सेमीकंडक्टर इंटिग्रेटेड सर्किट्समध्ये स्पटरिंग लक्ष्य वापरले जातात

फटफटणारे लक्ष्यते प्रामुख्याने इलेक्ट्रॉनिक्स आणि माहिती उद्योगांमध्ये वापरले जातात, जसे की इंटिग्रेटेड सर्किट्स, माहिती स्टोरेज, लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, लेसर मेमरी, इलेक्ट्रॉनिक कंट्रोल डिव्हाइसेस इ. ते काचेच्या कोटिंगच्या क्षेत्रात तसेच पोशाख-प्रतिरोधक क्षेत्रात देखील वापरले जाऊ शकतात. साहित्य, उच्च-तापमान गंज प्रतिकार, उच्च-श्रेणी सजावटीची उत्पादने आणि इतर उद्योग.

पातळ फिल्म मटेरियल तयार करण्यासाठी स्पटरिंग हे मुख्य तंत्रांपैकी एक आहे.ते व्हॅक्यूममध्ये वेग वाढवण्यासाठी आणि एकत्रित करण्यासाठी आयन स्त्रोतांद्वारे व्युत्पन्न केलेल्या आयनचा वापर करते ज्यामुळे हाय-स्पीड एनर्जी आयन बीम तयार होतात, घन पृष्ठभागावर भडिमार होते आणि आयन आणि घन पृष्ठभागाच्या अणूंमध्ये गतीज उर्जेची देवाणघेवाण होते. घन पृष्ठभागावरील अणू घन सोडतात आणि थरच्या पृष्ठभागावर जमा होतात. बॉम्बर्ड सॉलिड हे थुंकणे करून पातळ फिल्म्स जमा करण्यासाठी कच्चा माल आहे, ज्याला स्पटरिंग लक्ष्य म्हणतात. सेमीकंडक्टर इंटिग्रेटेड सर्किट्स, रेकॉर्डिंग मीडिया, फ्लॅट-पॅनेल डिस्प्ले आणि वर्कपीस पृष्ठभाग कोटिंग्जमध्ये विविध प्रकारचे थुंकलेले पातळ फिल्म मटेरियल मोठ्या प्रमाणावर वापरले गेले आहे.

सर्व ऍप्लिकेशन उद्योगांमध्ये, सेमीकंडक्टर उद्योगाला टार्गेट स्पटरिंग फिल्म्ससाठी सर्वात कठोर गुणवत्ता आवश्यकता आहे. उच्च-शुद्धतेचे मेटल स्पटरिंग लक्ष्य प्रामुख्याने वेफर उत्पादन आणि प्रगत पॅकेजिंग प्रक्रियेमध्ये वापरले जातात. चिप उत्पादनाचे उदाहरण घेतल्यास, आपण हे पाहू शकतो की सिलिकॉन वेफरपासून चिपपर्यंत, त्याला 7 प्रमुख उत्पादन प्रक्रियेतून जावे लागते, ते म्हणजे प्रसार (थर्मल प्रक्रिया), फोटो-लिथोग्राफी (फोटो-लिथोग्राफी), Etch (Etch), आयन इम्प्लांटेशन (आयन इम्प्लांट), पातळ फिल्म ग्रोथ (डायलेक्ट्रिक डिपॉझिशन), केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), मेटलायझेशन (मेटलायझेशन) प्रक्रिया एकामागून एक जुळतात. स्पटरिंग लक्ष्य "मेटलायझेशन" प्रक्रियेत वापरले जाते. पातळ फिल्म डिपॉझिशन उपकरणांद्वारे लक्ष्यावर उच्च-ऊर्जा कणांचा भडिमार केला जातो आणि नंतर सिलिकॉन वेफरवर विशिष्ट कार्यांसह एक धातूचा थर तयार होतो, जसे की प्रवाहकीय थर, अडथळा स्तर. प्रतीक्षा करा. संपूर्ण सेमीकंडक्टर्सच्या प्रक्रियेत विविधता असल्याने, सिस्टम योग्यरित्या अस्तित्वात आहे याची पडताळणी करण्यासाठी काही अधूनमधून परिस्थिती आवश्यक आहे, म्हणून आम्ही परिणामांची पुष्टी करण्यासाठी उत्पादनाच्या विशिष्ट टप्प्यांवर काही प्रकारच्या डमी सामग्रीची मागणी करतो.