SiC कोटिंग ग्रेफाइट MOCVD वेफर वाहक, साठी ग्रेफाइट ससेप्टर्सSiC Epitaxy,
कार्बन पुरवठा susceptors, ग्रेफाइट एपिटॅक्सी ससेप्टर्स, ग्रेफाइट सपोर्ट सबस्ट्रेट्स, MOCVD ससेप्टर, SiC Epitaxy, वेफर ससेप्टर्स,
आमच्या SiC-कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्सच्या विशेष फायद्यांमध्ये अत्यंत उच्च शुद्धता, एकसंध कोटिंग आणि उत्कृष्ट सेवा जीवन समाविष्ट आहे. त्यांच्याकडे उच्च रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता गुणधर्म देखील आहेत.
सेमीकंडक्टर ऍप्लिकेशन्ससाठी ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे SiC कोटिंग उच्च शुद्धता आणि ऑक्सिडायझिंग वातावरणास प्रतिकार करणारा भाग तयार करते.
CVD SiC किंवा CVI SiC साध्या किंवा जटिल डिझाइन भागांच्या ग्रेफाइटवर लागू केले जाते. कोटिंग वेगवेगळ्या जाडीमध्ये आणि खूप मोठ्या भागांमध्ये लागू केले जाऊ शकते.
वैशिष्ट्ये:
उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिकार
उत्कृष्ट शारीरिक शॉक प्रतिकार
उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार
· अतिउच्च शुद्धता
· जटिल आकारात उपलब्धता
· ऑक्सिडायझिंग वातावरणात वापरण्यायोग्य
अर्ज:
बेस ग्रेफाइट सामग्रीचे वैशिष्ट्यपूर्ण गुणधर्म:
स्पष्ट घनता: | 1.85 ग्रॅम/सेमी3 |
विद्युत प्रतिरोधकता: | 11 μΩm |
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
किनाऱ्याची कडकपणा: | 58 |
राख: | <5ppm |
थर्मल चालकता: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
कार्बन पुरवठा susceptorsआणि सर्व वर्तमान एपिटॅक्सी अणुभट्ट्यांसाठी ग्रेफाइट घटक. आमच्या पोर्टफोलिओमध्ये लागू आणि एलपीई युनिट्ससाठी बॅरल ससेप्टर्स, एलपीई, सीएसडी आणि जेमिनी युनिटसाठी पॅनकेक ससेप्टर्स आणि लागू आणि एएसएम युनिट्ससाठी सिंगल-वेफर ससेप्टर्स समाविष्ट आहेत. आघाडीच्या OEM, साहित्य कौशल्य आणि उत्पादन माहिती-कसे, SGL सह मजबूत भागीदारी एकत्र करून. तुमच्या अर्जासाठी इष्टतम डिझाइन ऑफर करते.