Fluss tal-proċess tas-semikondutturi-Ⅱ

Merħba fil-websajt tagħna għal informazzjoni u konsultazzjoni tal-prodott.

Il-websajt tagħna:https://www.vet-china.com/

Inċiżjoni ta' Poly u SiO2:
Wara dan, l-eċċess Poly u SiO2 huma nċiżi 'l bogħod, jiġifieri, imneħħija. F'dan iż-żmien, direzzjonaliinċiżjonijintuża. Fil-klassifikazzjoni ta 'inċiżjoni, hemm klassifikazzjoni ta' inċiżjoni direzzjonali u inċiżjoni mhux direzzjonali. L-inċiżjoni direzzjonali tirreferi għalinċiżjonif'ċerta direzzjoni, filwaqt li l-inċiżjoni mhux direzzjonali mhix direzzjonali (aċċidentalment għidt wisq. Fil-qosor, huwa li tneħħi SiO2 f'ċerta direzzjoni permezz ta 'aċidi u bażijiet speċifiċi). F'dan l-eżempju, nużaw inċiżjoni direzzjonali 'l isfel biex inneħħu SiO2, u ssir bħal din.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (21)

Fl-aħħarnett, neħħi l-fotoreżistenti. F'dan iż-żmien, il-metodu tat-tneħħija tal-photoresist mhuwiex l-attivazzjoni permezz ta 'irradjazzjoni tad-dawl imsemmija hawn fuq, iżda permezz ta' metodi oħra, għaliex m'għandniex bżonn niddefinixxu daqs speċifiku f'dan iż-żmien, iżda biex ineħħu l-photoresist kollha. Fl-aħħarnett, isir kif muri fil-figura li ġejja.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (7)

B'dan il-mod, ksibna l-iskop li nżommu l-post speċifiku tal-Poly SiO2.

Formazzjoni tas-sors u drenaġġ:
Fl-aħħarnett, ejja nikkunsidraw kif is-sors u d-drenaġġ huma ffurmati. Kulħadd għadu jiftakar li tkellimna dwarha fl-aħħar ħarġa. Is-sors u d-drenaġġ huma impjantati bil-jone bl-istess tip ta 'elementi. F'dan iż-żmien, nistgħu nużaw photoresist biex tiftaħ iż-żona tas-sors/drenaġġ fejn it-tip N jeħtieġ li jiġi impjantat. Peress li nieħdu biss NMOS bħala eżempju, il-partijiet kollha fil-figura ta 'hawn fuq se jinfetħu, kif muri fil-figura li ġejja.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (8)

Peress li l-parti koperta mill-photoresist ma tistax tiġi impjantata (id-dawl huwa mblukkat), elementi tat-tip N se jiġu impjantati biss fuq l-NMOS meħtieġ. Peress li s-sottostrat taħt il-poli huwa mblukkat minn poly u SiO2, mhux se jiġi impjantat, għalhekk isir bħal dan.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (13)

F'dan il-punt, sar mudell MOS sempliċi. Fit-teorija, jekk il-vultaġġ jiġi miżjud mas-sors, id-drenaġġ, il-poli u s-sottostrat, dan il-MOS jista 'jaħdem, iżda ma nistgħux nieħdu sonda u nżidu l-vultaġġ direttament mas-sors u drain. F'dan iż-żmien, il-wajers tal-MOS huwa meħtieġ, jiġifieri, fuq dan il-MOS, qabbad wajers biex tgħaqqad ħafna MOS flimkien. Ejja nagħtu ħarsa lejn il-proċess tal-wajers.

Nagħmlu VIA:
L-ewwel pass huwa li tkopri l-MOS kollu b'saff ta 'SiO2, kif muri fil-figura hawn taħt:

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (9)

Naturalment, dan SiO2 huwa prodott minn CVD, minħabba li huwa mgħaġġel ħafna u jiffranka l-ħin. Dan li ġej għadu l-proċess tat-tqegħid ta 'photoresist u l-esponiment. Wara t-tmiem, jidher bħal dan.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (23)

Imbagħad uża l-metodu ta 'inċiżjoni biex tqabbad toqba fuq is-SiO2, kif muri fil-parti griża fil-figura hawn taħt. Il-fond ta 'din it-toqba jikkuntattja direttament il-wiċċ tas-Si.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (10)

Fl-aħħarnett, neħħi l-fotoreżistu u ġib id-dehra li ġejja.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (12)

F'dan iż-żmien, dak li jeħtieġ li jsir huwa li timla l-konduttur f'din it-toqba. Rigward x'inhu dan il-konduttur? Kull kumpanija hija differenti, ħafna minnhom huma ligi tat-tungstenu, allura kif tista 'timtela din it-toqba? Jintuża l-metodu PVD (Deposizzjoni Fiżika tal-Fwar), u l-prinċipju huwa simili għall-figura hawn taħt.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (14)

Uża elettroni jew joni b'enerġija għolja biex tibbumbardja l-materjal fil-mira, u l-materjal fil-mira miksur jaqa 'fil-qiegħ fil-forma ta' atomi, u b'hekk jifforma l-kisi hawn taħt. Il-materjal fil-mira li normalment naraw fl-aħbarijiet jirreferi għall-materjal fil-mira hawn.
Wara li timla t-toqba, jidher bħal dan.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (15)

Naturalment, meta nimlewha, huwa impossibbli li tikkontrolla l-ħxuna tal-kisi biex tkun eżattament ugwali għall-fond tat-toqba, għalhekk se jkun hemm xi eċċess, għalhekk nużaw it-teknoloġija CMP (Chemical Mechanical Polishing), li tinstema ħafna high-end, iżda huwa attwalment tħin, tħin bogħod il-partijiet żejda. Ir-riżultat huwa bħal dan.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (19)

F'dan il-punt, lestejna l-produzzjoni ta 'saff ta' via. Naturalment, il-produzzjoni ta 'via hija prinċipalment għall-wajers tas-saff tal-metall wara.

Produzzjoni ta' saff tal-metall:
Taħt il-kundizzjonijiet ta 'hawn fuq, nużaw PVD biex niżżlu saff ieħor ta' metall. Dan il-metall huwa prinċipalment liga bbażata fuq ir-ram.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (25)

Imbagħad wara l-espożizzjoni u l-inċiżjoni, niksbu dak li rridu. Imbagħad kompli ngħixu sakemm nilħqu l-bżonnijiet tagħna.

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (16)

Meta niġbed it-tqassim, aħna ngħidulek kemm saffi ta 'metall u permezz tal-proċess użat jistgħu jiġu f'munzelli l-aktar, li jfisser kemm saffi jistgħu jiġu f'munzelli.
Fl-aħħarnett, aħna tikseb din l-istruttura. Il-kuxxinett ta 'fuq huwa l-pin ta' din iċ-ċippa, u wara l-ippakkjar, isir il-pin li nistgħu naraw (naturalment, ġibtha bl-addoċċ, m'hemm l-ebda sinifikat prattiku, per eżempju biss).

Fluss tal-proċess tas-semikondutturi (6)

Dan huwa l-proċess ġenerali ta 'kif issir ċippa. F'din il-kwistjoni, tgħallimna dwar l-espożizzjoni l-aktar importanti, inċiżjoni, impjantazzjoni tal-jone, tubi tal-forn, CVD, PVD, CMP, eċċ fil-funderija tas-semikondutturi.


Ħin tal-post: Awissu-23-2024
Chat Online WhatsApp!