ဖိုက်တင်လှေများဂရပ်ဖိုက်လှေများဟုလည်း လူသိများသော၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကြွေထည်များ ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ အနုစိတ်သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ဤအထူးပြုသင်္ဘောများသည် အပူချိန်မြင့်သောကုသမှုများအတွင်း ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော သယ်ဆောင်သူများအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပေးပြီး တိကျသောနှင့် ထိန်းချုပ်လုပ်ဆောင်မှုကို သေချာစေသည်။ ၎င်းတို့၏ ထူးခြားသော ဝိသေသလက္ခဏာများနှင့် စွယ်စုံရအသုံးချမှုများ၊ဖိုက်တင်လှေများဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာများဖြစ်လာသည်။ အဓိက လုပ်ဆောင်ချက်တွေကို လေ့လာကြည့်ရအောင်ဖိုက်တင်လှေများဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကြွေထည်များ ထုတ်လုပ်ရာတွင် မရှိမဖြစ် အစိတ်အပိုင်းများ။
1. High-Temperature Tolerance-
ဖိုက်တင်လှေများအရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများဖြင့် ဖန်တီးထားသောကြောင့် ၎င်းတို့၏ ထူးခြားသော အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ဤအရည်အသွေးသည် Graphite သင်္ဘောများကို ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာများ ဓာတုပစ္စည်းထုတ်ခြင်း (CVD) နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများကဲ့သို့ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ကြုံတွေ့ရသည့် ပြင်းထန်သောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပါသည်။ ပြင်းထန်သော အပူအခြေအနေများအောက်တွင် တည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ သမာဓိနှင့် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်မှုသည် တသမတ်တည်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုကို သေချာစေရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။
2. Chemical Inertness-
Graphite တွင် အဓိကအသုံးပြုသော ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ဖိုက်တင်လှေများ၊ သိသိသာသာ ဓာတုမတည်ငြိမ်မှုကို ပြသပြီး သံချေးတက်ခြင်းနှင့် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ဤလက္ခဏာသည် ပြင်းထန်သောဓာတုပစ္စည်းများနှင့် ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များကို မကြာခဏအသုံးပြုလေ့ရှိသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကြွေထည်များထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အထူးသဖြင့် အားသာချက်ဖြစ်သည်။ Graphite boats များသည် semiconductor wafers များအတွက် အကာအကွယ်ပေးသော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းပြီး ညစ်ညမ်းမှုကို တားဆီးကာ နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်၏ သန့်စင်မှုကို သေချာစေသည်။
3. တိကျသော Dimensional ထိန်းချုပ်မှု-
ဖိုက်တင်လှေများအရွယ်အစားအမျိုးမျိုးနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးရှိသော semiconductor wafers များကို လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန် တိကျစွာ တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။ ၎င်းတို့၏ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သော ဒီဇိုင်းများသည် wafers များအတွက် snug fit ဖြစ်စေရန်နှင့် ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း ပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို အနည်းဆုံးဖြစ်စေရန် တိကျသောအတိုင်းအတာကို ထိန်းချုပ်နိုင်စေပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တူညီသော အပေါ်ယံအထူနှင့် အစစ်ခံမှု တိကျမှုကို ရရှိရန်အတွက် ဤတိကျမှုအဆင့်သည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
4. Applications များတွင် ဘက်စုံအသုံးပြုနိုင်မှု-
ဖိုက်တင်လှေများepitaxy, diffusion, annealing, နှင့် thin-film deposition အပါအဝင် semiconductor fabrication process အမျိုးမျိုးတွင် တွင်တွင်ကျယ်ကျယ် အသုံးပြုနေသည်ကို တွေ့ရပါသည်။ အပူပိုင်းလုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း ဆီလီကွန် wafers များကို ပံ့ပိုးပေးခြင်း သို့မဟုတ် epitaxial အလွှာများ ကြီးထွားမှုကို ကူညီပေးသည်ဖြစ်စေ Graphite လှေများသည် အမျိုးမျိုးသော အသုံးချပရိုဂရမ်များတစ်လျှောက် စွယ်စုံရနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပေးဆောင်သည်။ မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် အဆိပ်သင့်သော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ကြာရှည်စွာ ထိတွေ့မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းက ၎င်းတို့အား ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကြွေထည်များ ထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ကိရိယာများကို ဖြစ်စေသည်။
5. Silicon Carbide Coating လိုက်ဖက်မှု-
Graphite သင်္ဘောများသည် အဆင့်မြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်း ပါ၀င်သည့် အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ ဆီလီကွန်ကာဘိုက်နှင့် ဂရပ်ဖိုက်၏ လိုက်ဖက်ညီမှုသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအလွှာများပေါ်ရှိ SiC အလွှာများကို ထိရောက်ပြီး တစ်ပြေးညီ စုစည်းစေပြီး စက်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။ Graphite လှေများသည် အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို ချောမွေ့စေရန်အတွက် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး တစ်ပြေးညီအကျုံးဝင်မှုနှင့် အပေါ်ယံအထူအပေါ် တိကျသောထိန်းချုပ်မှုသေချာစေပါသည်။
နိဂုံးချုပ်အားဖြင့်၊ Graphite လှေများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကြွေထည်များ ထုတ်လုပ်မှုတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းများအဖြစ် ဆောင်ရွက်ကြပြီး၊ အပူချိန်မြင့်မားသော ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ဓာတုကင်းမဲ့မှု၊ တိကျသော အတိုင်းအတာထိန်းချုပ်မှုနှင့် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာများနှင့် လိုက်ဖက်မှုတို့ကို ပေးဆောင်သည်။ ၎င်းတို့၏ ဘက်စုံအသုံးပြုနိုင်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုသည် ၎င်းတို့အား တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာများကိုဖြစ်စေပြီး အရည်အသွေးမြင့်ပြီး စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများကို ထုတ်လုပ်နိုင်စေပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာ တိုးတက်လာသည်နှင့်အမျှ၊ Graphite လှေများသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ပိုင်ဆိုင်မှုများအဖြစ် ဆက်လက်တည်ရှိနေမည်ဖြစ်ပြီး၊ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းတွင် တိုးတက်မှုကို မောင်းနှင်ပေးမည်ဖြစ်သည်။
ပို့စ်အချိန်- ဧပြီလ 22-2024