Depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD) tirreferi għall-proċess ta 'depożitu ta' film solidu fuq il-wiċċ ta 'silikonwejferpermezz ta’ reazzjoni kimika ta’ taħlita ta’ gass. Skont il-kundizzjonijiet ta 'reazzjoni differenti (pressjoni, prekursur), jista' jinqasam f'diversi mudelli ta 'tagħmir.
Għal liema proċessi jintużaw dawn iż-żewġ apparati?
PECVD(Plasma Enhanced) tagħmir huwa l-aktar numerużi u l-aktar komunement użati, użati fl-OX, Nitrur, xatba tal-metall, karbonju amorfu, eċċ.; LPCVD (Enerġija Baxxa) normalment jintuża fin-Nitrur, poly, TEOS.
X'inhu l-prinċipju?
PECVD-proċess li jgħaqqad perfettament l-enerġija tal-plażma u s-CVD. It-teknoloġija PECVD tuża plażma b'temperatura baxxa biex tinduċi skariku li jkandi fil-katodu tal-kamra tal-proċess (jiġifieri, trej tal-kampjun) taħt pressjoni baxxa. Dan l-iskariku li jkandi jew apparat ieħor ta 'tisħin jista' jgħolli t-temperatura tal-kampjun għal livell predeterminat, u mbagħad jintroduċi ammont ikkontrollat ta 'gass tal-proċess. Dan il-gass jgħaddi minn serje ta 'reazzjonijiet kimiċi u tal-plażma, u finalment jifforma film solidu fuq il-wiċċ tal-kampjun.
LPCVD - Depożizzjoni ta 'fwar kimiku bi pressjoni baxxa (LPCVD) hija mfassla biex tnaqqas il-pressjoni operattiva tal-gass ta' reazzjoni fir-reattur għal madwar 133Pa jew inqas.
X'inhuma l-karatteristiċi ta' kull wieħed?
PECVD - Proċess li jgħaqqad perfettament l-enerġija tal-plażma u s-CVD: 1) Operazzjoni b'temperatura baxxa (li tevita ħsara fit-temperatura għolja lit-tagħmir); 2) Tkabbir mgħaġġel tal-film; 3) Mhux picky dwar materjali, OX, Nitrur, xatba tal-metall, karbonju amorfu kollha jistgħu jikbru; 4) Hemm sistema ta 'monitoraġġ in-situ, li tista' taġġusta r-riċetta permezz ta 'parametri tal-joni, rata tal-fluss tal-gass, temperatura u ħxuna tal-film.
LPCVD - Films irqaq depożitati minn LPCVD se jkollhom kopertura ta 'pass aħjar, kompożizzjoni tajba u kontroll tal-istruttura, rata ta' depożizzjoni għolja u output. Barra minn hekk, LPCVD ma jeħtieġx gass trasportatur, għalhekk inaqqas ħafna s-sors tat-tniġġis tal-partikuli u huwa użat ħafna f'industriji ta 'semikondutturi b'valur miżjud għoli għal depożizzjoni ta' film irqiq.
Merħba kwalunkwe klijenti minn madwar id-dinja biex iżuruna għal diskussjoni ulterjuri!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Ħin tal-post: Lulju-24-2024