Sputtering mirijintużaw prinċipalment fl-industriji tal-elettronika u tal-informazzjoni, bħal ċirkwiti integrati, ħażna ta 'informazzjoni, wirjiet tal-kristalli likwidi, memorji tal-lejżer, tagħmir ta' kontroll elettroniku, eċċ Jistgħu jintużaw ukoll fil-qasam tal-kisi tal-ħġieġ, kif ukoll f'reżistenti għall-ilbies. materjali, reżistenza għall-korrużjoni f'temperatura għolja, prodotti dekorattivi high-end u industriji oħra.
Sputtering hija waħda mit-tekniki ewlenin għall-preparazzjoni ta 'materjali ta' film irqiq.Juża jonji ġġenerati minn sorsi ta 'jone biex jaċċellera u jaggrega f'vakwu biex jifforma raġġi ta' joni ta 'enerġija b'veloċità għolja, jibbumbardja l-wiċċ solidu, u jiskambja enerġija kinetika bejn joni u atomi tal-wiċċ solidu. L-atomi fuq il-wiċċ solidu jħallu s-solidu u huma depożitati fuq il-wiċċ tas-sottostrat. Is-solidu bbumbardjat huwa l-materja prima għad-depożitu ta 'films irqaq permezz ta' sputtering, li tissejjaħ sputtering target. Diversi tipi ta 'materjali ta' film irqiq sputtered intużaw ħafna f'ċirkwiti integrati semikondutturi, mezzi ta 'reġistrazzjoni, wirjiet ta' panew ċatt u kisi tal-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol.
Fost l-industriji tal-applikazzjoni kollha, l-industrija tas-semikondutturi għandha r-rekwiżiti ta 'kwalità l-aktar stretti għal films sputtering fil-mira. Miri ta' sputtering tal-metall ta 'purità għolja jintużaw prinċipalment fil-manifattura tal-wejfer u proċessi avvanzati tal-ippakkjar. Meta nieħdu l-manifattura taċ-ċippa bħala eżempju, nistgħu naraw li minn wejfer tas-silikon għal ċippa, jeħtieġ li tgħaddi minn 7 proċessi ta 'produzzjoni ewlenin, jiġifieri diffużjoni (Proċess Termali), Photo-litography (Photo-litography), Etch (Etch), Implantazzjoni ta 'jone (IonImplant), Tkabbir ta' Film irqiq (Deposizzjoni Dielettrika), Illustrar Kimiku Mekkanika (CMP), Metalizzazzjoni (Metalizzazzjoni) Il-proċessi jikkorrispondu wieħed wieħed. Il-mira ta 'sputtering tintuża fil-proċess ta' "metallizzazzjoni". Il-mira hija bbumbardjata b'partiċelli ta 'enerġija għolja minn tagħmir ta' depożizzjoni ta 'film irqiq u mbagħad saff tal-metall b'funzjonijiet speċifiċi jiġi ffurmat fuq il-wejfer tas-silikon, bħal saff konduttiv, saff barriera. Wait.Since l-proċessi tas-semikondutturi kollha huma varjati allura xi sitwazzjonijiet okkażjonali huma meħtieġa għall-verifika li s-sistema teżisti b'mod korrett għalhekk aħna nitolbu xi tipi ta 'materjali finta f'ċerti stadji tal-produzzjoni biex nikkonfermaw l-effetti.
Ħin tal-post: Jan-17-2022