Semasa proses epitaksi fasa wap (VPE), peranan alas adalah untuk menyokong substrat dan memastikan pemanasan seragam semasa proses pertumbuhan. Jenis alas yang berbeza sesuai untuk keadaan pertumbuhan dan sistem bahan yang berbeza. Berikut adalah beberapa jenis alas yang biasa digunakan dalam fasa wapepitaksi:
Alas tong
Pedestal tong biasanya digunakan dalam sistem epitaksi fasa wap mendatar atau condong. Mereka boleh memegang substrat dan membenarkan gas mengalir ke atas substrat, yang membantu mencapai pertumbuhan epitaxial yang seragam.
Alas berbentuk cakera (kaki menegak)
Kekaki berbentuk cakera sesuai untuk sistem epitaksi fasa wap menegak, di mana substrat diletakkan secara menegak. Reka bentuk ini membantu mengurangkan kawasan sentuhan antara substrat dan susceptor, dengan itu mengurangkan kehilangan haba dan potensi pencemaran.
Suseptor mendatar
Suseptor mendatar adalah kurang biasa dalam epitaksi fasa wap, tetapi boleh digunakan dalam beberapa sistem pertumbuhan khusus untuk membenarkan pertumbuhan epitaxial dalam arah mendatar.
Suseptor tindak balas epitaxial monolitik
Susceptor tindak balas epitaxial monolitik direka untuk satu substrat, yang boleh memberikan kawalan suhu yang lebih tepat dan pengasingan haba yang lebih baik, sesuai untuk pertumbuhan lapisan epitaxial berkualiti tinggi.
Selamat datang ke laman web kami untuk maklumat produk dan perundingan.
Laman web kami: https://www.vet-china.com/
Masa siaran: Jul-30-2024