सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग म्हणजे काय?

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग,सामान्यतः SiC कोटिंग म्हणून ओळखले जाते, रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD), भौतिक वाष्प निक्षेप (PVD), किंवा थर्मल फवारणी यांसारख्या पद्धतींद्वारे पृष्ठभागांवर सिलिकॉन कार्बाइडचा थर लावण्याची प्रक्रिया संदर्भित करते. हे सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग अपवादात्मक पोशाख प्रतिरोध, थर्मल स्थिरता आणि गंज संरक्षण प्रदान करून विविध सब्सट्रेट्सच्या पृष्ठभागाचे गुणधर्म वाढवते. SiC त्याच्या उत्कृष्ट भौतिक आणि रासायनिक गुणधर्मांसाठी ओळखले जाते, ज्यामध्ये उच्च वितळण्याचा बिंदू (अंदाजे 2700℃), अत्यंत कडकपणा (Mohs स्केल 9), उत्कृष्ट गंज आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोध आणि अपवादात्मक पृथक्करण कार्यप्रदर्शन समाविष्ट आहे.

औद्योगिक अनुप्रयोगांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे मुख्य फायदे

या वैशिष्ट्यांमुळे, एरोस्पेस, शस्त्रे उपकरणे आणि सेमीकंडक्टर प्रक्रिया यासारख्या क्षेत्रात सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते. अत्यंत वातावरणात, विशेषत: 1800-2000℃ मर्यादेत, SiC कोटिंग उल्लेखनीय थर्मल स्थिरता आणि कमी प्रतिकार दर्शवते, ज्यामुळे ते उच्च-तापमान अनुप्रयोगांसाठी आदर्श बनते. तथापि, एकट्या सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये अनेक ऍप्लिकेशन्ससाठी आवश्यक असलेल्या स्ट्रक्चरल अखंडतेचा अभाव आहे, त्यामुळे घटक शक्तीशी तडजोड न करता त्याच्या अद्वितीय गुणधर्मांचा फायदा घेण्यासाठी कोटिंग पद्धती वापरल्या जातात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड लेपित घटक MOCVD प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या उपकरणांमध्ये विश्वसनीय संरक्षण आणि कार्यप्रदर्शन स्थिरता प्रदान करतात.

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तयार करण्यासाठी सामान्य पद्धती

Ⅰ● रासायनिक वाष्प जमा (CVD) सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

या पद्धतीत, SiC कोटिंग्स प्रतिक्रिया कक्षेत सब्सट्रेट्स ठेवून तयार होतात, जेथे मेथिल्ट्रिक्लोरोसिलेन (MTS) एक अग्रदूत म्हणून कार्य करते. नियंत्रित परिस्थितीत-सामान्यत: 950-1300°C आणि नकारात्मक दाब-MTS चे विघटन होते आणि सिलिकॉन कार्बाइड पृष्ठभागावर जमा होते. ही CVD SiC कोटिंग प्रक्रिया उत्कृष्ट पालनासह दाट, एकसमान कोटिंग सुनिश्चित करते, सेमीकंडक्टर आणि एरोस्पेस क्षेत्रातील उच्च-परिशुद्धता अनुप्रयोगांसाठी आदर्श.

Ⅱ● प्रिकर्सर रूपांतरण पद्धत (पॉलिमर इंप्रेग्नेशन आणि पायरोलिसिस – PIP)

आणखी एक प्रभावी सिलिकॉन कार्बाइड स्प्रे कोटिंगचा दृष्टीकोन म्हणजे पूर्ववर्ती रूपांतरण पद्धत, ज्यामध्ये पूर्व-उपचार केलेला नमुना सिरॅमिक प्रिकर्सर सोल्युशनमध्ये बुडविणे समाविष्ट आहे. गर्भाधान टाकी निर्वात केल्यानंतर आणि कोटिंगवर दबाव टाकल्यानंतर, नमुना गरम केला जातो, ज्यामुळे थंड झाल्यावर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तयार होते. ही पद्धत एकसमान कोटिंग जाडी आणि वर्धित पोशाख प्रतिकार आवश्यक असलेल्या घटकांसाठी अनुकूल आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज असे गुणधर्म प्रदर्शित करतात जे त्यांना औद्योगिक अनुप्रयोगांच्या मागणीसाठी आदर्श बनवतात. या गुणधर्मांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

थर्मल चालकता: 120-270 W/m·K
थर्मल विस्ताराचे गुणांक: 4.3 × 10^^(-6)/K (20~800℃ वर)
विद्युत प्रतिरोधकता: 10^⁵- 10^⁶Ω· सेमी
कडकपणा: मोह स्केल 9

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगचे अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये, MOCVD आणि इतर उच्च-तापमान प्रक्रियांसाठी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उच्च-तापमान प्रतिरोध आणि स्थिरता दोन्ही ऑफर करून अणुभट्ट्या आणि ससेप्टर्स सारख्या गंभीर उपकरणांचे संरक्षण करते. एरोस्पेस आणि संरक्षणामध्ये, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक कोटिंग्स अशा घटकांवर लागू केले जातात ज्यांना उच्च-गती प्रभाव आणि संक्षारक वातावरणाचा सामना करावा लागतो. शिवाय, सिलिकॉन कार्बाइड पेंट किंवा कोटिंग्ज वैद्यकीय उपकरणांवर देखील वापरल्या जाऊ शकतात ज्यांना नसबंदी प्रक्रियेअंतर्गत टिकाऊपणा आवश्यक आहे.

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग का निवडावे?

घटकांचे आयुष्य वाढविण्याच्या सिद्ध रेकॉर्डसह, सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स अतुलनीय टिकाऊपणा आणि तापमान स्थिरता प्रदान करतात, ज्यामुळे दीर्घकालीन वापरासाठी ते किफायतशीर बनतात. सिलिकॉन कार्बाइड लेपित पृष्ठभाग निवडून, कमी देखभाल खर्च, वर्धित उपकरणांची विश्वासार्हता आणि सुधारित कार्यक्षमतेचा उद्योगांना फायदा होतो.

VET एनर्जी का निवडावी?

VET ENERGY ही चीनमधील सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनांची व्यावसायिक उत्पादक आणि कारखाना आहे. मुख्य SiC कोटिंग उत्पादनांमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर,CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग MOCVD ससेप्टर, CVD SiC कोटिंगसह MOCVD ग्रेफाइट वाहक, SiC लेपित ग्रेफाइट बेस वाहक, सेमीकंडक्टरसाठी सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट,सेमीकंडक्टरसाठी SiC कोटिंग/लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट/ट्रे, CVD SiC लेपित कार्बन-कार्बन संमिश्र CFC बोट मोल्ड. VET ENERGY सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याची प्रामाणिकपणे आशा करतो.