CMP ची प्लानरायझेशन यंत्रणा काय आहे?

ड्युअल-डामासेन हे एक प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे जे एकात्मिक सर्किट्समध्ये मेटल इंटरकनेक्ट तयार करण्यासाठी वापरले जाते. दमास्कस प्रक्रियेचा हा आणखी विकास आहे. एकाच प्रक्रियेच्या टप्प्यात एकाच वेळी छिद्रे आणि खोबणी तयार करून आणि त्यांना धातूने भरून, मेटल इंटरकनेक्ट्सचे एकात्मिक उत्पादन लक्षात येते.

त्याला दमास्कस का म्हणतात?

दमास्कस शहर ही सीरियाची राजधानी आहे आणि दमास्कस तलवारी त्यांच्या धारदारपणा आणि उत्कृष्ट पोत यासाठी प्रसिद्ध आहेत. एक प्रकारची इनले प्रक्रिया आवश्यक आहे: प्रथम, आवश्यक नमुना दमास्कस स्टीलच्या पृष्ठभागावर कोरला जातो आणि पूर्व-तयार साहित्य कोरलेल्या खोबणीमध्ये घट्टपणे घातले जाते. इनले पूर्ण झाल्यानंतर, पृष्ठभाग थोडे असमान असू शकते. एकंदर गुळगुळीतपणा सुनिश्चित करण्यासाठी कारागीर काळजीपूर्वक पॉलिश करेल. आणि ही प्रक्रिया चिपच्या दुहेरी दमास्कस प्रक्रियेचा नमुना आहे. प्रथम, डायलेक्ट्रिक लेयरमध्ये खोबणी किंवा छिद्र कोरले जातात आणि नंतर त्यामध्ये धातू भरली जाते. भरल्यानंतर, अतिरिक्त धातू सीएमपीद्वारे काढून टाकली जाईल.

ड्युअल डॅमेसीन प्रक्रियेच्या मुख्य चरणांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

▪ डायलेक्ट्रिक थर जमा करणे:

सेमीकंडक्टरवर सिलिकॉन डायऑक्साइड (SiO2) सारख्या डायलेक्ट्रिक सामग्रीचा थर जमा करावेफर.

▪ नमुना परिभाषित करण्यासाठी फोटोलिथोग्राफी:

डायलेक्ट्रिक लेयरवरील विअस आणि खंदकांचा नमुना परिभाषित करण्यासाठी फोटोलिथोग्राफी वापरा.

▪नक्षीकाम:

कोरड्या किंवा ओल्या खोदकाम प्रक्रियेद्वारे वियास आणि खंदकांचा नमुना डायलेक्ट्रिक लेयरमध्ये हस्तांतरित करा.

▪ धातूचा साठा:

तांबे (Cu) किंवा ॲल्युमिनियम (Al) सारखी धातू, धातू एकमेकांशी जोडण्यासाठी वियास आणि खंदकांमध्ये जमा करा.

▪ रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग:

जादा धातू काढून टाकण्यासाठी आणि पृष्ठभाग सपाट करण्यासाठी धातूच्या पृष्ठभागाचे रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग.

पारंपारिक मेटल इंटरकनेक्ट मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेच्या तुलनेत, ड्युअल डॅमेसीन प्रक्रियेचे खालील फायदे आहेत:

▪सरलीकृत प्रक्रिया पायऱ्या:एकाच प्रक्रियेच्या टप्प्यात एकाच वेळी मार्ग आणि खंदक तयार केल्याने, प्रक्रियेचे टप्पे आणि उत्पादन वेळ कमी केला जातो.

▪सुधारित उत्पादन कार्यक्षमता:प्रक्रियेच्या पायऱ्या कमी केल्यामुळे, ड्युअल डॅमॅसिन प्रक्रिया उत्पादन कार्यक्षमता सुधारू शकते आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकते.

▪ मेटल इंटरकनेक्ट्सचे कार्यप्रदर्शन सुधारणे:ड्युअल डॅमॅसीन प्रक्रिया अरुंद धातूचे आंतरकनेक्ट साध्य करू शकते, ज्यामुळे सर्किट्सचे एकत्रीकरण आणि कार्यप्रदर्शन सुधारते.

▪परजीवी क्षमता आणि प्रतिकार कमी करा:लो-के डायलेक्ट्रिक मटेरियल वापरून आणि मेटल इंटरकनेक्ट्सची रचना ऑप्टिमाइझ करून, परजीवी कॅपेसिटन्स आणि प्रतिकार कमी केला जाऊ शकतो, ज्यामुळे सर्किट्सचा वेग आणि वीज वापर कार्यप्रदर्शन सुधारते.