ဆိုလာပြားအတွက် PECVD Graphite Boat

PECVD Graphite Boat ဆိုလာပြားအတွက် အထူးအသားပေးပုံ

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

ဆိုလာပြားအတွက် VET Energy PECVD Graphite Boat သည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဆိုလာပြားများ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော အဆင့်မြင့် အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုထားသော ဤဂရပ်ဖိုက်သင်္ဘောသည် ဆိုလာဆဲလ်များပေါ်ရှိ ပါးလွှာသော ဖလင်များကို အကောင်းဆုံး ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် တူညီသော သတ္တုပြားများကို တူညီစွာ အပ်နှံကြောင်း သေချာစေသည်။ တိကျမှုနှင့် တာရှည်ခံမှုအတွက် အင်ဂျင်နီယာဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားပြီး သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်မှု၊ မြင့်မားသောချေးခံနိုင်ရည်နှင့် ညစ်ညမ်းမှုအနည်းဆုံးတို့ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ထိရောက်ပြီး အရည်အသွေးမြင့် ဆိုလာပြားများထုတ်လုပ်ရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။ PDF အဖြစ် ဒေါင်းလုဒ်လုပ်ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ကုန်ပစ္စည်း တံဆိပ်များ

VET စွမ်းအင်ဆိုလာဆဲလ်များအတွက် PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေသည် ဆိုလာဆဲလ်များ၏ PECVD (ပလာစမာအဆင့်မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ စုဆောင်းခြင်း) လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အဓိက စားသုံးနိုင်သော လောင်စာဖြစ်သည်။ ဂရပ်ဖိုက်လှေအား သန့်စင်သော isostatic graphite ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး 15% ထက်နည်းသော porosity နှင့် Ra≤1.6μm ၏ မျက်နှာပြင်ကြမ်းမှု။ ၎င်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှုကဲ့သို့သော ကောင်းမွန်သော ဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။ အလွန်ကောင်းမွန်သော Dimension တည်ငြိမ်မှုနှင့် အပူစီးကူးနိုင်မှုတို့သည် တစ်ပြေးညီဖလင်များထွက်ရှိမှုကို သေချာစေပြီး ဘက်ထရီစွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုးတက်စေသည်။ တစ်ပြေးညီ အစစ်ခံပြီး ဆိုလာဆဲလ်ရုပ်ရှင်များ၏ အရည်အသွေးမြင့်မားမှုကို သေချာစေရန် ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်ပြီး ဖိအားမြင့် PECVD ပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်သော သယ်ဆောင်မှုကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။

SGL မှ Graphite ပစ္စည်း

ပုံမှန်သတ်မှတ်ချက်- R6510
အညွှန်း	စမ်းသပ်စံ	တန်ဖိုး	ယူနစ်
ပျမ်းမျှစပါးအရွယ်အစား	ISO 13320	၁၀	µm
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု	DIN IEC 60413/204	၁.၈၃	g/cm³
ချွေးပေါက်များကိုဖွင့်ပါ။	DIN66133	၁၀	%
အလယ်အလတ် ချွေးပေါက်အရွယ်အစား	DIN66133	၁.၈	µm
စိမ့်ဝင်နိုင်မှု	DIN 51935	၀.၀၆	cm²/s
Rockwell မာကျောမှု HR5/100	DIN IEC60413/303	၉၀	HR
တိကျသောလျှပ်စစ်ခုခံနိုင်စွမ်း	DIN IEC 60413/402	၁၃	μΩm
Flexural ခွန်အား	DIN IEC 60413/501	60	MPa
တွန်းအား	DIN 51910	၁၃၀	MPa
Young's Modulus	DIN 51915	၁၁.၅×၁၀³	MPa
အပူချဲ့ခြင်း (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (20 ℃)	DIN 51908	၁၀၅	Wm^-1K^-1

၎င်းသည် G12 အရွယ်အစားကြီးမားသော wafer လုပ်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဝန်ဆောင်မှုပေးသည့် ဒီဇိုင်းသည် သွင်းအားကို သိသိသာသာ တိုးစေပြီး အထွက်နှုန်း မြင့်မားစေကာ ထုတ်လုပ်မှု ကုန်ကျစရိတ် နည်းပါးစေသည်။

ကုသိုလ်ကံ	ရိုက်ပါ။	နံပါတ် wafer သယ်ဆောင်သူ
PEVCD Grephite လှေ - 156 စီးရီး	156-13 ဂရက်ဖိုက်လှေ	၁၄၄
	156-19 ဂရက်ဖိုက်လှေ	၂၁၆
	156-21 ဂရက်ဖိုက်လှေ	၂၄၀
	၁၅၆-၂၃ ဖိုက်တာလှေ	၃၀၈
PEVCD Grephite လှေ - 125 စီးရီး	125-15 ဂရပ်ဖိုက်လှေ	၁၉၆
	125-19 ဂရက်ဖိုက်လှေ	၂၅၂
	125-21 grphite လှေ	၂၈၀