वैशिष्ट्ये:
उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिकार
उत्कृष्ट शारीरिक शॉक प्रतिकार
उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार
· अतिउच्च शुद्धता
· जटिल आकारात उपलब्धता
· ऑक्सिडायझिंग वातावरणात वापरण्यायोग्य
अर्ज:
उत्पादन वैशिष्ट्ये आणि फायदे:
1. सुपीरियर थर्मल प्रतिकार:उच्च-शुद्धतेसहSiC कोटिंग, सब्सट्रेट अत्यंत तापमानाचा सामना करते, एपिटॅक्सी आणि सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन सारख्या मागणीच्या वातावरणात सातत्यपूर्ण कामगिरी सुनिश्चित करते.
2. वर्धित टिकाऊपणा:SiC लेपित ग्रेफाइट घटक रासायनिक गंज आणि ऑक्सिडेशनचा प्रतिकार करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेत, मानक ग्रेफाइट सब्सट्रेट्सच्या तुलनेत सब्सट्रेटचे आयुष्य वाढवते.
3. विट्रीयस लेपित ग्रेफाइट:च्या अद्वितीय काचेच्या रचनाSiC कोटिंगउत्कृष्ट पृष्ठभागाची कडकपणा प्रदान करते, उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान झीज कमी करते.
4. उच्च शुद्धता SiC कोटिंग:आमचा सब्सट्रेट संवेदनशील सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये कमीतकमी दूषिततेची खात्री देतो, ज्या उद्योगांना कठोर सामग्री शुद्धता आवश्यक आहे त्यांच्यासाठी विश्वासार्हता प्रदान करते.
5. वाइड मार्केट ऍप्लिकेशन:दSiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरसेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये प्रगत SiC कोटेड उत्पादनांची मागणी वाढत असल्याने बाजार वाढतच आहे, ग्रेफाइट वेफर कॅरियर मार्केट आणि सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ट्रे मार्केट या दोन्हीमध्ये या सब्सट्रेटला प्रमुख खेळाडू म्हणून स्थान दिले आहे.
बेस ग्रेफाइट सामग्रीचे वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म:
| स्पष्ट घनता: | 1.85 ग्रॅम/सेमी3 |
| विद्युत प्रतिरोधकता: | 11 μΩm |
| फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| किनाऱ्याची कडकपणा: | 58 |
| राख: | <5ppm |
| थर्मल चालकता: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मकोटिंग | |
| 性质 / मालमत्ता | 典型数值 / ठराविक मूल्य |
| 晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर | FCC β फेज 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / घनता | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / कडकपणा | 2500 维氏硬度（500g लोड） |
| 晶粒大小 / धान्य आकार | 2~10μm |
| 纯度 / रासायनिक शुद्धता | 99.99995% |
| 热容 / उष्णता क्षमता | 640 J·kg-1· के-1 |
| 升华温度 / उदात्तीकरण तापमान | 2700℃ |
| 抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ | 415 MPa RT 4-पॉइंट |
| 杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
| 导热系数 / थर्मल चालकता | 300W·m-1· के-1 |
| 热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE) | ४.५×१०-6K-1 |
व्हीईटी एनर्जी ही सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक आहे ज्यामध्ये SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग इ. सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी विविध सानुकूलित भाग पुरवले जाऊ शकतात.
आमची तांत्रिक कार्यसंघ शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांमधून येते, आपल्यासाठी अधिक व्यावसायिक सामग्री समाधान प्रदान करू शकते.
आम्ही अधिक प्रगत सामग्री प्रदान करण्यासाठी प्रगत प्रक्रिया सतत विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट तंत्रज्ञान तयार केले आहे, ज्यामुळे कोटिंग आणि सब्सट्रेट यांच्यातील संबंध अधिक घट्ट होऊ शकतात आणि विलग होण्याची शक्यता कमी होते.
आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे हार्दिक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!
