उत्पादनDवर्णन
सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट मोठ्या प्रमाणात उच्च तापमान प्रसार प्रक्रियेत वेफर होल्डर म्हणून वापरली जाते.
फायदे:
उच्च तापमान प्रतिकार:1800 ℃ वर सामान्य वापर
उच्च थर्मल चालकता:ग्रेफाइट सामग्रीच्या समतुल्य
उच्च कडकपणा:कडकपणा हिरा, बोरॉन नायट्राइड नंतर दुसऱ्या क्रमांकावर आहे
गंज प्रतिकार:मजबूत आम्ल आणि अल्कली यांना गंज नसतो, गंज प्रतिकार टंगस्टन कार्बाइड आणि ॲल्युमिनापेक्षा चांगला असतो
हलके वजन:कमी घनता, ॲल्युमिनियम जवळ
विकृती नाही: थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक
थर्मल शॉक प्रतिकार:ते तापमानातील तीव्र बदलांना तोंड देऊ शकते, थर्मल शॉकचा प्रतिकार करू शकते आणि स्थिर कार्यक्षमता आहे
SiC चे भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता | मूल्य | पद्धत |
घनता | ३.२१ ग्रॅम/सीसी | सिंक-फ्लोट आणि परिमाण |
विशिष्ट उष्णता | 0.66 J/g °K | स्पंदित लेसर फ्लॅश |
लवचिक शक्ती | 450 MPa560 MPa | 4 पॉइंट बेंड, RT4 पॉइंट बेंड, 1300° |
फ्रॅक्चर कडकपणा | 2.94 MPa m1/2 | मायक्रोइंडेंटेशन |
कडकपणा | 2800 | विकर्स, 500 ग्रॅम लोड |
लवचिक मॉड्यूलसयंगचे मॉड्यूलस | 450 GPa430 GPa | 4 pt बेंड, RT4 pt बेंड, 1300 °C |
धान्य आकार | 2 - 10 µm | SEM |
SiC चे थर्मल गुणधर्म
थर्मल चालकता | 250 W/m °K | लेझर फ्लॅश पद्धत, RT |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5 x 10-6 °K | खोलीचे तापमान 950 °C, सिलिका डायलाटोमीटर |