pemendapan wap kimia (CVD) merujuk kepada proses memendapkan filem pepejal pada permukaan silikonwafermelalui tindak balas kimia campuran gas. Mengikut keadaan tindak balas yang berbeza (tekanan, prekursor), ia boleh dibahagikan kepada pelbagai model peralatan.
Untuk proses apakah kedua-dua peranti ini digunakan?
PECVDPeralatan (Plasma Enhanced) adalah yang paling banyak dan paling biasa digunakan, digunakan dalam OX, Nitride, pintu logam, karbon amorf, dsb.; LPCVD (Kuasa Rendah) biasanya digunakan dalam Nitrida, poli, TEOS.
Apakah prinsipnya?
PECVD-proses yang menggabungkan tenaga plasma dan CVD dengan sempurna. Teknologi PECVD menggunakan plasma suhu rendah untuk mendorong nyahcas cahaya pada katod ruang proses (iaitu, dulang sampel) di bawah tekanan rendah. Nyahcas cahaya atau peranti pemanasan lain ini boleh menaikkan suhu sampel ke tahap yang telah ditetapkan, dan kemudian memperkenalkan jumlah gas proses yang terkawal. Gas ini mengalami siri tindak balas kimia dan plasma, dan akhirnya membentuk filem pepejal pada permukaan sampel.
LPCVD - Pemendapan wap kimia bertekanan rendah (LPCVD) direka untuk mengurangkan tekanan operasi gas tindak balas dalam reaktor kepada kira-kira 133Pa atau kurang.
Apakah ciri-ciri masing-masing?
PECVD - Proses yang menggabungkan tenaga plasma dan CVD dengan sempurna: 1) Operasi suhu rendah (mengelakkan kerosakan suhu tinggi pada peralatan); 2) Pertumbuhan filem yang cepat; 3) Tidak memilih bahan, OX, Nitride, pintu logam, karbon amorf semuanya boleh tumbuh; 4) Terdapat sistem pemantauan in-situ, yang boleh melaraskan resipi melalui parameter ion, kadar aliran gas, suhu dan ketebalan filem.
LPCVD - Filem nipis yang didepositkan oleh LPCVD akan mempunyai liputan langkah yang lebih baik, komposisi dan kawalan struktur yang baik, kadar pemendapan dan output yang tinggi. Di samping itu, LPCVD tidak memerlukan gas pembawa, jadi ia sangat mengurangkan sumber pencemaran zarah dan digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor bernilai tambah tinggi untuk pemendapan filem nipis.
Mengalu-alukan mana-mana pelanggan dari seluruh dunia untuk melawat kami untuk perbincangan lanjut!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Masa siaran: Jul-24-2024