Il-kisi tas-SiC jista 'jiġi ppreparat permezz ta' depożizzjoni tal-fwar kimiku (CVD), trasformazzjoni tal-prekursur, bexx tal-plażma, eċċ. Il-kisja ppreparata b'depożizzjoni tal-fwar KIMIKA hija uniformi u kompatta, u għandha disinn tajjeb. Bl-użu ta 'methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) bħala sors tas-silikon, preparazzjoni tal-kisi SiC...
Aqra aktar