Matul il-proċess tal-epitassija tal-fażi tal-fwar (VPE), ir-rwol tal-pedestall huwa li jappoġġja s-sottostrat u jiżgura tisħin uniformi matul il-proċess tat-tkabbir. Tipi differenti ta 'pedestalli huma adattati għal kundizzjonijiet ta' tkabbir u sistemi materjali differenti. Dawn li ġejjin huma wħud mit-tipi ta 'pedestall li jintużaw b'mod komuni fil-fażi tal-fwarepitassija:
Pedestall tal-kanna
Il-pedestalli tal-kanna huma komunement użati f'sistemi ta 'epitassija tal-fażi tal-fwar orizzontali jew inklinata. Jistgħu jżommu s-sottostrat u jippermettu li l-gass jgħaddi minn fuq is-sottostrat, li jgħin biex jinkiseb tkabbir epitassjali uniformi.
Pedestall f'forma ta' diska (pedestall vertikali)
Pedestalli f'forma ta 'diska huma adattati għal sistemi ta' epitassi tal-fażi tal-fwar vertikali, li fihom is-sottostrat jitqiegħed vertikalment. Dan id-disinn jgħin inaqqas iż-żona ta 'kuntatt bejn is-sottostrat u s-susceptor, u b'hekk inaqqas it-telf tas-sħana u l-kontaminazzjoni potenzjali.
Susceptor orizzontali
Is-susċetturi orizzontali huma inqas komuni fl-epitassi tal-fażi tal-fwar, iżda jistgħu jintużaw f'xi sistemi ta' tkabbir speċifiċi biex jippermettu t-tkabbir epitassjali f'direzzjoni orizzontali.
Susceptor ta' reazzjoni epitassjali monolitika
Is-susceptor ta 'reazzjoni epitassjali monolitiku huwa ddisinjat għal sottostrat wieħed, li jista' jipprovdi kontroll tat-temperatura aktar preċiż u iżolament termali aħjar, adattat għat-tkabbir ta 'saffi epitassjali ta' kwalità għolja.
Merħba fil-websajt tagħna għal informazzjoni u konsultazzjoni tal-prodott.
Il-websajt tagħna: https://www.vet-china.com/
Ħin tal-post: Lulju-30-2024