Dual-Damascene hija teknoloġija ta 'proċess użata għall-manifattura ta' interkonnessjonijiet tal-metall f'ċirkwiti integrati. Huwa żvilupp ulterjuri tal-proċess ta 'Damasku. Billi tifforma permezz ta 'toqob u skanalaturi fl-istess ħin fl-istess pass tal-proċess u timlahom bil-metall, il-manifattura integrata ta' interkonnessjonijiet tal-metall hija realizzata.
Għaliex jissejjaħ Damasku?
Il-belt ta 'Damasku hija l-kapitali tas-Sirja, u x-xwabel ta' Damasku huma famużi għall-sharpness u n-nisġa exquisite tagħhom. Tip ta 'proċess ta' intarsjar huwa meħtieġ: l-ewwel, il-mudell meħtieġ huwa mnaqqax fuq il-wiċċ ta 'l-azzar ta' Damasku, u l-materjali ppreparati minn qabel huma mdawwra sewwa fil-kanal imnaqqax. Wara li titlesta l-inlay, il-wiċċ jista 'jkun ftit irregolari. Is-sengħa se jillustrah bir-reqqa biex jiżgura l-intoppi ġenerali. U dan il-proċess huwa l-prototip tal-proċess doppju ta 'Damasku taċ-ċippa. L-ewwel, skanalaturi jew toqob huma mnaqqxa fis-saff dielettriku, u mbagħad il-metall jimtela fihom. Wara l-mili, il-metall żejjed se jitneħħa b'cmp.
Il-passi ewlenin tal-proċess tad-damasken doppju jinkludu:
▪ Depożizzjoni ta' saff dielettriku:
Iddepożita saff ta 'materjal dielettriku, bħal dijossidu tas-silikon (SiO2), fuq is-semikondutturwejfer.
▪ Fotolitografija biex tiddefinixxi l-mudell:
Uża fotolitografija biex tiddefinixxi l-mudell ta 'vias u trinek fuq is-saff dielettriku.
▪Inċiżjoni:
Ittrasferixxi l-mudell ta 'vias u trinek għas-saff dielettriku permezz ta' proċess ta 'inċiżjoni niexef jew imxarrab.
▪ Depożizzjoni tal-metall:
Iddepożita metall, bħal ram (Cu) jew aluminju (Al), f'vias u trinek biex jiffurmaw interkonnessjonijiet tal-metall.
▪ Illustrar mekkaniku kimiku:
Illustrar mekkaniku kimiku tal-wiċċ tal-metall biex jitneħħa l-metall żejjed u ċċattja l-wiċċ.
Meta mqabbel mal-proċess tal-manifattura tal-interkonnessjoni tal-metall tradizzjonali, il-proċess tad-damasken doppju għandu l-vantaġġi li ġejjin:
▪Passi tal-proċess simplifikat:billi tifforma vias u trinek simultanjament fl-istess pass tal-proċess, il-passi tal-proċess u l-ħin tal-manifattura jitnaqqsu.
▪Effiċjenza tal-manifattura mtejba:minħabba t-tnaqqis tal-passi tal-proċess, il-proċess tad-damasken doppju jista 'jtejjeb l-effiċjenza tal-manifattura u jnaqqas l-ispejjeż tal-produzzjoni.
▪Ttejjeb il-prestazzjoni tal-interkonnessjonijiet tal-metall:il-proċess damasken doppju jista 'jikseb interkonnessjonijiet tal-metall idjaq, u b'hekk itejjeb l-integrazzjoni u l-prestazzjoni taċ-ċirkwiti.
▪Naqqas il-kapaċità u r-reżistenza parassitika:bl-użu ta 'materjali dielettriċi ta' k baxx u l-ottimizzazzjoni tal-istruttura tal-interkonnessjonijiet tal-metall, il-kapaċità parassitika u r-reżistenza jistgħu jitnaqqsu, ittejjeb il-veloċità u l-prestazzjoni tal-konsum tal-enerġija taċ-ċirkwiti.
Ħin tal-post: Nov-25-2024