Diska tas-Susceptor tal-Wejfer Miksija tal-Karbur tas-Silikon

Deskrizzjoni qasira:

Id-diska tas-suceptor tal-wejfer miksija mill-karbur tas-silikon tal-VET Energy hija prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Diska tal-Wajfer tas-Silikon Carbide hija komponent ewlieni użat f'diversi proċessi ta 'manifattura ta' semikondutturi. nużaw it-teknoloġija privattiva tagħna biex nagħmlu d-diska tal-karbur tas-silikon aktar sigura b'purità estremament għolja, uniformità tajba tal-kisi u ħajja ta 'servizz eċċellenti, kif ukoll reżistenza kimika għolja u proprjetajiet ta' stabbiltà termali.

VET Energy hija l-manifattur reali ta 'grafit personalizzat u prodotti tal-karbur tas-silikon b'kisi differenti bħal SiC, TaC, karbonju pirolitiku, ħġieġ-karbonju, eċċ., Jista' jforni diversi partijiet personalizzati għall-industrija tas-semikondutturi u fotovoltajka. It-tim tekniku tagħna ġej mill-aqwa istituzzjonijiet ta 'riċerka domestiċi, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonali għalik.

Aħna kontinwament niżviluppaw proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati, u ħdimna teknoloġija esklussiva bi privattiva, li tista 'tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar strett u inqas suxxettibbli għal distakk.

Fikel tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja uuniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-kristall	Fażi FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-qamħ	2 ~ 10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni	415 MPa RT 4-punti
杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1