Meta l-kristall tal-karbur tas-silikon jikber, l-"ambjent" tal-interface tat-tkabbir bejn iċ-ċentru axjali tal-kristall u t-tarf huwa differenti, sabiex l-istress tal-kristall fuq it-tarf jiżdied, u t-tarf tal-kristall huwa faċli biex jipproduċi "difetti komprensivi" minħabba għall-influwenza taċ-ċirku ta 'waqfien tal-grafita "karbonju", kif issolvi l-problema tat-tarf jew iżżid iż-żona effettiva taċ-ċentru (aktar minn 95%) huwa suġġett tekniku importanti.
Peress li d-difetti makro bħal "mikrotubuli" u "inklużjonijiet" huma kkontrollati gradwalment mill-industrija, u jisfida l-kristalli tal-karbur tas-silikon biex "jikbru malajr, twal u ħoxnin, u jikbru", it-tarf "difetti komprensivi" huma anormalment prominenti, u bil- żieda fid-dijametru u l-ħxuna tal-kristalli tal-karbur tas-silikon, it-tarf "difetti komprensivi" se jiġi mmultiplikat bid-dijametru kwadru u l-ħxuna.
L-użu tal-kisi tat-TaC tal-karbur tat-tantalu huwa li ssolvi l-problema tat-tarf u jtejjeb il-kwalità tat-tkabbir tal-kristall, li hija waħda mid-direzzjonijiet tekniċi ewlenin ta '"tkabbir mgħaġġel, tkabbir oħxon u tkabbir". Sabiex jippromwovi l-iżvilupp tat-teknoloġija tal-industrija u ssolvi d-dipendenza ta '"importazzjoni" ta' materjali ewlenin, Hengpu ssolviet it-teknoloġija tal-kisi tal-karbur tat-tantalu (CVD) u laħaq il-livell avvanzat internazzjonali.
Il-kisja tat-TaC tal-karbur tat-tantalu, mill-perspettiva tar-realizzazzjoni mhix diffiċli, b'sinterizzazzjoni, CVD u metodi oħra huma faċli biex jinkisbu. Metodu ta 'sinterizzazzjoni, l-użu ta' trab tal-karbur tat-tantalu jew prekursur, li jżid ingredjenti attivi (ġeneralment metall) u aġent ta 'twaħħil (ġeneralment polimeru ta' katina twila), miksi mal-wiċċ tas-sottostrat tal-grafita sinterizzat f'temperatura għolja. Permezz tal-metodu CVD, TaCl5 + H2 + CH4 ġie depożitat fuq il-wiċċ tal-matriċi tal-grafita f'900-1500 ℃.
Madankollu, il-parametri bażiċi bħall-orjentazzjoni tal-kristall tad-depożizzjoni tal-karbur tat-tantalu, il-ħxuna uniformi tal-film, ir-rilaxx tal-istress bejn il-kisi u l-matriċi tal-grafita, xquq tal-wiċċ, eċċ., Huma ta 'sfida kbira. Speċjalment fl-ambjent tat-tkabbir tal-kristall sic, ħajja ta 'servizz stabbli hija l-parametru ewlieni, hija l-aktar diffiċli.
Ħin tal-post: Lulju-21-2023