CVD (केमिकल वाष्प निक्षेप) ही सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्ज तयार करण्यासाठी सामान्यतः वापरली जाणारी पद्धत आहे.CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्जअनेक अद्वितीय कामगिरी वैशिष्ट्ये आहेत. हा लेख CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तयार करण्याची पद्धत आणि त्याची कार्यक्षमता वैशिष्ट्ये सादर करेल.
1. ची तयारी पद्धतCVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग
CVD पद्धत उच्च तापमान परिस्थितीत वायूच्या पूर्ववर्तींना घन सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्जमध्ये रूपांतरित करते. वेगवेगळ्या वायूच्या पूर्ववर्तीनुसार, ते गॅस फेज सीव्हीडी आणि लिक्विड फेज सीव्हीडीमध्ये विभागले जाऊ शकते.
1. वाष्प टप्पा CVD
सिलिकॉन कार्बाइड फिल्म्सची वाढ साध्य करण्यासाठी व्हेपर फेज CVD वायू पूर्ववर्ती, सामान्यतः ऑर्गनोसिलिकॉन संयुगे वापरते. सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या ऑर्गनोसिलिकॉन संयुगेमध्ये मेथिलसिलेन, डायमेथिलसिलेन, मोनोसिलेन इत्यादींचा समावेश होतो, जे उच्च-तापमान प्रतिक्रिया कक्षांमध्ये वायूच्या पूर्ववर्तींना वाहून नेऊन धातूच्या थरांवर सिलिकॉन कार्बाइड फिल्म तयार करतात. प्रतिक्रिया कक्षातील उच्च तापमान क्षेत्रे सहसा इंडक्शन हीटिंग किंवा रेझिस्टिव्ह हीटिंगद्वारे तयार केली जातात.
2. लिक्विड फेज CVD
लिक्विड-फेज सीव्हीडी एक द्रव पूर्ववर्ती वापरते, सामान्यत: सिलिकॉन आणि सिलॅनॉल कंपाऊंड असलेले सेंद्रिय सॉल्व्हेंट, जे प्रतिक्रिया कक्षामध्ये गरम आणि वाष्पीकरण केले जाते आणि नंतर रासायनिक अभिक्रियाद्वारे सब्सट्रेटवर सिलिकॉन कार्बाइड फिल्म तयार होते.
2. ची कार्यप्रदर्शन वैशिष्ट्येCVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग
1.उत्कृष्ट उच्च तापमान कामगिरी
CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्जउत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोध प्रदान करते. हे उच्च तापमान वातावरणात काम करण्यास सक्षम आहे आणि उच्च तापमानात अत्यंत परिस्थितीला तोंड देऊ शकते.
2. चांगले यांत्रिक गुणधर्म
CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगउच्च कडकपणा आणि चांगला पोशाख प्रतिकार आहे. हे मेटल सब्सट्रेट्सचे पोशाख आणि गंज पासून संरक्षण करते, सामग्रीचे सेवा आयुष्य वाढवते.
3. उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता
CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्जआम्ल, क्षार आणि क्षार यांसारख्या सामान्य रसायनांना अत्यंत प्रतिरोधक असतात. हे रासायनिक आक्रमण आणि सब्सट्रेटच्या गंजला प्रतिकार करते.
4. कमी घर्षण गुणांक
CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगकमी घर्षण गुणांक आणि चांगले स्व-वंगण गुणधर्म आहेत. हे घर्षण आणि पोशाख कमी करते आणि सामग्रीच्या वापराची कार्यक्षमता सुधारते.
5. चांगली थर्मल चालकता
CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगमध्ये चांगले थर्मल चालकता गुणधर्म आहेत. ते त्वरीत उष्णता चालवू शकते आणि मेटल बेसची उष्णता नष्ट करण्याची कार्यक्षमता सुधारू शकते.
6.उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुणधर्म
CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगमध्ये चांगले इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन गुणधर्म आहेत आणि ते वर्तमान गळती रोखू शकतात. हे इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या इन्सुलेशन संरक्षणामध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते.
7. समायोज्य जाडी आणि रचना
CVD प्रक्रियेदरम्यान परिस्थिती नियंत्रित करून आणि पूर्वगामीची एकाग्रता, सिलिकॉन कार्बाइड फिल्मची जाडी आणि रचना समायोजित केली जाऊ शकते. हे विविध अनुप्रयोगांसाठी भरपूर पर्याय आणि लवचिकता प्रदान करते.
थोडक्यात, CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगमध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान कार्यक्षमता, उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म, चांगली रासायनिक स्थिरता, कमी घर्षण गुणांक, चांगली थर्मल चालकता आणि विद्युत इन्सुलेशन गुणधर्म आहेत. या गुणधर्मांमुळे CVD सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स इलेक्ट्रॉनिक्स, ऑप्टिक्स, एरोस्पेस, रासायनिक उद्योग इत्यादींसह अनेक क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.
पोस्ट वेळ: मार्च-20-2024