कण आकार उच्च परिशुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च शक्ति, सानो हानि र अन्य फाइदाहरू छन्, जस्तै: sintered ग्रेफाइट उत्पादन मोल्ड।सेमीकन्डक्टर उद्योगमा प्रयोग हुने ग्रेफाइट उपकरणहरू (हीटरहरू र तिनीहरूको सिन्टेड डाइज सहित) लाई बारम्बार तताउने र शीतलन प्रक्रियाहरू सामना गर्न आवश्यक छ, ग्रेफाइट उपकरणहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्नको लागि, यो सामान्यतया आवश्यक हुन्छ कि प्रयोग गरिएको ग्रेफाइट सामग्रीहरूको प्रदर्शन स्थिर छ। र गर्मी प्रतिरोधी प्रभाव प्रकार्य।
01 अर्धचालक क्रिस्टल वृद्धि को लागी ग्रेफाइट सामान
अर्धचालक क्रिस्टलहरू बढ्न प्रयोग गरिने सबै प्रक्रियाहरू उच्च तापमान र संक्षारक वातावरण अन्तर्गत सञ्चालन हुन्छन्। क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसको तातो क्षेत्र सामान्यतया गर्मी-प्रतिरोधी र जंग-प्रतिरोधी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरूले सुसज्जित हुन्छ, जस्तै हीटर, क्रुसिबल, इन्सुलेशन सिलिन्डर, गाइड सिलिन्डर, इलेक्ट्रोड, क्रुसिबल होल्डर, इलेक्ट्रोड नट, आदि।
हामी क्रिस्टल उत्पादन उपकरणहरूको सबै ग्रेफाइट भागहरू निर्माण गर्न सक्छौं, जुन व्यक्तिगत रूपमा वा सेटहरूमा आपूर्ति गर्न सकिन्छ, वा ग्राहक आवश्यकताहरू अनुसार विभिन्न आकारका अनुकूलित ग्रेफाइट भागहरू। उत्पादनहरूको साइज साइटमा मापन गर्न सकिन्छ, र समाप्त उत्पादनहरूको खरानी सामग्री कम हुन सक्छ5ppm भन्दा।
02 सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सीको लागि ग्रेफाइट सामानहरू
एपिटेक्सियल प्रक्रियाले एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटमा सब्सट्रेटको रूपमा समान जाली व्यवस्थाको साथ एकल क्रिस्टल सामग्रीको तहको वृद्धिलाई जनाउँछ। एपिटेक्सियल प्रक्रियामा, वेफर ग्रेफाइट डिस्कमा लोड हुन्छ। ग्रेफाइट डिस्कको प्रदर्शन र गुणस्तरले वेफरको एपिटेक्सियल तहको गुणस्तरमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। एपिटेक्सियल उत्पादनको क्षेत्रमा, धेरै अल्ट्रा-उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SIC कोटिंगको साथ उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आधार आवश्यक छ।
सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सीको लागि हाम्रो कम्पनीको ग्रेफाइट आधारमा अनुप्रयोगहरूको विस्तृत दायरा छ, उद्योगमा प्रायः प्रयोग हुने उपकरणहरूसँग मेल खान सक्छ, र उच्च शुद्धता, समान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन, र उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता छ।
03 आयन प्रत्यारोपणको लागि ग्रेफाइट सामानहरू
आयन इम्प्लान्टेशनले बोरोन, फस्फोरस र आर्सेनिकको प्लाज्मा बीमलाई निश्चित ऊर्जामा गति दिने प्रक्रियालाई बुझाउँछ, र त्यसपछि सतह तहको भौतिक गुणहरू परिवर्तन गर्न वेफर सामग्रीको सतह तहमा इन्जेक्सन गर्ने प्रक्रियालाई बुझाउँछ। आयन इम्प्लान्टेसन यन्त्रका कम्पोनेन्टहरू उत्कृष्ट ताप प्रतिरोध, थर्मल चालकता, आयन किरणको कारण कम जंग र कम अशुद्धता सामग्रीको साथ उच्च-शुद्धता सामग्रीहरूबाट बनेको हुनुपर्छ। उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटले अनुप्रयोग आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ, र फ्लाइट ट्यूब, विभिन्न स्लिट्स, इलेक्ट्रोड, इलेक्ट्रोड कभरहरू, कन्ड्युट्स, बीम टर्मिनेटरहरू, इत्यादिको लागि आयन इम्प्लान्टेशन उपकरणहरूको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ।
हामीले विभिन्न आयन इम्प्लान्टेशन मेसिनका लागि ग्रेफाइट शिल्डिङ कभर मात्र उपलब्ध गराउन सक्दैनौं, तर उच्च शुद्धता ग्रेफाइट इलेक्ट्रोडहरू र विभिन्न विशिष्टताहरूको उच्च जंग प्रतिरोधी आयन स्रोतहरू पनि प्रदान गर्न सक्छौं। लागू मोडेलहरू: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM र अन्य उपकरणहरू। थप रूपमा, हामी मिल्दो सिरेमिक, टंगस्टन, मोलिब्डेनम, एल्युमिनियम उत्पादनहरू र लेपित भागहरू पनि प्रदान गर्न सक्छौं।
04 ग्रेफाइट इन्सुलेशन सामग्री र अन्य
अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा प्रयोग हुने थर्मल इन्सुलेशन सामग्रीहरूमा ग्रेफाइट हार्ड फेल, सफ्ट फेल्ट, ग्रेफाइट पन्नी, ग्रेफाइट पेपर, र ग्रेफाइट डोरी समावेश छ।
हाम्रा सबै कच्चा मालहरू आयातित ग्रेफाइट हुन्, जुन ग्राहकको आवश्यकताको विशिष्ट आकार अनुसार काट्न सकिन्छ वा सम्पूर्ण रूपमा बेच्न सकिन्छ।
कार्बन-कार्बन ट्रे सौर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन र पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकन सेलहरूको उत्पादन प्रक्रियामा फिल्म कोटिंगको लागि वाहकको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। काम गर्ने सिद्धान्त हो: CFC ट्रेमा सिलिकन चिप घुसाउनुहोस् र फिल्म कोटिंग प्रशोधन गर्न फर्नेस ट्यूबमा पठाउनुहोस्।
