Grafita b'kisja tat-TaC

I. Esplorazzjoni tal-parametri tal-proċess

1. Sistema TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. Temperatura tad-depożizzjoni:

Skont il-formula termodinamika, huwa kkalkulat li meta t-temperatura tkun akbar minn 1273K, l-enerġija ħielsa Gibbs tar-reazzjoni hija baxxa ħafna u r-reazzjoni hija relattivament kompluta. Il-kostanti tar-reazzjoni KP hija kbira ħafna f'1273K u tiżdied malajr mat-temperatura, u r-rata tat-tkabbir tonqos gradwalment f'1773K.

Influwenza fuq il-morfoloġija tal-wiċċ tal-kisi: Meta t-temperatura ma tkunx adattata (għolja wisq jew baxxa wisq), il-wiċċ jippreżenta morfoloġija tal-karbonju ħieles jew pori maħlula.

(1) F'temperaturi għoljin, il-veloċità tal-moviment tal-atomi jew il-gruppi reattivi attivi hija mgħaġġla wisq, li twassal għal distribuzzjoni irregolari matul l-akkumulazzjoni tal-materjali, u ż-żoni sinjuri u fqar ma jistgħux tranżizzjoni bla xkiel, li jirriżulta f'pori.

(2) Hemm differenza bejn ir-rata ta 'reazzjoni tal-piroliżi ta' l-alkani u r-rata ta 'reazzjoni ta' tnaqqis ta 'pentachloride tat-tantalu. Il-karbonju tal-piroliżi huwa eċċessiv u ma jistax jiġi kkombinat mat-tantalu fil-ħin, u dan jirriżulta fil-wiċċ imgeżwer bil-karbonju.

Meta t-temperatura tkun xierqa, il-wiċċ tal-Kisi TaChuwa dens.

TaCpartiċelli jiddewweb u aggregat ma 'xulxin, il-forma tal-kristall hija kompluta, u t-tranżizzjonijiet tal-konfini tal-qamħa bla xkiel.

3. Proporzjon ta 'l-idroġenu:

Barra minn hekk, hemm ħafna fatturi li jaffettwaw il-kwalità tal-kisi:

-Kwalità tal-wiċċ tas-sottostrat

-Qasam tal-gass tad-depożizzjoni

-Il-grad ta 'uniformità tat-taħlit tal-gass reattiv

II. Difetti tipiċi takisi tal-karbur tat-tantalu

1. Kisi qsim u tqaxxir

Koeffiċjent ta' espansjoni termali lineari CTE lineari:

2. Analiżi tad-difetti:

(1) Kawża:

(2) Metodu ta 'karatterizzazzjoni

① Uża teknoloġija ta 'diffrazzjoni tar-raġġi X biex tkejjel ir-razza residwa.

② Uża l-liġi ta 'Hu Ke biex tapprossima l-istress residwu.

(3) Formuli relatati

3.Ttejjeb il-kompatibilità mekkanika tal-kisi u s-sottostrat

(1) Kisi tat-tkabbir in-situ tal-wiċċ

Depożizzjoni ta 'reazzjoni termali u teknoloġija ta' diffużjoni TRD

Proċess tal-melħ imdewweb

Issimplifika l-proċess tal-produzzjoni

Baxxi t-temperatura tar-reazzjoni

Spiża relattivament aktar baxxa

Aktar favur l-ambjent

Adattat għal produzzjoni industrijali fuq skala kbira

(2) Kisi ta 'transizzjoni kompost

Proċess ta' kodepożizzjoni

CVDproċess

Kisi b'ħafna komponenti

Tgħaqqad il-vantaġġi ta 'kull komponent

Aġġusta b'mod flessibbli l-kompożizzjoni u l-proporzjon tal-kisi

4. Depożizzjoni ta 'reazzjoni termali u teknoloġija ta' diffużjoni TRD

(1) Mekkaniżmu ta' Reazzjoni

It-teknoloġija TRD tissejjaħ ukoll proċess ta 'inkorporazzjoni, li juża sistema ta' aċidu boriku-tantalum pentoxide-sodium fluoride-boron oxide-boron carbide sistema biex tippreparakisi tal-karbur tat-tantalu.

① L-aċidu boriku mdewweb jinħall il-pentossidu tat-tantalu;

② Il-pentossidu tat-tantalu jitnaqqas għal atomi attivi tat-tantalu u jinfirex fuq il-wiċċ tal-grafita;

③ L-atomi attivi tat-tantalu huma adsorbiti fuq il-wiċċ tal-grafita u jirreaġixxu ma 'atomi tal-karbonju biex jiffurmawkisi tal-karbur tat-tantalu.

(2) Ċavetta ta 'Reazzjoni

It-tip ta 'kisi tal-karbur għandu jissodisfa r-rekwiżit li l-enerġija ħielsa mill-formazzjoni tal-ossidazzjoni tal-element li jifforma l-karbur hija ogħla minn dik tal-ossidu tal-boron.

L-enerġija ħielsa Gibbs tal-karbur hija baxxa biżżejjed (inkella, jistgħu jiġu ffurmati boron jew boride).

Il-pentossidu tat-tantalu huwa ossidu newtrali. F'borax imdewweb b'temperatura għolja, jista 'jirreaġixxi ma' l-ossidu tas-sodju alkalin qawwi biex jifforma tantalat tas-sodju, u b'hekk inaqqas it-temperatura ta 'reazzjoni inizjali.