vet-china သည် မျိုးဆက်သစ် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် အင်ဂျင်နီယာချုပ် တီထွင်ထားသည့် ခေတ်မီသော Contiguous Wafer Boat ကို မိတ်ဆက်ပေးခဲ့သည်။ စေ့စပ်သေချာစွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ဤလှေသည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းတွင် ပြိုင်ဘက်ကင်းသော တိကျမှုကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ချောမွေ့မှုမရှိသော လည်ပတ်မှုများကို အာမခံကာ စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း ပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးပါသည်။
အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများဖြင့်တည်ဆောက်ထားသည့် Contiguous Wafer Boat သည် အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် ခြွင်းချက် ဓာတုခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အပူချိန်မြင့်မားပြီး ကြမ်းတမ်းသောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်အတွက် စံပြဖြစ်စေပါသည်။ ၎င်း၏ဆန်းသစ်သော ဒီဇိုင်းသည် wafer များကို လုံလုံခြုံခြုံ ဆုပ်ကိုင်ထားပြီး ပြီးပြည့်စုံစွာ လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန်၊ သွင်းအားကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ပေးပြီး ထုတ်လုပ်မှု ထိရောက်မှုကို တိုးမြှင့်ပေးပါသည်။
ဤခေတ်မီသော wafer လှေသည် အမျိုးမျိုးသော wafer အရွယ်အစားနှင့် ဖွဲ့စည်းမှုပုံစံများကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ Fabs များ၏ လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေပါသည်။ တိရစ္ဆာန်ဆေးကု တရုတ်မှ Contiguous Wafer Boat ကို သင့်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းတွင် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့်၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်၊ စက်ရပ်ချိန်နှင့် အထွက်နှုန်းများ တိုးလာမည်ဟု သင်မျှော်လင့်နိုင်ပါသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ နယ်နိမိတ်များကို တွန်းပို့သည့် ထုတ်ကုန်များကို ပို့ဆောင်ပေးသည့် အရည်အသွေးနှင့် ဆန်းသစ်တီထွင်မှုအတွက် တိရစ္ဆာန်ဆေးကုဆရာဝန်၏ ကတိကဝတ်ဖြင့် ခြားနားချက်ကို တွေ့ကြုံခံစားလိုက်ပါ။ Contiguous Wafer Boat ကိုရွေးချယ်ပြီး သင်၏ wafer လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းကို အမြင့်အသစ်သို့ မြှင့်တင်ပါ။
ပြန်လည်ပုံသွင်းထားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၏ ဂုဏ်သတ္တိများ
Recrystallized silicon carbide (R-SiC) သည် စိန်ထက်သာလွန်မာကျောသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပစ္စည်းဖြစ်ပြီး 2000°C အထက် အပူချိန်တွင် မြင့်မားသော အပူချိန်တွင် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ ၎င်းသည် SiC ၏အလွန်ကောင်းမွန်သောဂုဏ်သတ္တိများဖြစ်သည့် မြင့်မားသောအပူချိန်၊ ခိုင်ခံ့သောချေးခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု၊ ကောင်းသောအပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်စသည်ဖြင့် ထိန်းသိမ်းထားသည်။
● အထူးကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ။ Recrystallized silicon carbide သည် ကာဗွန်ဖိုက်ဘာထက် ခိုင်ခံ့မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု မြင့်မားသည်၊ သက်ရောက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော၊ အပူချိန်လွန်ကဲသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ကောင်းမွန်စွာ စွမ်းဆောင်နိုင်ပြီး၊ အခြေအနေအမျိုးမျိုးတွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သော တန်ပြန်စွမ်းဆောင်ရည်ကို ကစားနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၎င်းသည်ကောင်းမွန်သောပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်ရှိပြီး၎င်းသည်၎င်း၏စွမ်းဆောင်ရည်ကိုအလွန်တိုးတက်စေသည့်ဆန့်ခြင်းနှင့်ကွေးခြင်းကြောင့်အလွယ်တကူပျက်စီးခြင်းမရှိပါ။
