TaC कोटिंगसह ग्रेफाइट

I. प्रक्रिया पॅरामीटर एक्सप्लोरेशन

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar प्रणाली

2. जमा तापमान:

थर्मोडायनामिक सूत्रानुसार, हे मोजले जाते की जेव्हा तापमान 1273K पेक्षा जास्त असते तेव्हा प्रतिक्रियाची गिब्स मुक्त ऊर्जा खूप कमी असते आणि प्रतिक्रिया तुलनेने पूर्ण होते. प्रतिक्रिया स्थिर KP 1273K वर खूप मोठी आहे आणि तापमानासह वेगाने वाढते आणि वाढीचा दर 1773K वर हळूहळू कमी होतो.

कोटिंगच्या पृष्ठभागाच्या आकारविज्ञानावर प्रभाव: जेव्हा तापमान योग्य नसते (खूप जास्त किंवा खूप कमी), तेव्हा पृष्ठभाग एक मुक्त कार्बन आकारविज्ञान किंवा सैल छिद्र सादर करते.

(1) उच्च तापमानात, सक्रिय अभिक्रियाकारक अणू किंवा गटांची हालचाल गती खूप वेगवान असते, ज्यामुळे सामग्रीच्या संचयनादरम्यान असमान वितरण होते आणि श्रीमंत आणि गरीब भाग सहजतेने संक्रमण करू शकत नाहीत, परिणामी छिद्र पडतात.

(2) अल्केन्सच्या पायरोलिसिस प्रतिक्रिया दर आणि टँटलम पेंटाक्लोराईडच्या घट प्रतिक्रिया दरामध्ये फरक आहे. पायरोलिसिस कार्बन जास्त आहे आणि वेळेत टँटलमसह एकत्र केले जाऊ शकत नाही, परिणामी पृष्ठभाग कार्बनने गुंडाळला जातो.

जेव्हा तापमान योग्य असेल तेव्हा पृष्ठभागTaC कोटिंगदाट आहे.

TaCकण वितळतात आणि एकमेकांशी एकत्रित होतात, क्रिस्टल फॉर्म पूर्ण होतो आणि धान्याची सीमा सहजतेने संक्रमण होते.

3. हायड्रोजन प्रमाण:

याव्यतिरिक्त, कोटिंगच्या गुणवत्तेवर परिणाम करणारे अनेक घटक आहेत:

-सबस्ट्रेट पृष्ठभागाची गुणवत्ता

- डिपॉझिशन गॅस फील्ड

-रिएक्टंट गॅस मिक्सिंगच्या एकसमानतेची डिग्री

II. च्या वैशिष्ट्यपूर्ण दोषटँटलम कार्बाइड लेप

1. कोटिंग क्रॅकिंग आणि सोलणे

रेखीय थर्मल विस्तार गुणांक रेखीय CTE:

2. दोषांचे विश्लेषण:

(१) कारण:

(२) व्यक्तिचित्रण पद्धत

① अवशिष्ट ताण मोजण्यासाठी क्ष-किरण विवर्तन तंत्रज्ञान वापरा.

② अवशिष्ट ताणाचा अंदाज घेण्यासाठी Hu Ke नियम वापरा.

(3) संबंधित सूत्रे

3.कोटिंग आणि सब्सट्रेटची यांत्रिक सुसंगतता वाढवा

(1) पृष्ठभागावरील स्थितीत वाढ कोटिंग

थर्मल प्रतिक्रिया जमा आणि प्रसार तंत्रज्ञान TRD

वितळलेले मीठ प्रक्रिया

उत्पादन प्रक्रिया सुलभ करा

प्रतिक्रिया तापमान कमी करा

तुलनेने कमी खर्च

अधिक पर्यावरणास अनुकूल

मोठ्या प्रमाणावर औद्योगिक उत्पादनासाठी योग्य

(2) संमिश्र संक्रमण कोटिंग

सह-अवक्षेपण प्रक्रिया

CVDप्रक्रिया

बहु-घटक कोटिंग

प्रत्येक घटकाचे फायदे एकत्र करणे

कोटिंगची रचना आणि प्रमाण लवचिकपणे समायोजित करा

4. थर्मल प्रतिक्रिया जमा आणि प्रसार तंत्रज्ञान TRD

(1) प्रतिक्रिया यंत्रणा

टीआरडी तंत्रज्ञानाला एम्बेडिंग प्रक्रिया देखील म्हणतात, जे तयार करण्यासाठी बोरिक ऍसिड-टँटलम पेंटॉक्साइड-सोडियम फ्लोराइड-बोरॉन ऑक्साइड-बोरॉन कार्बाइड प्रणाली वापरते.टँटलम कार्बाइड लेप.

① वितळलेले बोरिक ऍसिड टँटलम पेंटॉक्साइड विरघळते;

② टँटलम पेंटॉक्साइड सक्रिय टँटलम अणूंमध्ये कमी होते आणि ग्रेफाइट पृष्ठभागावर पसरते;

③ सक्रिय टँटलम अणू ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर शोषले जातात आणि कार्बन अणूंवर प्रतिक्रिया देतात.टँटलम कार्बाइड लेप.

(2) प्रतिक्रिया की

कार्बाइड कोटिंगच्या प्रकाराने कार्बाइड तयार करणाऱ्या घटकाची ऑक्सिडेशन मुक्त ऊर्जा बोरॉन ऑक्साईडपेक्षा जास्त असते ही आवश्यकता पूर्ण करणे आवश्यक आहे.

कार्बाइडची गिब्स मुक्त ऊर्जा पुरेशी कमी आहे (अन्यथा, बोरॉन किंवा बोराइड तयार होऊ शकतात).

टँटलम पेंटॉक्साइड एक तटस्थ ऑक्साईड आहे. उच्च-तापमान वितळलेल्या बोरॅक्समध्ये, ते मजबूत अल्कधर्मी ऑक्साईड सोडियम ऑक्साईडसह सोडियम टँटालेट तयार करू शकते, ज्यामुळे प्रारंभिक प्रतिक्रिया तापमान कमी होते.