မြင့်မားသောဗို့အား၊ ပါဝါမြင့်မားမှု၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့်ခြင်းနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသောလက္ခဏာများကို လိုက်စားသည့် S1C သီးခြားစက်ပစ္စည်းများနှင့် ကွဲပြားသည်၊ SiC ပေါင်းစပ်ပတ်လမ်း၏ သုတေသနရည်မှန်းချက်မှာ အသိဉာဏ်ပါဝါ ICs ထိန်းချုပ်ပတ်လမ်းအတွက် အပူချိန်မြင့်မားသော ဒစ်ဂျစ်တယ်ဆားကစ်ကို ရရှိရန် အဓိကဖြစ်သည်။ အတွင်းပိုင်းလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအတွက် SiC ပေါင်းစပ်ပတ်လမ်းသည် အလွန်နည်းပါးသောကြောင့်၊ ထို့ကြောင့် microtubules ချို့ယွင်းချက်၏ လွှမ်းမိုးမှုမှာ အလွန်သက်သာသွားမည်ဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းသည် monolithic SiC ပေါင်းစပ်လည်ပတ်မှုဆိုင်ရာ အသံချဲ့စက်ချစ်ပ်၏ ပထမဆုံးအပိုင်းဖြစ်ကြောင်း စိစစ်တွေ့ရှိရသည်၊ အမှန်တကယ် ပြီးသွားသည့်ထုတ်ကုန်နှင့် အထွက်နှုန်းအရ ဆုံးဖြတ်ပါက ပိုမိုမြင့်မားပါသည်။ microtubules ချို့ယွင်းချက်များထက်၊ ထို့ကြောင့် SiC အထွက်နှုန်းမော်ဒယ်နှင့် Si နှင့် CaAs ပစ္စည်းများအပေါ်အခြေခံ၍ သိသိသာသာကွဲပြားသည်။ Chip သည် NMOSFET နည်းပညာကို ဖျက်ဆီးခြင်းအပေါ် အခြေခံထားသည်။ အဓိကအကြောင်းအရင်းမှာ ပြောင်းပြန်ချန်နယ် SiC MOSFETs များ၏ ထိရောက်သော ဝန်ဆောင်မှုပေးသည့် ရွေ့လျားနိုင်မှုသည် နည်းပါးလွန်းသောကြောင့် ဖြစ်သည်။ Sic ၏ မျက်နှာပြင် ရွေ့လျားနိုင်မှုကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် Sic ၏ အပူဓာတ်တိုးခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် မြှင့်တင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။
Purdue တက္ကသိုလ်သည် SiC ပေါင်းစည်းထားသော ဆားကစ်များပေါ်တွင် အလုပ်များစွာ လုပ်ဆောင်ခဲ့သည်။ 1992 ခုနှစ်တွင် စက်ရုံသည် ပြောင်းပြန်ချန်နယ် 6H-SIC NMOSFETs monolithic ဒစ်ဂျစ်တယ် ပေါင်းစပ်ပတ်လမ်းကို အခြေခံ၍ အောင်မြင်စွာ တီထွင်နိုင်ခဲ့သည်။ ချစ်ပ်တွင် ဂိတ်ပေါက် သို့မဟုတ် ဂိတ်မဟုတ်၊ အဖွင့် သို့မဟုတ် ဂိတ်၊ ဒွိကောင်တာများနှင့် ဖြည့်စွက်ဆားကစ်များပါရှိပြီး အပူချိန် 25°C မှ 300°C အတွင်း ကောင်းစွာလည်ပတ်နိုင်သည်။ 1995 ခုနှစ်တွင် ပထမဆုံး SiC လေယာဉ် MESFET Ics ကို vanadium ထိုးဆေး အထီးကျန်နည်းပညာဖြင့် ဖန်တီးခဲ့သည်။ vanadium ထိုးသွင်းသည့်ပမာဏကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်းဖြင့်၊ insulating SiC ကို ရရှိနိုင်သည်။
ဒစ်ဂျစ်တယ်လော့ဂျစ်ဆားကစ်များတွင် CMOS ဆားကစ်များသည် NMOS ဆားကစ်များထက် ပိုမိုဆွဲဆောင်မှုရှိသည်။ 1996 ခုနှစ် စက်တင်ဘာလတွင် ပထမဆုံး 6H-SIC CMOS ဒစ်ဂျစ်တယ် ပေါင်းစပ်ပတ်လမ်းကို ထုတ်လုပ်ခဲ့သည်။ စက်ပစ္စည်းသည် ထိုးသွင်းထားသော N-order နှင့် deposition oxide အလွှာကို အသုံးပြုသော်လည်း အခြားသော လုပ်ငန်းစဉ် ပြဿနာများကြောင့်၊ ချစ်ပ် PMOSFETs အတိုင်းအတာ ဗို့အား မြင့်မားလွန်းသည်။ 1997 ခုနှစ် မတ်လတွင် ဒုတိယမျိုးဆက် SiC CMOS ဆားကစ်ကို ထုတ်လုပ်ခဲ့သည်။ P trap နှင့် thermal growth oxide layer ထိုးသွင်းခြင်းနည်းပညာကို လက်ခံကျင့်သုံးသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်မြှင့်တင်ခြင်းဖြင့် ရရှိသော PMOSEFTs ၏ အတိုင်းအတာဗို့အားမှာ -4.5V ခန့်ဖြစ်သည်။ ချစ်ပ်ပေါ်ရှိ ဆားကစ်များအားလုံးသည် အခန်းအပူချိန် 300°C အထိ ကောင်းမွန်စွာအလုပ်လုပ်နိုင်ပြီး 5 မှ 15V မှ မည်သည့်နေရာတွင်မဆိုရှိနိုင်သည့် ပါဝါထောက်ပံ့မှုတစ်ခုတည်းဖြင့် ပါဝါပေးထားသည်။
substrate wafer အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ခြင်းဖြင့်၊ ပိုမိုလုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး ပိုမိုမြင့်မားသော ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များကို ပြုလုပ်နိုင်မည်ဖြစ်သည်။ သို့သော်၊ SiC ပစ္စည်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာ ပြဿနာများကို အခြေခံအားဖြင့် ဖြေရှင်းသည့်အခါ၊ စက်ပစ္စည်းနှင့် ပက်ကေ့ခ်ျများ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုသည် SiC ပေါင်းစည်းထားသော ဆားကစ်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်စေသည့် အဓိကအချက်ဖြစ်လာမည်ဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- သြဂုတ်-၂၃-၂၀၂၂