VET एनर्जी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एपिटॅक्सियल वेफर हे उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधक, उच्च वारंवारता आणि उच्च पॉवर वैशिष्ट्यांसह उच्च-कार्यक्षमता वाइड बँडगॅप सेमीकंडक्टर सामग्री आहे. नवीन पिढीच्या पॉवर इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांसाठी हे एक आदर्श सब्सट्रेट आहे. व्हीईटी एनर्जी एसआयसी सब्सट्रेट्सवर उच्च-गुणवत्तेचे SiC एपिटॅक्सियल लेयर वाढवण्यासाठी प्रगत MOCVD एपिटॅक्सियल तंत्रज्ञान वापरते, ज्यामुळे वेफरची उत्कृष्ट कार्यक्षमता आणि सातत्य सुनिश्चित होते.
आमचे सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एपिटॅक्सियल वेफर Si Wafer, SiC सब्सट्रेट, SOI वेफर आणि SiN सब्सट्रेटसह विविध सेमीकंडक्टर सामग्रीसह उत्कृष्ट सुसंगतता देते. त्याच्या मजबूत एपिटॅक्सियल लेयरसह, ते Epi Wafer ची वाढ आणि Gallium Oxide Ga2O3 आणि AlN Wafer सारख्या सामग्रीसह एकत्रीकरणासारख्या प्रगत प्रक्रियांना समर्थन देते, विविध तंत्रज्ञानामध्ये बहुमुखी वापर सुनिश्चित करते. उद्योग-मानक कॅसेट हाताळणी प्रणालीशी सुसंगत होण्यासाठी डिझाइन केलेले, ते सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन वातावरणात कार्यक्षम आणि सुव्यवस्थित ऑपरेशन्स सुनिश्चित करते.
VET एनर्जीची उत्पादन लाइन SiC एपिटॅक्सियल वेफर्सपुरती मर्यादित नाही. आम्ही Si Wafer, SiC सब्सट्रेट, SOI Wafer, SiN सब्सट्रेट, Epi Wafer, इत्यादींसह अर्धसंवाहक सब्सट्रेट सामग्रीची विस्तृत श्रेणी देखील प्रदान करतो. याव्यतिरिक्त, आम्ही गॅलियम ऑक्साइड Ga2O3 आणि AlN सारख्या नवीन विस्तृत बँडगॅप सेमीकंडक्टर सामग्री देखील सक्रियपणे विकसित करत आहोत. वेफर, भविष्यातील पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाची उच्च कार्यक्षमता उपकरणांची मागणी पूर्ण करण्यासाठी.
वेफरिंग तपशील
*n-Pm=n-प्रकार Pm-ग्रेड,n-Ps=n-प्रकार Ps-ग्रेड,Sl=अर्ध-lnsulating
आयटम | 8-इंच | 6-इंच | 4-इंच | ||
nP | n-Pm | n- Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
धनुष्य (GF3YFCD)-संपूर्ण मूल्य | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
वार्प(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
वेफर एज | बेव्हलिंग |
पृष्ठभाग समाप्त
*n-Pm=n-प्रकार Pm-ग्रेड,n-Ps=n-प्रकार Ps-ग्रेड,Sl=अर्ध-lnsulating
आयटम | 8-इंच | 6-इंच | 4-इंच | ||
nP | n-Pm | n- Ps | SI | SI | |
पृष्ठभाग समाप्त | डबल साइड ऑप्टिकल पोलिश, Si- फेस CMP | ||||
पृष्ठभाग उग्रपणा | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-फेस Ra≤0.2nm | |||
काठ चिप्स | कोणतीही परवानगी नाही (लांबी आणि रुंदी≥0.5 मिमी) | ||||
इंडेंट्स | कोणतीही परवानगी नाही | ||||
ओरखडे (सि-फेस) | प्रमाण.≤5,संचयी | प्रमाण.≤5,संचयी | प्रमाण.≤5,संचयी | ||
तडे | कोणतीही परवानगी नाही | ||||
एज एक्सक्लूजन | 3 मिमी |