Forn tal-kristall wieħed huwa apparat li juża aheater tal-grafitabiex jiddewweb materjali tas-silikon polikristallin f'ambjent ta 'gass inert (argon) u juża l-metodu Czochralski biex jikber kristalli singoli mhux dislocati. Huwa magħmul prinċipalment mis-sistemi li ġejjin:
Sistema ta 'trasmissjoni mekkanika
Is-sistema ta 'trażmissjoni mekkanika hija s-sistema operattiva bażika tal-forn tal-kristall wieħed, li hija prinċipalment responsabbli għall-kontroll tal-moviment tal-kristalli ugriġjoli, inkluż l-irfigħ u r-rotazzjoni tal-kristalli taż-żerriegħa u l-irfigħ u r-rotazzjoni ta 'griġjoli. Jista 'jaġġusta b'mod preċiż parametri bħall-pożizzjoni, il-veloċità u l-angolu tar-rotazzjoni tal-kristalli u l-griġjoli biex jiżgura l-progress bla xkiel tal-proċess tat-tkabbir tal-kristall. Pereżempju, fi stadji differenti ta 'tkabbir tal-kristall bħal żrigħ, necking, spallejn, tkabbir ta' dijametru ugwali u tailing, il-moviment tal-kristalli taż-żerriegħa u l-griġjoli jeħtieġ li jiġi kkontrollat b'mod preċiż minn din is-sistema biex tissodisfa r-rekwiżiti tal-proċess tat-tkabbir tal-kristall.
Sistema ta 'kontroll tat-temperatura tat-tisħin
Din hija waħda mis-sistemi tal-qalba tal-forn tal-kristall wieħed, li tintuża biex tiġġenera s-sħana u tikkontrolla b'mod preċiż it-temperatura fil-forn. Huwa magħmul prinċipalment minn komponenti bħal ħiters, sensuri tat-temperatura, u kontrolluri tat-temperatura. Il-heater ġeneralment ikun magħmul minn materjali bħal grafita ta 'purità għolja. Wara li l-kurrent alternanti jiġi ttrasformat u mnaqqas biex iżid il-kurrent, il-heater jiġġenera sħana biex jiddewweb materjali polikristallini bħal polysilicon fil-griġjol. Is-senser tat-temperatura jimmonitorja l-bidliet fit-temperatura fil-forn f'ħin reali u jittrasmetti s-sinjal tat-temperatura lill-kontrollur tat-temperatura. Il-kontrollur tat-temperatura jikkontrolla b'mod preċiż il-qawwa tat-tisħin skont il-parametri tat-temperatura stabbiliti u s-sinjal tat-temperatura tal-feedback, u b'hekk iżomm l-istabbiltà tat-temperatura fil-forn u jipprovdi ambjent ta 'temperatura adattat għat-tkabbir tal-kristall.
Sistema tal-vakwu
Il-funzjoni ewlenija tas-sistema tal-vakwu hija li toħloq u żżomm ambjent tal-vakwu fil-forn matul il-proċess tat-tkabbir tal-kristall. L-arja u l-gassijiet tal-impurità fil-forn jiġu estratti permezz ta 'pompi tal-vakwu u tagħmir ieħor biex il-pressjoni tal-gass fil-forn tilħaq livell estremament baxx, ġeneralment taħt 5TOR (torr). Dan jista 'jipprevjeni li l-materjal tas-silikon jiġi ossidizzat f'temperaturi għoljin u jiżgura l-purità u l-kwalità tat-tkabbir tal-kristall. Fl-istess ħin, l-ambjent tal-vakwu jwassal ukoll għat-tneħħija ta 'impuritajiet volatili ġġenerati matul il-proċess tat-tkabbir tal-kristall u t-titjib tal-kwalità tal-kristall.
Sistema tal-argon
Is-sistema tal-argon għandha rwol fil-protezzjoni u r-regolazzjoni tal-pressjoni fil-forn fil-forn tal-kristall wieħed. Wara l-vakwu, il-gass argon ta 'purità għolja (il-purità trid tkun 'il fuq minn 6 9) jimtela fil-forn. Min-naħa waħda, tista 'tipprevjeni li l-arja ta' barra tidħol fil-forn u tevita li materjali tas-silikon jiġu ossidizzati; min-naħa l-oħra, il-mili tal-gass argon jista 'jżomm il-pressjoni fil-forn stabbli u jipprovdi ambjent ta' pressjoni adattat għat-tkabbir tal-kristall. Barra minn hekk, il-fluss tal-gass argon jista 'wkoll ineħħi s-sħana ġġenerata matul il-proċess tat-tkabbir tal-kristall, u għandu ċertu rwol ta' tkessiħ.
Sistema ta 'tkessiħ ta' l-ilma
Il-funzjoni tas-sistema tat-tkessiħ tal-ilma hija li tkessaħ il-komponenti varji ta 'temperatura għolja tal-forn tal-kristall wieħed biex tiżgura l-operat normali u l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir. Waqt it-tħaddim tal-forn tal-kristall wieħed, il-heater,griġjol, elettrodu u komponenti oħra se jiġġeneraw ħafna sħana. Jekk ma jitkessħux fil-ħin, it-tagħmir jisħon iżżejjed, jiddeforma jew saħansitra jkun bil-ħsara. Is-sistema tat-tkessiħ tal-ilma tneħħi s-sħana ta 'dawn il-komponenti billi tiċċirkola l-ilma tat-tkessiħ biex iżżomm it-temperatura tat-tagħmir f'medda sigura. Fl-istess ħin, is-sistema tat-tkessiħ tal-ilma tista 'wkoll tgħin fl-aġġustament tat-temperatura fil-forn biex ittejjeb l-eżattezza tal-kontroll tat-temperatura.
Sistema ta 'kontroll elettriku
Is-sistema ta 'kontroll elettriku hija l-"moħħ" tal-forn tal-kristall wieħed, responsabbli għall-monitoraġġ u l-kontroll tat-tħaddim tat-tagħmir kollu. Jista 'jirċievi sinjali minn diversi sensuri, bħal sensors tat-temperatura, sensuri tal-pressjoni, sensuri tal-pożizzjoni, eċċ., U jikkoordina u jikkontrolla s-sistema ta' trasmissjoni mekkanika, sistema ta 'kontroll tat-temperatura tat-tisħin, sistema ta' vakwu, sistema ta 'argon u sistema ta' tkessiħ tal-ilma bbażata fuq dawn is-sinjali. Pereżempju, matul il-proċess tat-tkabbir tal-kristall, is-sistema ta 'kontroll elettriku tista' taġġusta awtomatikament il-qawwa tat-tisħin skont is-sinjal tat-temperatura mitmugħ lura mis-senser tat-temperatura; skond it-tkabbir tal-kristall, jista 'jikkontrolla l-veloċità tal-moviment u l-angolu ta' rotazzjoni tal-kristall taż-żerriegħa u l-griġjol. Fl-istess ħin, is-sistema ta 'kontroll elettriku għandha wkoll funzjonijiet ta' dijanjosi ta 'ħsara u allarm, li jistgħu jiskopru kundizzjonijiet anormali tat-tagħmir fil-ħin u jiżguraw it-tħaddim sikur tat-tagħmir.
Ħin tal-post: Settembru-23-2024