ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းလိုအပ်ချက်များသည် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းလိုအပ်ချက်များ အထူးမြင့်မားသည်၊ ဂရပ်ဖိုက်၏ဒဏ်ငွေပမာဏမှာ တိကျမှု၊ မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသောခွန်အား၊ သေးငယ်သောဆုံးရှုံးမှုနှင့် အခြားအားသာချက်များဖြစ်သည့်- sintered graphite ထုတ်ကုန်မှို။ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင်အသုံးပြုသည့်ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများ (အပူပေးစက်များနှင့်၎င်းတို့၏ sintered အသေများအပါအဝင်) သည် ထပ်ခါတလဲလဲအပူနှင့်အအေးပေးသည့်လုပ်ငန်းစဉ်များကိုခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်သောကြောင့် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများ၏ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကိုသက်တမ်းတိုးစေရန်အတွက်အသုံးပြုထားသောဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများသည်ပုံမှန်အားဖြင့်တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိရန်လိုအပ်ပါသည်။ နှင့် အပူဒဏ်ခံနိုင်သော လုပ်ဆောင်ချက်။
01 semiconductor crystal ကြီးထွားမှုအတွက် Graphite ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားရန်အတွက် အသုံးပြုသည့် လုပ်ငန်းစဉ်အားလုံးသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် သံချေးတက်သော ပတ်ဝန်းကျင်အောက်တွင် လုပ်ဆောင်လျက်ရှိသည်။ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုမီးဖို၏ ပူပြင်းသောဇုန်တွင် အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ချေး-ခံနိုင်ရည်ရှိသော သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည့် အပူပေးစက်၊ Crucible၊ လျှပ်ကာဆလင်ဒါ၊ လမ်းညွန်ဆလင်ဒါ၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ Crucible Holder၊ Electrode nut စသည်ဖြင့် တပ်ဆင်ထားသည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် တစ်ဦးချင်း သို့မဟုတ် အစုံလိုက် သို့မဟုတ် ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်အရ အရွယ်အစားအမျိုးမျိုးရှိသော ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်သည့် ခလင်းကျောက်ထုတ်လုပ်သည့်စက်ပစ္စည်းများ၏ ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းအားလုံးကို ထုတ်လုပ်နိုင်သည်။ ထုတ်ကုန်များ၏ အရွယ်အစားကို ဆိုက်တွင် တိုင်းတာနိုင်ပြီး ကုန်ချောထုတ်ကုန်များ၏ ပြာပါဝင်မှု လျော့နည်းနိုင်သည်။5ppm ထက်
02 တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxy အတွက် Graphite ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
Epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်သည် တစ်ခုတည်းသော သလင်းကျောက်အလွှာတစ်ခုပေါ်ရှိ အလွှာတစ်ခုနှင့် တူညီသော ရာဇမတ်ကွက်ပုံစံဖြင့် ကြီးထွားလာခြင်းကို ရည်ညွှန်းသည်။ epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ wafer ကို graphite disk ပေါ်တွင်တင်ထားသည်။ ဂရပ်ဖိုက်ဒစ်၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးသည် wafer ၏ epitaxial အလွှာ၏ အရည်အသွေးတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ epitaxial ထုတ်လုပ်မှုနယ်ပယ်တွင်၊ SIC coating ပါသော အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဂရပ်ဖိုက်နှင့် သန့်ရှင်းသော ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံအမြောက်အမြား လိုအပ်ပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ကုမ္ပဏီ၏ ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxy တွင် ကျယ်ပြန့်သောအသုံးချပရိုဂရမ်များပါရှိပြီး စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အသုံးများသောစက်ပစ္စည်းအများစုနှင့် ကိုက်ညီနိုင်ပြီး မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု၊ ယူနီဖောင်းအပေါ်ယံပိုင်း၊ ကောင်းမွန်သောဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း၊ ဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့် အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှုမြင့်မားသည်။
03 အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းအတွက် Graphite ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
Ion implantation ဆိုသည်မှာ ဘိုရွန်၊ ဖော့စဖရပ်နှင့် အာဆင်းနစ်တို့၏ ပလာစမာအလင်းတန်းများကို စွမ်းအင်တစ်ခုအဖြစ် အရှိန်မြှင့်ပြီးနောက် wafer ပစ္စည်း၏ မျက်နှာပြင်အလွှာထဲသို့ ထိုးသွင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို ရည်ညွှန်းသည်။ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းကိရိယာ၏ အစိတ်အပိုင်းများကို အထူးကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ အပူစီးကူးမှု၊ အိုင်းယွန်းရောင်ခြည်နှင့် ညစ်ညမ်းမှုနည်းသော ပါဝင်မှုနည်းသော ချေးယူမှုနည်းသော သန့်စင်မြင့်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ရမည်။ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်များသည် လျှောက်လွှာလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပြီး ပျံသန်းမှုပြွန်၊ အမျိုးမျိုးသော အပေါက်များ၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်း၊ လျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖုံးများ၊ ပြွန်များ၊ အလင်းတန်းများ စသည်တို့အတွက် အိုင်းယွန်း စိုက်ထည့်သည့်ကိရိယာများအတွက် အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် အမျိုးမျိုးသော အိုင်းယွန်း စိုက်စက်များအတွက် ဂရပ်ဖိုက်အကာအရံများကို ပေးစွမ်းရုံသာမက သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အိုင်းယွန်းအရင်းအမြစ်များကို အမျိုးမျိုးသောသတ်မှတ်ချက်များ၏ မြင့်မားသော corrosion resistance ဖြင့် ပေးဆောင်နိုင်ပါသည်။ အသုံးပြုနိုင်သော မော်ဒယ်များ- Eaton၊ Azcelis၊ Quatum၊ Varian၊ Nissin၊ AMAT၊ LAM နှင့် အခြားစက်ပစ္စည်းများ။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် လိုက်ဖက်သော ကြွေထည်၊ အဖြိုက်နက်၊ မိုလီဘဒင်နမ်၊ အလူမီနီယမ် ထုတ်ကုန်များနှင့် ဖုံးအုပ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းများကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။
04 Graphite လျှပ်ကာပစ္စည်းများနှင့် အခြားအရာများ
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုသည့် အပူစွမ်းအင်သုံးပစ္စည်းများသည် ဂရပ်ဖိုက်မာကျောသောခံစားမှု၊ နူးညံ့သိမ်မွေ့သောခံစားမှု၊ ဂရပ်ဖိုက်သတ္တုပြား၊ ဂရပ်ဖိုက်စက္ကူနှင့် ဂရပ်ဖိုက်ကြိုးများ ပါဝင်သည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ကုန်ကြမ်းများအားလုံးသည် ဖောက်သည်၏လိုအပ်ချက်အရ ဖြတ်တောက်နိုင်သော သို့မဟုတ် တစ်ခုလုံးကို ရောင်းချနိုင်သည့် ဂရပ်ဖိုက်များဖြစ်သည်။
ကာဗွန်-ကာဗွန်ဗန်းကို နေရောင်ခြည် မိုနိုကရစ်စတယ်လိုင်းဆီလီကွန်နှင့် ပေါ်လီကရစ်စတလိုင်းဆီလီကွန်ဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဖလင်အကာအရံအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ အလုပ်လုပ်သည့် သဘောတရားမှာ- ဆီလီကွန် ချစ်ပ်ကို CFC ဗန်းထဲသို့ ထည့်ကာ ဖလင်အပေါ်ယံပိုင်းကို လုပ်ဆောင်ရန် မီးဖိုပြွန်ထဲသို့ ပို့ပါ။
