Epitaxial Epi Graphite बैरल ससेप्टर

Epitaxial Epi Graphite बैरल ससेप्टर

Epitaxial Epi Graphite बैरल ससेप्टरडिपोजिसन वा एपिटेक्सी प्रक्रियाहरू जस्ता निर्माण प्रक्रियाहरूमा अर्धचालक सब्सट्रेटहरू समात्न र तताउन प्रयोग गरिने विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको समर्थन र तताउने उपकरण हो।

यसको संरचनामा सामान्यतया बेलनाकार वा थोरै ब्यारेल आकारको, सतह सुविधाहरू बहु पकेटहरू वा वेफरहरू राख्नको लागि प्लेटफार्महरू समावेश छन्, ताप विधिमा निर्भर गर्दै, ठोस वा खोक्रो डिजाइन हुन सक्छ।

एपिटेक्सियल बैरल ससेप्टरको मुख्य कार्यहरू:

-सब्सट्रेट समर्थन: धेरै सेमीकन्डक्टर वेफरहरू सुरक्षित रूपमा राख्छ;
-तातो स्रोत: ताप मार्फत वृद्धिको लागि आवश्यक उच्च तापमान प्रदान गर्दछ;
- तापक्रम एकरूपता: सब्सट्रेटहरूको समान तताउने सुनिश्चित गर्दछ;
-रोटेशन: तापमान र ग्यास वितरण एकरूपता सुधार गर्न सामान्यतया वृद्धिको समयमा घुमाउँछ।

Epi ग्रेफाइट ब्यारेल ससेप्टरको कार्य सिद्धान्त:
- एपिटेक्सियल रिएक्टरमा, ब्यारेल ससेप्टरलाई आवश्यक तापक्रममा तताइन्छ (सामान्यतया सिलिकन एपिटेक्सीको लागि 1000 ℃-1200 ℃);
- ब्यारेल ससेप्टरले समान तापमान वितरण र ग्यास प्रवाह सुनिश्चित गर्न घुमाउँछ;
-रिएक्शन ग्यासहरू उच्च तापक्रममा सड्छन्, सब्सट्रेट सतहमा एपिटेक्सियल तहहरू बनाउँछन्।

आवेदनहरू:
- मुख्यतया सिलिकन epitaxial वृद्धि को लागी प्रयोग गरिन्छ
- GaAs, InP, आदि जस्ता अन्य अर्धचालक सामग्रीहरूको एपिटेक्सीको लागि पनि लागू हुन्छ।

VET ऊर्जाले रासायनिक स्थिरता बढाउन CVD-SiC कोटिंगको साथ उच्च शुद्धता ग्रेफाइट प्रयोग गर्दछ:

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor का फाइदाहरू:

- उच्च तापमान स्थिरता;
- राम्रो थर्मल एकरूपता;
- उत्पादन दक्षता सुधार गर्दै, एकै साथ धेरै सब्सट्रेटहरू प्रशोधन गर्न सक्छ;
-रासायनिक रूपमा निष्क्रिय, उच्च शुद्धता वृद्धि वातावरण कायम गर्दै।