सेमीकंडक्टरसाठी SiC कोटिंग/लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट/ट्रे

संक्षिप्त वर्णन:

एपिटॅक्सियल ग्रोथसाठी VET एनर्जी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हे एक उच्च-कार्यक्षमता उत्पादन आहे जे विस्तारित कालावधीत सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कार्यप्रदर्शन प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.यात उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, इरोशन प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय बनते.


उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग

सेमीकंडक्टरसाठी ग्रेफाइट ससेप्टरचे SiC कोटिंग/लेपित
 
SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा एक प्रमुख घटक आहे जो विविध सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जातो.आम्ही आमच्या पेटंट तंत्रज्ञानाचा वापर सिलिकॉन कार्बाइड वाहक करण्यासाठी अत्यंत उच्च शुद्धता, चांगली कोटिंग एकसमानता आणि उत्कृष्ट सेवा जीवन तसेच उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता आणि थर्मल स्थिरता गुणधर्मांसह करतो.

 वैशिष्ट्ये: 
उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिकार
उत्कृष्ट शारीरिक शॉक प्रतिकार
उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार
· अतिउच्च शुद्धता
· जटिल आकारात उपलब्धता
ऑक्सिडायझिंग वातावरणात वापरण्यायोग्य

अर्ज:

3

बेस ग्रेफाइट सामग्रीचे वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म:

स्पष्ट घनता: 1.85 ग्रॅम/सेमी3
विद्युत प्रतिरोधकता: 11 μΩm
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ: 49 MPa (500kgf/cm2)
किनाऱ्याची कडकपणा: 58
राख: <5ppm
औष्मिक प्रवाहकता: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मकोटिंग

性质 / मालमत्ता

典型数值 / ठराविक मूल्य

晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर

FCC β फेज 多晶,主要为(111)取向

密度 / घनता

3.21 g/cm³

硬度 / कडकपणा

2500 维氏硬度(500g लोड)

晶粒大小 / धान्य आकार

2~10μm

纯度 / रासायनिक शुद्धता

99.99995%

热容 / उष्णता क्षमता

640 J·kg-1· के-1

升华温度 / उदात्तीकरण तापमान

2700℃

抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ

415 MPa RT 4-पॉइंट

杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस

430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

导热系数 / थर्मल चालकता

300W·m-1· के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE)

४.५×१०-6K-1

१

2

 

व्हीईटी एनर्जी ही सानुकूलित ग्रेफाइट आणि सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादनांची खरी उत्पादक आहे ज्यामध्ये SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग इ. सेमीकंडक्टर आणि फोटोव्होल्टेइक उद्योगासाठी विविध सानुकूलित भाग पुरवले जाऊ शकतात.

आमची तांत्रिक कार्यसंघ शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांमधून येते, आपल्यासाठी अधिक व्यावसायिक सामग्री समाधान प्रदान करू शकते.

आम्ही अधिक प्रगत सामग्री प्रदान करण्यासाठी प्रगत प्रक्रिया सतत विकसित करतो आणि एक विशेष पेटंट तंत्रज्ञान तयार केले आहे, ज्यामुळे कोटिंग आणि सब्सट्रेट यांच्यातील संबंध अधिक घट्ट होऊ शकतात आणि विलग होण्याची शक्यता कमी होते.

आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे हार्दिक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • मागील:
  • पुढे:

  • व्हॉट्सॲप ऑनलाइन गप्पा!