● မြင့်မားသောချေးခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ Recrystallized silicon carbide သည် media အမျိုးမျိုးအတွက် မြင့်မားသော corrosion resistance ရှိပြီး corrosive media အမျိုးမျိုး၏ တိုက်စားမှုကို တားဆီးနိုင်ပြီး ၎င်း၏ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို အချိန်ကြာကြာ ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး ခိုင်ခံ့သော adhesion ရှိသောကြောင့် ၎င်းသည် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုရှည်စေသည်။ ထို့အပြင်၊ ၎င်းသည် ကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှုရှိပြီး အချို့သော အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေနိုင်ပြီး ၎င်း၏အသုံးချမှုအကျိုးသက်ရောက်မှုကို တိုးတက်စေသည်။
● Sintering သည် ကျုံ့မသွားပါ။ sintering လုပ်ငန်းစဉ်သည် ကျုံ့မသွားသောကြောင့်၊ ကျန်ရှိသော stress သည် ထုတ်ကုန်၏ ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ကွဲအက်ခြင်းတို့ကို ဖြစ်စေနိုင်ပြီး ရှုပ်ထွေးသော ပုံသဏ္ဍာန်များနှင့် တိကျမှုမြင့်မားသော အစိတ်အပိုင်းများကို ပြင်ဆင်နိုင်သည်။
重结晶碳化硅物理特性 Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
性质 /အိမ်ခြံမြေ | 典型数值 / ပုံမှန်တန်ဖိုး |
使用温度/ အလုပ်အပူချိန် (°C) | 1600°C (အောက်ဆီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်) |
SiC含量/ SiC အကြောင်းအရာ | > 99.96% |
自由Si含量/ အခမဲ့ Si အကြောင်းအရာ | < 0.1% |
体积密度/အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.60-2.70 g/cm3 |
气孔率/ ထင်ရှားသော porosity | < 16% |
抗压强度/ Compression ခွန်အား | > ၆၀၀MPa |
常温抗弯强度/အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ | 80-90 MPa (20°C) |
高温抗弯强度ပူပြင်းသော ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 90-100 MPa (1400°C) |
热膨胀系数/ အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C | ၄.၇၀ ၁၀-6/°C |
导热系数/အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C | ၂၃W/m•K |
杨氏模量/ elastic modulus | 240 GPa |
抗热震性/ အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် | အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။ |
VET Energy ဖြစ်ပါ တယ်။ အဆိုပါCVD coating ဖြင့် စိတ်ကြိုက် ဂရပ်ဖိုက်နှင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ထုတ်ကုန်များ၏ တကယ့်ထုတ်လုပ်သူ၊ပေးဝေနိုင်သည်။အမျိုးမျိုးsemiconductor နှင့် photovoltaic လုပ်ငန်းအတွက် စိတ်ကြိုက်အစိတ်အပိုင်းများ။ Oသင်၏နည်းပညာအဖွဲ့သည် ထိပ်တန်းပြည်တွင်းသုတေသနအဖွဲ့အစည်းများမှ လာ၍ ပိုမိုကျွမ်းကျင်သော ပစ္စည်းဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။သင့်အတွက်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် ပိုမိုအဆင့်မြင့်သော ပစ္စည်းများကို ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် အဆင့်မြင့် လုပ်ငန်းစဉ်များကို စဉ်ဆက်မပြတ် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်စေခြင်း၊နှင့်coating နှင့် substrate အကြား ချိတ်ဆက်မှုကို ပိုမိုတင်းကျပ်စေပြီး ခွာရန် ဖြစ်နိုင်ခြေနည်းစေသည့် သီးသန့်မူပိုင်ခွင့်နည်းပညာကို ဖန်တီးထားသည်။
CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများအပေါ်ယံပိုင်း | |
性质 /အိမ်ခြံမြေ | 典型数值 / ပုံမှန်တန်ဖိုး |
晶体结构 / Crystal Structure | FCC β အဆင့်多晶,主要为(111)取向 |
密度 / သိပ်သည်းဆ | 3.21 g/cm³ |
硬度 / မာကျောမှု | 2500维氏硬度 (500g load) |
晶粒大小 / သီးနှံ SiZe | 2~10μm |
纯度 / ဓာတုသန့်စင်မှု | 99.99995% |
热内 / Heat Capacity | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimation အပူချိန် | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4 ပွိုင့် |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃ |
导热系数 / အပူဓာတ်ဌလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံသို့လာရောက်လည်ပတ်ရန် သင့်အား နွေးထွေးစွာ ကြိုဆိုပါသည်၊ နောက်ထပ် ဆွေးနွေးမှုများ ပြုလုပ်ကြပါစို့။