Salutan silikon karbida,biasanya dikenali sebagai salutan SiC, merujuk kepada proses meletakkan lapisan silikon karbida pada permukaan melalui kaedah seperti Pemendapan Wap Kimia (CVD), Pemendapan Wap Fizikal (PVD), atau penyemburan haba. Salutan seramik silikon karbida ini meningkatkan sifat permukaan pelbagai substrat dengan memberikan rintangan haus yang luar biasa, kestabilan terma dan perlindungan kakisan. SiC terkenal dengan sifat fizikal dan kimianya yang cemerlang, termasuk takat lebur yang tinggi (kira-kira 2700 ℃), kekerasan melampau (skala Mohs 9), rintangan kakisan dan pengoksidaan yang sangat baik, dan prestasi ablasi yang luar biasa.
Faedah Utama Salutan Silicon Carbide dalam Aplikasi Perindustrian
Disebabkan oleh ciri-ciri ini, salutan silikon karbida digunakan secara meluas dalam bidang seperti aeroangkasa, peralatan senjata, dan pemprosesan semikonduktor. Dalam persekitaran yang melampau, terutamanya dalam julat 1800-2000 ℃, salutan SiC mempamerkan kestabilan haba yang luar biasa dan rintangan ablatif, menjadikannya sesuai untuk aplikasi suhu tinggi. Walau bagaimanapun, silikon karbida sahaja tidak mempunyai integriti struktur yang diperlukan untuk banyak aplikasi, jadi kaedah salutan digunakan untuk memanfaatkan sifat uniknya tanpa menjejaskan kekuatan komponen. Dalam pembuatan semikonduktor, elemen bersalut silikon karbida memberikan perlindungan yang boleh dipercayai dan kestabilan prestasi dalam peralatan yang digunakan dalam proses MOCVD.
Kaedah Biasa untuk Penyediaan Salutan Silikon Karbida
Ⅰ● Mendapan Wap Kimia (CVD) Salutan Silikon Karbida
Dalam kaedah ini, salutan SiC dibentuk dengan meletakkan substrat dalam ruang tindak balas, di mana metiltriklorosilane (MTS) bertindak sebagai prekursor. Di bawah keadaan terkawal—biasanya 950-1300°C dan tekanan negatif—MTS mengalami penguraian, dan silikon karbida dimendapkan ke permukaan. Proses salutan CVD SiC ini memastikan salutan padat, seragam dengan lekatan yang sangat baik, sesuai untuk aplikasi ketepatan tinggi dalam sektor semikonduktor dan aeroangkasa.
Ⅱ● Kaedah Penukaran Prekursor (Impregnasi Polimer dan Pirolisis – PIP)
Satu lagi pendekatan salutan semburan silikon karbida yang berkesan ialah kaedah penukaran prekursor, yang melibatkan merendam sampel pra-rawatan dalam larutan prekursor seramik. Selepas mengosongkan tangki impregnasi dan menekan salutan, sampel dipanaskan, membawa kepada pembentukan salutan silikon karbida apabila disejukkan. Kaedah ini digemari untuk komponen yang memerlukan ketebalan salutan seragam dan rintangan haus yang dipertingkatkan.
Sifat Fizikal Salutan Silikon Karbida
Salutan silikon karbida mempamerkan sifat yang menjadikannya sesuai untuk aplikasi industri yang menuntut. Ciri-ciri ini termasuk:
Kekonduksian Terma: 120-270 W/m·K
Pekali Pengembangan Terma: 4.3 × 10^(-6)/K (pada 20~800℃)
Kerintangan Elektrik: 10^5– 10^6Ω·cm
Kekerasan: Skala Mohs 9
Aplikasi Salutan Silikon Karbida
Dalam pembuatan semikonduktor, salutan silikon karbida untuk MOCVD dan proses suhu tinggi yang lain melindungi peralatan kritikal, seperti reaktor dan susceptor, dengan menawarkan kedua-dua rintangan dan kestabilan suhu tinggi. Dalam aeroangkasa dan pertahanan, salutan seramik silikon karbida digunakan pada komponen yang mesti menahan kesan berkelajuan tinggi dan persekitaran yang menghakis. Tambahan pula, cat atau salutan silikon karbida juga boleh digunakan pada peranti perubatan yang memerlukan ketahanan di bawah prosedur pensterilan.
Mengapa Memilih Salutan Silicon Carbide？
Dengan rekod yang terbukti dalam memanjangkan hayat komponen, salutan silikon karbida memberikan ketahanan dan kestabilan suhu yang tiada tandingan, menjadikannya kos efektif untuk kegunaan jangka panjang. Dengan memilih permukaan bersalut silikon karbida, industri mendapat manfaat daripada pengurangan kos penyelenggaraan, kebolehpercayaan peralatan yang dipertingkatkan dan kecekapan operasi yang lebih baik.
Kenapa Pilih VET ENERGY?
VET ENERGY ialah pengilang profesional dan kilang produk salutan silikon karbida di China. Produk salutan SiC utama termasuk pemanas salutan seramik silikon karbida,Salutan Silikon Karbida CVD Susceptor MOCVD, Pembawa Grafit MOCVD dengan Salutan SiC CVD, Pembawa Asas Grafit Bersalut SiC, Substrat Grafit Bersalut Silikon Karbida untuk Semikonduktor,Salutan SiC/Substrat Grafit Bersalut/Dulang untuk Semikonduktor, Acuan Bot CFC Komposit Karbon-karbon Bersalut SiC CVD. VET ENERGY komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor. Kami sangat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Masa siaran: Sep-02-2023