Ir-rekwiżiti tal-industrija tas-semikondutturi tal-ħtiġiet tal-materjal tal-grafita huma partikolarment għoljin, id-daqs tal-partiċelli fini tal-grafita għandu preċiżjoni għolja, reżistenza għat-temperatura għolja, qawwa għolja, telf żgħir u vantaġġi oħra, bħal: prodotti tal-grafita sinterizzat moffa.Minħabba li t-tagħmir tal-grafita użat fl-industrija tas-semikondutturi (inklużi ħiters u l-imut sinterizzat tagħhom) huwa meħtieġ li jiflaħ proċessi ripetuti ta 'tisħin u tkessiħ, sabiex jestendu l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir tal-grafita, ġeneralment ikun meħtieġ li l-materjali tal-grafita użati jkollhom prestazzjoni stabbli u funzjoni ta 'impatt reżistenti għas-sħana.
01 Aċċessorji tal-grafita għat-tkabbir tal-kristall semikonduttur
Il-proċessi kollha użati biex jikbru kristalli semikondutturi qed joperaw taħt temperatura għolja u ambjent korrużiv. Iż-żona sħuna tal-forn tat-tkabbir tal-kristall hija ġeneralment mgħammra b'komponenti tal-grafita ta 'purità għolja reżistenti għas-sħana u reżistenti għall-korrużjoni, bħal heater, griġjol, ċilindru ta' insulazzjoni, ċilindru gwida, elettrodu, detentur tal-griġjol, ġewż tal-elettrodu, eċċ.
Nistgħu jimmanifatturaw il-partijiet kollha tal-grafita ta 'apparat ta' produzzjoni tal-kristall, li jistgħu jiġu forniti individwalment jew f'settijiet, jew partijiet tal-grafita personalizzati ta 'daqsijiet varji skond il-ħtiġijiet tal-klijent. Id-daqs tal-prodotti jista 'jitkejjel fuq il-post, u l-kontenut tal-irmied tal-prodotti lesti jista' jkun inqasminn 5ppm.
02 Aċċessorji tal-grafita għal epitassi tas-semikondutturi
Proċess epitassjali jirreferi għat-tkabbir ta 'saff ta' materjal tal-kristall wieħed bl-istess arranġament tal-kannizzata bħas-sottostrat fuq is-sottostrat tal-kristall wieħed. Fil-proċess epitassjali, il-wejfer jitgħabba fuq id-diska tal-grafita. Il-prestazzjoni u l-kwalità tad-diska tal-grafita għandhom rwol vitali fil-kwalità tas-saff epitassjali tal-wejfer. Fil-qasam tal-produzzjoni epitassjali, huma meħtieġa ħafna grafita ta 'purità ultra-għolja u bażi ta' grafita ta 'purità għolja b'kisja SIC.
Il-bażi tal-grafita tal-kumpanija tagħna għall-epitassija tas-semikondutturi għandha firxa wiesgħa ta 'applikazzjonijiet, tista' taqbel mal-biċċa l-kbira tat-tagħmir użat komunement fl-industrija, u għandha purità għolja, kisi uniformi, ħajja ta 'servizz eċċellenti, u reżistenza kimika għolja u stabbiltà termali.
03 Aċċessorji tal-grafita għall-impjantazzjoni tal-joni
L-impjantazzjoni tal-joni tirreferi għall-proċess ta 'aċċellerazzjoni tar-raġġ tal-plażma ta' boron, fosfru u arseniku għal ċerta enerġija, u mbagħad tinjettaha fis-saff tal-wiċċ tal-materjal tal-wejfer biex tbiddel il-proprjetajiet materjali tas-saff tal-wiċċ. Il-komponenti tal-apparat tal-impjantazzjoni tal-joni għandhom ikunu magħmula minn materjali ta 'purità għolja b'reżistenza eċċellenti tas-sħana, konduttività termali, inqas korrużjoni kkawżata minn raġġ tal-jone u kontenut baxx ta' impurità. Il-grafita ta 'purità għolja tissodisfa r-rekwiżiti tal-applikazzjoni, u tista' tintuża għat-tubu tat-titjira, diversi qasmiet, elettrodi, għata tal-elettrodi, kondjuwiti, terminaturi tar-raġġ, eċċ. ta 'tagħmir ta' impjantazzjoni tal-joni.
Aħna mhux biss nistgħu nipprovdu kopertura ta 'lqugħ tal-grafita għal diversi magni ta' impjantazzjoni tal-jone, iżda nipprovdu wkoll elettrodi tal-grafita ta 'purità għolja u sorsi ta' joni b'reżistenza għolja għall-korrużjoni ta 'speċifikazzjonijiet varji. Mudelli applikabbli: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM u tagħmir ieħor. Barra minn hekk, nistgħu wkoll nipprovdu t-tqabbil taċ-ċeramika, tungstenu, molibdenu, prodotti tal-aluminju u partijiet miksija.
04 Materjali ta 'insulazzjoni tal-grafita u oħrajn
Materjali ta 'insulazzjoni termali użati fit-tagħmir tal-produzzjoni tas-semikondutturi jinkludu feltru iebes tal-grafita, feltru artab, fojl tal-grafita, karta tal-grafita u ħabel tal-grafita.
Il-materja prima kollha tagħna hija grafita importata, li tista 'tinqata' skont id-daqs speċifiku tal-ħtiġijiet tal-klijent jew mibjugħa kollha kemm hi.
It-trej tal-karbonju-karbonju jintuża bħala t-trasportatur għall-kisi tal-film fil-proċess ta 'produzzjoni ta' silikon monokristallin solari u ċelluli tas-silikon polikristallin. Il-prinċipju tax-xogħol huwa: daħħal iċ-ċippa tas-silikon fit-trej CFC u ibgħatha fit-tubu tal-forn biex tipproċessa l-kisi tal-film.
