Ċirku tal-grafita miksija tal-karbur tas-silikon CVD

Ċirku tal-grafit miksi bil-karbur tas-silikon CVD Image Dehru

Deskrizzjoni qasira:

Ċirku tal-grafita miksi bil-karbur tas-silikon tal-VET Energy huwa prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Proprjetajiet Tipiċi tal-Materjal Bażi tal-Grafit:

Densità apparenti:	1.85 g/ċm3
Reżistività Elettrika:	11 μΩm
Qawwa tal-flessjoni:	49 MPa (500kgf/cm2)
Ebusija tax-Xatt:	58
Irmied:	<5ppm
Konduttività Termali:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Aħna nipprovdu diversi susceptors u komponenti tal-grafita għar-reatturi kollha tal-epitassija attwali. Il-prodotti tagħna jinkludu susceptors tal-kanna għal unitajiet LPE, susceptors pancake għal unitajiet LPE, CSD, u Gemini, u susceptors ta 'wejfer wieħed għal unitajiet applikati u ASM.

Billi tgħaqqad sħubijiet b'saħħithom ma 'OEMs ewlenin, għarfien espert tal-materjali u għarfien tal-manifattura, vet joffri l-aħjar disinn għall-applikazzjoni tiegħek.

L-Enerġija tal-VET hija ilmanifattur reali ta 'grafita apposta u prodotti tal-karbur tas-silikon b'kisja CVD,jistgħu jfornuvarjiPartijiet personalizzati għal semikondutturi u industrija fotovoltajka. Otim tekniku ur ġej mill-aqwa istituzzjonijiet ta 'riċerka domestiċi, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonaligħalik.

Fikel tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja uuniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-kristall	Fażi FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-qamħ	2 ~ 10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni	415 MPa RT 4-punti
杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1