वाफ फेज एपिटॅक्सी (व्हीपीई) प्रक्रियेदरम्यान, पेडेस्टलची भूमिका सब्सट्रेटला आधार देणे आणि वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान एकसमान गरम करणे सुनिश्चित करणे आहे. वेगवेगळ्या प्रकारच्या पेडेस्टल्स वेगवेगळ्या वाढीच्या परिस्थिती आणि भौतिक प्रणालींसाठी योग्य आहेत. वाफ टप्प्यात सामान्यतः वापरले जाणारे काही पेडेस्टल प्रकार खालीलप्रमाणे आहेतएपिटॅक्सी:
बॅरल पेडेस्टल
बॅरल पेडेस्टल्सचा वापर सामान्यतः क्षैतिज किंवा झुकलेल्या वाफ फेज एपिटॅक्सी सिस्टममध्ये केला जातो. ते सब्सट्रेट धरून ठेवू शकतात आणि वायूला सब्सट्रेटवर वाहू देतात, ज्यामुळे एकसमान एपिटॅक्सियल वाढ होण्यास मदत होते.
डिस्क-आकाराचा पेडेस्टल (उभ्या पेडेस्टल)
डिस्क-आकाराचे पेडेस्टल्स उभ्या वाष्प फेज एपिटॅक्सी सिस्टमसाठी योग्य आहेत, ज्यामध्ये सब्सट्रेट अनुलंब ठेवला जातो. हे डिझाइन सब्सट्रेट आणि ससेप्टरमधील संपर्क क्षेत्र कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे उष्णतेचे नुकसान आणि संभाव्य दूषितता कमी होते.
क्षैतिज ससेप्टर
बाष्प फेज एपिटॅक्सीमध्ये क्षैतिज ससेप्टर्स कमी सामान्य असतात, परंतु काही विशिष्ट वाढ प्रणालींमध्ये क्षैतिज दिशेने एपिटॅक्सियल वाढीस अनुमती देण्यासाठी वापरली जाऊ शकते.
मोनोलिथिक एपिटॅक्सियल रिॲक्शन ससेप्टर
मोनोलिथिक एपिटॅक्सियल रिॲक्शन ससेप्टर एकाच सब्सट्रेटसाठी डिझाइन केलेले आहे, जे उच्च-गुणवत्तेच्या एपिटॅक्सियल स्तरांच्या वाढीसाठी योग्य, अधिक अचूक तापमान नियंत्रण आणि चांगले थर्मल अलगाव प्रदान करू शकते.
उत्पादन माहिती आणि सल्लामसलत साठी आमच्या वेबसाइटवर स्वागत आहे.
आमची वेबसाइट: https://www.vet-china.com/
पोस्ट वेळ: जुलै-30-2024