Apabila kristal silikon karbida tumbuh, "persekitaran" antara muka pertumbuhan antara pusat paksi kristal dan tepi adalah berbeza, supaya tegasan kristal pada tepi meningkat, dan pinggir kristal mudah untuk menghasilkan "kecacatan menyeluruh" disebabkan kepada pengaruh cincin berhenti grafit "karbon", bagaimana untuk menyelesaikan masalah tepi atau meningkatkan kawasan berkesan pusat (lebih daripada 95%) adalah topik teknikal yang penting.
Oleh kerana kecacatan makro seperti "microtubules" dan "inklusi" dikawal secara beransur-ansur oleh industri, mencabar kristal silikon karbida untuk "membesar dengan cepat, panjang dan tebal, dan membesar", "kecacatan komprehensif" tepi adalah luar biasa menonjol, dan dengan peningkatan dalam diameter dan ketebalan hablur silikon karbida, tepi "kecacatan menyeluruh" akan didarab dengan persegi diameter dan ketebalan.
Penggunaan salutan TaC tantalum karbida adalah untuk menyelesaikan masalah tepi dan meningkatkan kualiti pertumbuhan kristal, yang merupakan salah satu arahan teknikal teras "berkembang cepat, tumbuh tebal dan membesar". Untuk menggalakkan pembangunan teknologi industri dan menyelesaikan pergantungan "import" bahan utama, Hengpu telah mencapai kejayaan menyelesaikan teknologi salutan tantalum karbida (CVD) dan mencapai tahap lanjutan antarabangsa.
Salutan TaC karbida Tantalum, dari perspektif realisasi tidak sukar, dengan pensinteran, CVD dan kaedah lain mudah dicapai. Kaedah pensinteran, penggunaan serbuk tantalum karbida atau prekursor, menambah bahan aktif (umumnya logam) dan agen ikatan (biasanya polimer rantai panjang), disalut ke permukaan substrat grafit yang disinter pada suhu tinggi. Dengan kaedah CVD, TaCl5+H2+CH4 diendapkan pada permukaan matriks grafit pada 900-1500 ℃.
Walau bagaimanapun, parameter asas seperti orientasi kristal pemendapan tantalum karbida, ketebalan filem seragam, pelepasan tegasan antara salutan dan matriks grafit, retakan permukaan, dll., adalah amat mencabar. Terutamanya dalam persekitaran pertumbuhan kristal sic, hayat perkhidmatan yang stabil adalah parameter teras, adalah yang paling sukar.
Masa siaran: Jul-21-2023