Dgħajsa tal-wejfer tal-karbur tas-silikon rikristallizzat b'Kisi CVD

Deskrizzjoni qasira:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat huwa prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.


Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Proprjetajiet ta 'karbur tas-silikon rikristallizzat

Karbur tas-silikon rikristallizzat (R-SiC) huwa materjal ta 'prestazzjoni għolja b'ebusija t-tieni biss għad-djamant, li huwa ffurmat f'temperatura għolja 'l fuq minn 2000 ℃. Iżomm ħafna proprjetajiet eċċellenti ta 'SiC, bħal saħħa ta' temperatura għolja, reżistenza qawwija għall-korrużjoni, reżistenza eċċellenti għall-ossidazzjoni, reżistenza tajba għal xokk termali u l-bqija.

● Proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti. Karbur tas-silikon rikristallizzat għandu saħħa u ebusija ogħla minn fibra tal-karbonju, reżistenza għall-impatt għolja, jista 'jkollu prestazzjoni tajba f'ambjenti ta' temperatura estrema, jista 'jkollu prestazzjoni ta' kontrobilanċ aħjar f'varjetà ta 'sitwazzjonijiet. Barra minn hekk, għandha wkoll flessibilità tajba u ma ssirx ħsara faċilment bit-tiġbid u l-liwi, li ttejjeb ħafna l-prestazzjoni tagħha.

● Reżistenza għall-korrużjoni għolja. Karbur tas-silikon rikristallizzat għandu reżistenza għolja għall-korrużjoni għal varjetà ta 'midja, jista' jipprevjeni l-erożjoni ta 'varjetà ta' midja korrużiva, jista 'jżomm il-proprjetajiet mekkaniċi tiegħu għal żmien twil, għandu adeżjoni qawwija, sabiex ikollu ħajja ta' servizz itwal. Barra minn hekk, għandu wkoll stabbiltà termali tajba, jista 'jadatta għal ċertu firxa ta' bidliet fit-temperatura, itejjeb l-effett ta 'applikazzjoni tiegħu.

● Is-sinterizzazzjoni ma tiċkienx. Minħabba li l-proċess tas-sinterizzazzjoni ma jiċkienx, l-ebda stress residwu ma jikkawża deformazzjoni jew qsim tal-prodott, u jistgħu jiġu ppreparati partijiet b'forom kumplessi u preċiżjoni għolja.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Proprjetajiet fiżiċi ta 'Carbur tas-Silikon Rikristallizzat

性质 / Proprjetà

典型数值 / Valur Tipiku

使用温度/ Temperatura tax-xogħol (°C)

1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas)

SiC含量/ Kontenut SiC

> 99.96%

自由Si含量/ Ħieles Si kontenut

< 0.1%

体积密度/Densità tal-massa

2.60-2.70 g/ċm3

气孔率/ Porożità apparenti

< 16%

抗压强度/ Qawwa tal-kompressjoni

> 600MPa

常温抗弯强度/Saħħa tal-liwi kiesaħ

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Saħħa tal-liwi sħun

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Espansjoni termali @1500°C

4.70 10-6/°C

导热系数/Konduttività termali @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Modulus elastiku

240 GPa

抗热震性/ Reżistenza għal xokk termali

Tajjeb ħafna

L-Enerġija tal-VET hija ilmanifattur reali ta 'grafita apposta u prodotti tal-karbur tas-silikon b'kisja CVD,jistgħu jfornuvarjiPartijiet personalizzati għal semikondutturi u industrija fotovoltajka. Otim tekniku ur ġej mill-aqwa istituzzjonijiet ta 'riċerka domestiċi, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonaligħalik.

Aħna kontinwament niżviluppaw proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati,uħadmu teknoloġija esklussiva privattiva, li tista 'tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar strett u inqas suxxettibbli għal distakk.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi

性质 / Proprjetà

典型数值 / Valur Tipiku

晶体结构 / Struttura tal-kristall

Fażi FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3.21 g/ċm³

硬度 / Ebusija

2500 维氏硬度(tagħbija ta' 500g)

晶粒大小 / Daqs tal-qamħ

2 ~ 10μm

纯度 / Purità Kimika

99.99995%

热容 / Kapaċità tas-Sħana

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni

2700℃

抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni

415 MPa RT 4-punti

杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ

430 Gpa 4pt liwja, 1300℃

导热系数 / ThermalKonduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Bi pjaċir iżżur il-fabbrika tagħna, ejja jkollna aktar diskussjoni!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Chat Online WhatsApp!