Salutan SiC boleh disediakan dengan pemendapan wap kimia (CVD), transformasi prekursor, penyemburan plasma, dan lain-lain. Salutan yang disediakan oleh pemendapan wap KIMIA adalah seragam dan padat, dan mempunyai reka bentuk yang baik. Menggunakan metil trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) sebagai sumber silikon, penyediaan salutan SiC...
Baca lagi